والرش هو بالفعل نوع من الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD). تتضمن هذه التقنية طرد ذرات أو جزيئات من مادة مستهدفة من خلال قصف جسيمات عالية الطاقة، مما يسمح لهذه الجسيمات المقذوفة بالتكثف على ركيزة على شكل طبقة رقيقة.
الشرح:
-
آلية الاخرق:
-
يعمل الاخرق عن طريق قصف المادة المستهدفة بجسيمات عالية الطاقة، وعادةً ما تكون أيونات غاز مثل الأرجون. ويؤدي هذا القصف إلى إزاحة الذرات من سطح الهدف من خلال عملية تسمى انتقال الزخم. ثم تنتقل الذرات المقذوفة عبر حجرة التفريغ وتترسب على ركيزة مكونة طبقة رقيقة. هذه العملية قابلة للتحكم بدرجة كبيرة ومتعددة الاستخدامات، مما يسمح بترسيب مواد مختلفة بما في ذلك المعادن والسبائك وبعض المواد العازلة.أنواع الاخرق:
-
هناك عدة أنواع من تقنيات الاخرق، يختلف كل منها في طريقة توليد الأيونات والطاقة المطبقة. وتشمل الأنواع الشائعة الرش بالتيار المستمر والرش بالترددات اللاسلكية والرش المغنطروني. ولكل نوع منها مزاياه الخاصة وهو مناسب لتطبيقات مختلفة. على سبيل المثال، يُستخدم الرش المغنطروني المغنطروني على نطاق واسع بسبب معدلات الترسيب العالية والقدرة على ترسيب مجموعة واسعة من المواد.
-
تطبيقات الاخرق:
يستخدم الاخرق على نطاق واسع في الصناعات لتطبيقات مختلفة. ففي صناعة أشباه الموصلات، يُستخدم في ترسيب الطبقات الموصلة والطبقات العازلة. وفي صناعة البصريات، تُستخدم الأفلام المرشوشة لإنتاج مرشحات الاستقطاب. وبالإضافة إلى ذلك، في صناعة الزجاج المعماري، يتم استخدام الرقائق المرشوشة في طلاء الأسطح ذات المساحات الكبيرة لأغراض توفير الطاقة.
مقارنة مع تقنيات PVD الأخرى:
