تتضمن مبادئ الرش بالترددات الراديوية استخدام طاقة الترددات الراديوية (RF) لإنشاء بلازما في غرفة تفريغ، والتي تقوم بعد ذلك بترسيب طبقة رقيقة من المواد على الركيزة. هذه الطريقة فعالة بشكل خاص للمواد غير الموصلة للكهرباء.
1. إعداد غرفة التفريغ:
تبدأ العملية بوضع المادة المستهدفة (المادة التي سيتم ترسيبها) والركيزة (المادة التي سيتم ترسيب المادة المستهدفة عليها) في غرفة تفريغ الهواء. هذه البيئة ضرورية لمنع التلوث والتحكم في ظروف الترسيب الأمثل.2. إدخال الغاز الخامل:
يتم إدخال الغازات الخاملة مثل الأرجون في الغرفة. ويتم اختيار هذه الغازات لأنها لا تتفاعل كيميائياً مع المواد الموجودة في الغرفة، مما يضمن سلامة عملية الترسيب.
3. تأين ذرات الغاز:
يتم استخدام مصدر طاقة الترددات اللاسلكية لإرسال موجات نشطة عبر الغاز، مما يؤدي إلى تأيين ذرات الغاز. وتمنح عملية التأين هذه ذرات الغاز شحنة موجبة مما يخلق بلازما. وتُعد البلازما عنصراً حاسماً لأنها تحتوي على الأيونات النشطة اللازمة لعملية الرش.4. الرش المغنطروني بالترددات اللاسلكية:
في الاخرق المغنطروني بالترددات الراديوية المغنطرونية يتم استخدام مغناطيسات قوية لتعزيز عملية التأين عن طريق حصر الإلكترونات بالقرب من سطح الهدف، مما يزيد من معدل تأين الغاز الخامل. ويسمح هذا الإعداد بالرش الفعال للمواد غير الموصلة عن طريق التحكم في تراكم الشحنة على سطح الهدف.
5. ترسيب الأغشية الرقيقة:
يتم تسريع ذرات الغاز المتأين، التي أصبحت الآن في حالة البلازما، نحو المادة المستهدفة بسبب المجال الكهربائي الناتج عن مصدر طاقة التردد اللاسلكي. وعندما تصطدم هذه الأيونات بالمادة المستهدفة، فإنها تتسبب في قذف الذرات أو الجزيئات (ترسيب) وترسيبها على الركيزة.
6. التحكم في تراكم الشحنات:
