تواجه عملية الترسيب الكيميائي بالبخار CVD (الترسيب الكيميائي بالبخار) العديد من التحديات الكبيرة التي تؤثر على كفاءتها وسلامتها وفعاليتها من حيث التكلفة. وتشمل هذه المشكلات درجات حرارة التشغيل العالية، واستخدام الغازات السليفة السامة والتفاعلية، وارتفاع التكاليف، والقيود المفروضة على حجم الركيزة، وتعقيد العملية.
درجات حرارة التشغيل العالية:
عادةً ما تعمل CVD في درجات حرارة عالية، غالبًا ما تكون حوالي 1000 درجة مئوية. قد تكون متطلبات درجات الحرارة العالية هذه إشكالية لأن العديد من الركائز غير مستقرة حرارياً في درجات الحرارة هذه. ويحد هذا الأمر من أنواع المواد التي يمكن استخدامها في عمليات التفريد القابل للقطع CVD. تعمل بعض عمليات الترسيب الكيميائي القابل للتحويل القابل للتبريد باستخدام السيرة الذاتية المعدلة، مثل ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD) أو ترسيب البخار الكيميائي بمساعدة البلازما (PACVD)، في درجات حرارة منخفضة، مما يساعد في توسيع نطاق الركائز القابلة للاستخدام.استخدام الغازات السليفة السامة والتفاعلية:
تتطلب عملية الترسيب بالبخار القابل للذوبان (CVD) سلائف كيميائية ذات ضغط بخار مرتفع، والتي غالبًا ما تكون سامة وخطيرة. وتشكل هذه الغازات مخاطر كبيرة على صحة الإنسان والبيئة. وتتطلب مناولة هذه السلائف وتخزينها والتخلص منها تدابير سلامة خاصة، بما في ذلك خزانات الغازات وأنظمة مراقبة الغازات ومعدات التخفيف. وتزيد هذه الاحتياطات من تعقيد عملية التفكيك القابل للذوبان في الغازات القابلة للتبريد المركزي وتكلفتها، وقد تنطوي أيضًا على امتثال تنظيمي صارم.
التكاليف المرتفعة:
إن معدات عملية التفكيك القابل للقسري الذاتي CVD باهظة الثمن، كما أن العملية تستهلك طاقة مكثفة، مما يؤدي إلى ارتفاع تكاليف التشغيل. وبالإضافة إلى ذلك، فإن تحييد المنتجات الثانوية السامة والمسببة للتآكل من عمليات التفكيك القابل للتبريد القابل للتحويل CVD يضيف إلى التكلفة الإجمالية. يمكن أن يكون العبء المالي لهذه العمليات كبيرًا، مما يؤثر على الجدوى الاقتصادية لاستخدام التفريد القابل للذوبان القابل للذوبان في بعض التطبيقات.حجم الركيزة المحدود:
عادةً ما تقتصر عمليات التفريد القابل للقطع CVD على ترسيب الأغشية الرقيقة على ركائز تتناسب مع غرفة المعالجة في معدات التفريد القابل للقطع CVD. يقيد هذا القيد تطبيق تقنية CVD على ركائز كبيرة أو غير منتظمة الشكل، وهو ما يمكن أن يكون عيبًا كبيرًا في الصناعات التي تكون فيها هذه الركائز شائعة.
تعقيد العملية:
