المنتجات المعدات الحرارية فرن CVD و PECVD Multi heating zones CVD tube furnace CVD machine
تبديل الفئات

الاختصار

تحدث معنا للتواصل السريع والمباشر.

الرد فورًا في أيام العمل (خلال 8 ساعات في أيام العطلات)

فرن أنبوبة CVD متعدد مناطق التسخين المتعدد CVD فرن CVD الأنبوبية

فرن CVD و PECVD

فرن أنبوبة CVD متعدد مناطق التسخين المتعدد CVD فرن CVD الأنبوبية

رقم العنصر : KT-CTF14

السعر يتغير بناءً على specs and customizations


درجة الحرارة القصوى
1400 ℃
درجة حرارة عمل ثابتة
1300 ℃
قطر أنبوب الفرن
60 مم
منطقة التسخين
2 × 450 مم
معدل التسخين
0-10 ℃/دقيقة
ISO & CE icon

الشحن:

اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع On-time Dispatch Guarantee.

مقدمة

فرن أنبوبة CVD متعدد المناطق هو نوع من المعدات المختبرية المستخدمة في الترسيب الكيميائي للبخار (CVD). CVD هي عملية يتم فيها ترسيب غشاء رقيق على ركيزة عن طريق التفاعل الكيميائي لغاز أو بخار. تحتوي أفران أنابيب CVD الأنبوبية متعددة المناطق على مناطق تسخين متعددة، مما يسمح بالتحكم الدقيق في درجة الحرارة داخل الفرن. وهذا أمر مهم للعديد من عمليات التفريغ القابل للسحب القابل للذوبان CVD، حيث يمكن أن تؤثر درجة الحرارة على خصائص الفيلم المترسب.

عادةً ما تُستخدم أفران أنبوبة CVD متعددة المناطق لأغراض البحث والتطوير، ولكن يمكن استخدامها أيضًا في تطبيقات الإنتاج. وهي متوفرة في مجموعة متنوعة من الأحجام والتكوينات، ويمكن تخصيصها لتلبية المتطلبات المحددة لتطبيق معين.

التطبيقات

تُستخدم ماكينة فرن أنبوب الترسيب الكيميائي CVD متعدد مناطق التسخين على نطاق واسع في مجالات مختلفة، بما في ذلك:

  • ترسيب البخار الكيميائي (CVD): نمو الأغشية الرقيقة للأجهزة الإلكترونية وأشباه الموصلات والخلايا الشمسية
  • الانتشار: نشر المنشطات لأشباه الموصلات والمعادن
  • التلدين: المعالجة الحرارية للمواد لتحسين خصائصها
  • التلبيد: ربط المواد من خلال الحرارة والضغط
  • المعالجة الحرارية: التسخين والتبريد المتحكم فيه للمواد لأغراض مختلفة

التفاصيل والأجزاء

5 مناطق تسخين فرن CVD مع مضخة تفريغ عالية
5 مناطق تسخين فرن CVD مع مضخة تفريغ عالية
4 مناطق تسخين فرن CVD مجزأ
4 مناطق تسخين فرن CVD مجزأ
2 مناطق تسخين فرن CVD 2 مع محطة غاز MFC بشاشة تعمل باللمس
2 مناطق تسخين فرن CVD 2 مع محطة غاز MFC بشاشة تعمل باللمس
1600 درجة مئوية 3 مناطق تسخين فرن CVD مع شفة تبريد بالماء
1600 درجة مئوية 3 مناطق تسخين فرن CVD مع شفة تبريد بالماء

المبدأ

تستخدم آلة فرن فرن CVD الأنبوبي CVD متعدد مناطق التسخين المتعدد مناطق التسخين CVD فرن أنبوب CVD تستخدم ترسيب البخار الكيميائي (CVD) لترسيب الأغشية الرقيقة على الركائز. CVD هي عملية تنطوي على تفاعل السلائف الغازية لتكوين مادة غشاء صلب. في حالة هذا الفرن، عادةً ما تكون السلائف الغازية مركبات معدنية عضوية و/أو هيدريدات معدنية يتم إدخالها في حجرة الفرن وتتفاعل مع بعضها البعض لتشكيل مادة الفيلم المرغوبة. تم تجهيز الفرن بمناطق تسخين متعددة تسمح بالتحكم الدقيق في درجة حرارة الترسيب وتدرج درجة الحرارة. وهذا يتيح ترسيب أغشية عالية الجودة بخصائص مصممة خصيصًا، مثل السُمك والتركيب والتبلور. يتميز الفرن أيضًا بنظام تفريغ يسمح بإزالة الشوائب والتحكم في ضغط الترسيب.

الخصائص

توفر الأفران الأنبوبية متعددة المناطق CVD الأنبوبية مجموعة واسعة من المزايا للمستخدمين، بما في ذلك:

  • مناطق تسخين مستقلة: يسمح ذلك بإنشاء حقول درجة حرارة ثابتة أطول، بالإضافة إلى تدرجات درجة حرارة يمكن التحكم فيها. وهذا مثالي للتطبيقات التي يكون فيها التحكم الدقيق في درجة الحرارة أمرًا بالغ الأهمية.
  • التحكم في درجة الحرارة القابل للبرمجة PID: يوفر هذا دقة تحكم ممتازة ويدعم التحكم عن بُعد والتحكم المركزي. وهذا يجعل من السهل مراقبة درجة حرارة الفرن وضبطها من أي مكان.
  • التحكم في مقياس التدفق الكتلي MFC عالي الدقة: وهذا يضمن استقرار سرعة إمداد الغاز. وهذا مهم للتطبيقات التي يكون فيها التحكم الدقيق في تدفق الغاز أمرًا بالغ الأهمية.
  • شفة تفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ مع منفذ تكييف مختلف: يوفر ذلك إحكامًا جيدًا ودرجة تفريغ عالية. وهذا مثالي للتطبيقات التي تتطلب تفريغًا عاليًا.
  • تطبق KT-CTF14 Pro وحدة تحكم بشاشة TFT تعمل باللمس مقاس 7 بوصات: هذا يجعل من السهل ضبط البرامج وتحليل بيانات السجل. هذا مثالي للتطبيقات التي يكون فيها التشغيل سهل الاستخدام مهمًا.

المزايا

  • مناطق تسخين مستقلة: إنشاء مجال درجة حرارة ثابتة أطول وتدرج درجة حرارة متحكم فيه.
  • تحكم في درجة الحرارة قابل للبرمجة بنظام PID: دقة تحكم ممتازة، ودعم التحكم عن بُعد والتحكم المركزي.
  • التحكم في مقياس التدفق الكتلي MFC عالي الدقة: خلط الغازات المصدرية مسبقًا وسرعة إمداد الغاز المستقرة.
  • شفة تفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ: منافذ تكييف مختلفة لمختلف إعدادات محطة مضخة التفريغ، وختم جيد، ودرجة تفريغ عالية.
  • وحدة تحكم KT-CTF14 Pro: شاشة TFT تعمل باللمس مقاس 7 بوصة، وإعداد برنامج سهل الاستخدام، وتحليل بيانات التاريخ.
  • متعدد الأغراض: التفريغ القابل للذوبان والنشر والمعالجات الحرارية الأخرى تحت حالة التفريغ وحماية الغلاف الجوي.
  • موفرة للطاقة: تقلل مادة الألياف الخزفية والهيكل مزدوج الطبقة من درجة الحرارة الخارجية.
  • منطقة درجة حرارة طويلة: سهل التشغيل.
  • ختم موثوق: مؤشر الأداء الشامل العالي.
  • خيارات المواد: أنبوب الفرن متوفر من الفولاذ المقاوم للحرارة وزجاج الكوارتز والسيراميك.
  • تطبيقات واسعة: تحليل العناصر وتحديدها، وتبريد القطع الفولاذية الصغيرة، والتبريد، والتلدين، والتلطيف، والسيراميك الإلكتروني، والمواد الجديدة الأخرى.

المواصفات الفنية

طراز الفرن KT-CTF14-60
درجة الحرارة القصوى 1400℃
درجة حرارة عمل ثابتة 1300℃
مادة أنبوب الفرن أنبوب Al2O3 عالي النقاء
قطر أنبوب الفرن 60 مم
منطقة التسخين 2 × 450 مم
مادة الغرفة ألياف الألومينا متعددة الكريستالات
عنصر التسخين كربيد السيليكون
معدل التسخين 0-10 ℃/دقيقة
الزوج الحراري نوع S
وحدة تحكم في درجة الحرارة جهاز تحكم رقمي PID/جهاز تحكم PID بشاشة تعمل باللمس
دقة التحكم في درجة الحرارة ±1℃
وحدة تحكم دقيقة في الغاز
مقياس التدفق مقياس التدفق الكتلي MFC
قنوات الغاز 4 قنوات
معدل التدفق mfc1: 0-5sccm o2
mfc2: 0-20scmch4
mfc3: 0- 100 sccm h2
mfc4: 0-500 sccm n2
الخطية ± 0.5٪ ف.س.
التكرار ± 0.2٪ ف.س.
خط الأنابيب والصمام الفولاذ المقاوم للصدأ
ضغط التشغيل الأقصى 0.45 ميجا باسكال
وحدة تحكم في مقياس التدفق وحدة تحكم رقمية بمقبض رقمي/وحدة تحكم بشاشة تعمل باللمس
وحدة تفريغ قياسية (اختياري)
مضخة تفريغ مضخة تفريغ ذات ريشة دوارة
معدل تدفق المضخة 4 لتر/ثانية
منفذ شفط التفريغ KF25
مقياس التفريغ مقياس تفريغ بيرانى/مقياس تفريغ السيليكون
ضغط التفريغ المقدر 10 باسكال
وحدة تفريغ عالية التفريغ (اختياري)  
مضخة تفريغ مضخة ريشة دوارة + مضخة جزيئية
معدل تدفق المضخة 4 لتر/ثانية + 110 لتر/ثانية
منفذ شفط التفريغ KF25
مقياس التفريغ مقياس التفريغ المركب
ضغط التفريغ المقدر 6×10-5 باسكال
يمكن تخصيص المواصفات والإعدادات المذكورة أعلاه

الحزمة القياسية

رقم العبوة الوصف الكمية
1 فرن 1
2 أنبوب كوارتز 1
3 شفة تفريغ الهواء 2
4 كتلة حرارية أنبوبية 2
5 خطاف الكتلة الحرارية الأنبوبية 1
6 قفاز مقاوم للحرارة 1
7 تحكم دقيق في الغازات 1
8 وحدة تفريغ الهواء 1
9 دليل التشغيل 1

إعداد اختياري

  • في أنبوب الكشف عن الغازات ومراقبتها، مثل H2 و O2 وما إلى ذلك
  • مراقبة درجة حرارة الفرن المستقلة وتسجيلها
  • منفذ اتصال RS 485 للكمبيوتر الشخصي للتحكم عن بعد وتصدير البيانات
  • إدخال التحكم في معدل تدفق الغازات المغذية للغازات، مثل مقياس التدفق الكتلي ومقياس التدفق العائم
  • جهاز تحكم في درجة الحرارة بشاشة تعمل باللمس مع وظائف سهلة الاستخدام للمشغل
  • إعدادات محطة مضخة تفريغ عالية، مثل مضخة تفريغ الريشة والمضخة الجزيئية ومضخة الانتشار

تحذيرات

سلامة المشغل هي أهم قضية! يرجى تشغيل الجهاز بحذر. يعد العمل بالغازات القابلة للاشتعال والانفجار أو السامة أمرًا خطيرًا للغاية ، ويجب على المشغلين اتخاذ جميع الاحتياطات اللازمة قبل بدء تشغيل الجهاز. يعد العمل بالضغط الإيجابي داخل المفاعلات أو الغرف أمرًا خطيرًا ، ويجب على المشغل الالتزام بإجراءات السلامة بدقة. يجب أيضًا توخي الحذر الشديد عند العمل بمواد تفاعلية للهواء ، خاصة في حالة الفراغ. يمكن أن يؤدي التسرب إلى سحب الهواء إلى الجهاز مما يؤدي إلى حدوث رد فعل عنيف.

مصممة لك

تقدم KinTek خدمة ومعدات مخصصة عميقة للعملاء في جميع أنحاء العالم ، والعمل الجماعي المتخصص لدينا والمهندسون ذوو الخبرة الأثرياء قادرون على تنفيذ متطلبات أجهزة ومعدات البرمجيات المخصصة ، ومساعدة عملائنا على بناء المعدات والحلول الحصرية والشخصية!

هل تسمح بإسقاط أفكارك إلينا من فضلك ، مهندسونا جاهزون لك الآن!

FAQ

ما هو الفرن الأنبوبي؟

فرن أنبوب المختبر هو أحد أفران الأنبوب ذات درجة الحرارة العالية للتسخين الخارجي الكلاسيكي ، ويسمى أيضًا فرن تسخين الجدار الساخن.

وفقًا لدرجات حرارة العمل المختلفة ، يمكن أن تكون مادة أنبوب الفرن عادةً عبارة عن أنابيب كوارتز شفافة وأنابيب سيراميك الألومينا عالية النقاء وأنابيب سبائك معدنية عالية القوة.

لتلبية أغراض البحث الحراري المختلفة ، يمكن تصميم فرن الأنبوب بمناطق تسخين متعددة ، وذلك للحصول على تحكم مرن في تدرج درجة الحرارة في غرفة عمل الأنبوب ؛ يمكن أن يعمل أنبوب الفرن مع بيئة عمل ذات جو متحكم فيه أو بيئة عمل ذات فراغ عالي.

ما هو فرن CVD؟

ترسيب البخار الكيميائي (CVD) عبارة عن تقنية تستخدم مصادر طاقة مختلفة مثل التسخين أو إثارة البلازما أو الإشعاع الضوئي للتفاعل الكيميائي مع المواد الكيميائية الغازية أو البخارية على الطور الغازي أو السطح البيني الغازي الصلب لتكوين رواسب صلبة في المفاعل عن طريق تفاعل كيميائي: لتوضيح الأمر ببساطة ، يتم إدخال مادتين أو أكثر من المواد الخام الغازية في غرفة التفاعل ، ثم تتفاعل مع بعضها البعض لتشكيل مادة جديدة وترسبها على سطح الركيزة.

فرن CVD هو نظام أفران واحد مدمج مع وحدة فرن أنبوبية ذات درجة حرارة عالية ، ووحدة تحكم في الغازات ، ووحدة تفريغ ، ويستخدم على نطاق واسع لتجربة وإنتاج المواد المركبة ، وعملية الإلكترونيات الدقيقة ، والإلكترونيات الضوئية لأشباه الموصلات ، واستخدام الطاقة الشمسية ، واتصالات الألياف الضوئية ، والموصل الفائق التكنولوجيا ، مجال الطلاء الواقي.

كيف يعمل الفرن الأنبوبي؟

يتم وضع عناصر تسخين الفرن الأنبوبي حول التجويف الأسطواني ، ويمكن للفرن فقط تسخين العينات في التجويف الأسطواني من خلال الإشعاع الحراري غير المباشر ، نظرًا لأن أنبوب الفرن يمكن أن يمنع مادة العينة من الاتصال بعناصر تسخين الفرن ومواد العزل ، لذلك يخلق الفرن الأنبوبي عزلًا نظيفًا غرفة الحرارة وتقليل مخاطر تلوث مادة العينة بالفرن.

كيف يعمل فرن CVD؟

يتكون نظام فرن CVD من وحدة فرن أنبوبية ذات درجة حرارة عالية ، ووحدة تحكم دقيقة بمصدر الغاز المتفاعل ، ومحطة مضخة تفريغ وأجزاء تجميع مقابلة.

تعمل مضخة التفريغ على إزالة الهواء من أنبوب التفاعل ، والتأكد من عدم وجود غازات غير مرغوب فيها داخل أنبوب التفاعل ، وبعد ذلك يقوم الفرن الأنبوبي بتسخين أنبوب التفاعل إلى درجة حرارة مستهدفة ، ثم يمكن لوحدة التحكم الدقيقة في مصدر الغاز المتفاعل إدخال مختلف الغازات ذات النسبة المحددة في أنبوب الفرن للتفاعل الكيميائي ، سيتم تشكيل ترسيب البخار الكيميائي في فرن CVD.

ما هي طرق ترسيب الأغشية الرقيقة؟

الطريقتان الرئيسيتان المستخدمتان في ترسيب الأغشية الرقيقة هما ترسيب البخار الكيميائي (CVD) وترسيب البخار الفيزيائي (PVD). تتضمن الأمراض القلبية الوعائية إدخال غازات متفاعلة في غرفة ، حيث تتفاعل على سطح الرقاقة لتشكيل طبقة صلبة. لا يشتمل PVD على تفاعلات كيميائية ؛ بدلاً من ذلك ، يتم إنشاء أبخرة من المواد المكونة داخل الحجرة ، والتي تتكثف بعد ذلك على سطح الرقاقة لتشكيل فيلم صلب. تشمل الأنواع الشائعة من PVD ترسيب التبخر وترسب الاخرق. الأنواع الثلاثة لتقنيات ترسيب التبخر هي التبخر الحراري ، وتبخر الحزمة الإلكترونية ، والتسخين الاستقرائي.

ما هو تطبيق فرن الأنبوب؟

يستخدم الفرن الأنبوبي بشكل أساسي في المعادن والزجاج والمعالجة الحرارية وأنود الليثيوم ومواد الكاثود والطاقة الجديدة والمواد الكاشطة وغيرها من الصناعات ، وهو عبارة عن معدات احترافية لقياس المواد تحت ظروف درجات حرارة معينة.

يتميز فرن الأنبوب بالهيكل البسيط والتشغيل السهل والتحكم السهل والإنتاج المستمر.

يتم استخدام فرن الأنبوب أيضًا على نطاق واسع في أنظمة CVD (ترسيب البخار الكيميائي) وأنظمة CVD المحسنة بالبلازما.

ما هو الغاز المستخدم في عملية CVD؟

هناك مصادر غاز هائلة يمكن استخدامها في عملية الأمراض القلبية الوعائية ، والتفاعلات الكيميائية الشائعة لأمراض القلب والأوعية الدموية تشمل الانحلال الحراري ، والتحلل الضوئي ، والاختزال ، والأكسدة ، والاختزال ، وبالتالي يمكن استخدام الغازات المشاركة في هذه التفاعلات الكيميائية في عملية الأمراض القلبية الوعائية.

نأخذ نمو الجرافين CVD على سبيل المثال ، الغازات المستخدمة في عملية CVD ستكون CH4 و H2 و O2 و N2.

ما هو المبدأ الأساسي للأمراض القلبية الوعائية؟

يتمثل المبدأ الأساسي لترسيب البخار الكيميائي (CVD) في تعريض الركيزة لواحد أو أكثر من السلائف المتطايرة التي تتفاعل أو تتحلل على سطحها لإنتاج رواسب رقيقة. يمكن استخدام هذه العملية في تطبيقات مختلفة ، مثل أغشية الزخرفة ومواد العزل وطبقات التوصيل المعدنية. الأمراض القلبية الوعائية عملية متعددة الاستخدامات يمكنها تصنيع مواد الطلاء والمساحيق والألياف والأنابيب النانوية والمكونات المتجانسة. كما أنها قادرة على إنتاج معظم المعادن والسبائك المعدنية ومركباتها وأشباه الموصلات والأنظمة اللافلزية. ترسب مادة صلبة على سطح ساخن من تفاعل كيميائي في مرحلة البخار يميز عملية CVD.

ما هي معدات ترسيب الأغشية الرقيقة؟

تشير معدات ترسيب الأغشية الرقيقة إلى الأدوات والأساليب المستخدمة لإنشاء طبقات الطلاء الرقيقة وترسيبها على مادة الركيزة. يمكن أن تكون هذه الطلاءات مصنوعة من مواد مختلفة ولها خصائص مختلفة يمكن أن تحسن أو تغير أداء الركيزة. الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) هو أسلوب شائع يتضمن تبخير مادة صلبة في فراغ ، ثم ترسيبها على ركيزة. تشمل الطرق الأخرى التبخر والرش. تُستخدم معدات ترسيب الأغشية الرقيقة في إنتاج الأجهزة الإلكترونية البصرية ، والغرسات الطبية ، والبصريات الدقيقة ، من بين أشياء أخرى.

كم عدد أنواع مختلفة من فرن الأنابيب؟

يمكن أن يعمل فرن الأنبوب بوظائف ميكانيكية مختلفة بسلاسة ، لذلك هناك العديد من الأنواع المختلفة للأفران الأنبوبية لأغراض التجربة المختلفة ، وأفران الأفران النموذجية على النحو التالي:

  • فرن أنبوب أفقي
  • فرن أنبوب عمودي
  • فرن ذو أنبوب منفصل
  • فرن أنبوب دوار
  • فرن أنبوب مائل
  • انزلاق الفرن الأنبوبي
  • فرن تسخين وتبريد سريع
  • تغذية مستمرة وفرن أنبوب التفريغ

ما هي مميزات نظام CVD؟

  • يمكن إنتاج مجموعة واسعة من الأفلام ، والأفلام المعدنية ، والأفلام اللافلزية ، والأفلام ذات السبائك المتعددة المكونات حسب الحاجة. في الوقت نفسه ، يمكنها تحضير بلورات عالية الجودة يصعب الحصول عليها بطرق أخرى ، مثل GaN و BP وما إلى ذلك.
  • سرعة تشكيل الفيلم سريعة ، عادة ما تكون عدة ميكرونات في الدقيقة أو حتى مئات الميكرونات في الدقيقة. من الممكن إيداع كميات كبيرة من الطلاءات ذات التركيب الموحد في وقت واحد ، وهو أمر لا يضاهى بطرق تحضير الفيلم الأخرى ، مثل epitaxy المرحلة السائلة (LPE) و epitaxy الحزمة الجزيئية (MBE).
  • يتم تنفيذ ظروف العمل تحت ضغط عادي أو ظروف فراغ منخفضة ، وبالتالي فإن الطلاء له انعراج جيد ، ويمكن طلاء قطع العمل ذات الأشكال المعقدة بشكل موحد ، وهو أفضل بكثير من PVD.
  • نظرًا للانتشار المتبادل لغاز التفاعل ومنتج التفاعل والركيزة ، يمكن الحصول على طلاء بقوة التصاق جيدة ، وهو أمر ضروري لإعداد أغشية مقواة بالسطح مثل الأفلام المقاومة للتآكل والمضادة للتآكل.
  • تنمو بعض الأفلام عند درجة حرارة أقل بكثير من درجة انصهار مادة الفيلم. في ظل حالة النمو في درجات الحرارة المنخفضة ، لا يتفاعل غاز التفاعل وجدار المفاعل والشوائب الموجودة فيهما تقريبًا ، لذلك يمكن الحصول على فيلم بنقاوة عالية وتبلور جيد.
  • يمكن أن يحصل ترسيب البخار الكيميائي على سطح ترسيب أملس. هذا لأنه بالمقارنة مع LPE ، يتم إجراء ترسيب البخار الكيميائي (CVD) تحت إشباع عالٍ ، مع معدل تنوي مرتفع ، وكثافة تنوي عالية ، وتوزيع منتظم على المستوى بأكمله ، مما ينتج عنه سطح أملس مجهري. في الوقت نفسه ، في ترسيب البخار الكيميائي ، يكون متوسط المسار الحر للجزيئات (الذرات) أكبر بكثير من LPE ، وبالتالي يكون التوزيع المكاني للجزيئات أكثر اتساقًا ، مما يؤدي إلى تكوين سطح ترسيب أملس.
  • ضرر الإشعاع المنخفض ، وهو شرط ضروري لتصنيع أشباه موصلات أكسيد المعادن (MOS) والأجهزة الأخرى

ما هي الأنواع المختلفة لطريقة CVD؟

تشمل الأنواع المختلفة من طرق CVD الضغط الجوي CVD (APCVD) ، CVD للضغط المنخفض (LPCVD) ، الفراغ العالي جدًا CVD ، CVD المدعوم بالهباء الجوي ، الحقن المباشر للسائل CVD ، CVD للجدار الساخن ، CVD للجدار البارد ، CVD البلازما بالميكروويف ، البلازما- CVD المحسن (PECVD) ، CVD المحسن بالبلازما عن بعد ، CVD المحسن بالبلازما منخفض الطاقة ، CVD للطبقة الذرية ، CVD الاحتراق ، و CVD الساخن. تختلف هذه الطرق في آلية بدء التفاعلات الكيميائية وظروف التشغيل.

ما هي تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة؟

تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة هي عملية تطبيق طبقة رقيقة جدًا من المواد ، تتراوح سماكتها من بضعة نانومترات إلى 100 ميكرومتر ، على سطح ركيزة أو على طبقات ترسبت مسبقًا. تُستخدم هذه التقنية في إنتاج الإلكترونيات الحديثة ، بما في ذلك أشباه الموصلات ، والأجهزة البصرية ، والألواح الشمسية ، والأقراص المدمجة ، ومحركات الأقراص. الفئتان العريضتان لترسب الأغشية الرقيقة هما الترسيب الكيميائي ، حيث ينتج عن التغيير الكيميائي طلاء ترسب كيميائيًا ، وترسب بخار فيزيائي ، حيث يتم إطلاق مادة من المصدر وترسب على ركيزة باستخدام العمليات الميكانيكية أو الكهروميكانيكية أو الديناميكية الحرارية.

ما هو موقف PECVD؟

PECVD هي تقنية تستخدم البلازما لتنشيط غاز التفاعل ، وتعزيز التفاعل الكيميائي على سطح الركيزة أو بالقرب من مساحة السطح ، وتوليد فيلم صلب. المبدأ الأساسي لتقنية ترسيب البخار الكيميائي للبلازما هو أنه تحت تأثير المجال الكهربائي RF أو DC ، يتأين غاز المصدر لتشكيل بلازما ، وتستخدم البلازما منخفضة الحرارة كمصدر للطاقة ، وكمية مناسبة من غاز التفاعل يتم إدخاله ، ويتم استخدام تفريغ البلازما لتنشيط غاز التفاعل وتحقيق ترسب البخار الكيميائي.

وفقًا لطريقة توليد البلازما ، يمكن تقسيمها إلى بلازما RF ، بلازما DC وبلازما ميكروويف CVD ، إلخ ...

ما هو الفرق بين CVD و PECVD؟

الفرق بين PECVD وتقنية CVD التقليدية هو أن البلازما تحتوي على عدد كبير من الإلكترونات عالية الطاقة ، والتي يمكن أن توفر طاقة التنشيط المطلوبة في عملية ترسيب البخار الكيميائي ، وبالتالي تغيير نمط إمداد الطاقة لنظام التفاعل. نظرًا لأن درجة حرارة الإلكترون في البلازما تصل إلى 10000 كلفن ، فإن الاصطدام بين الإلكترونات وجزيئات الغاز يمكن أن يعزز كسر الرابطة الكيميائية وإعادة اتحاد جزيئات غاز التفاعل لتوليد مجموعات كيميائية أكثر نشاطًا ، بينما يحافظ نظام التفاعل بأكمله على درجة حرارة منخفضة.

بالمقارنة مع عملية CVD ، يمكن لـ PECVD تنفيذ نفس عملية ترسيب البخار الكيميائي مع درجة حرارة منخفضة.

عرض المزيد من الأسئلة الشائعة لهذا المنتج

4.8

out of

5

KINTEK SOLUTION's CVD tube furnace is a game-changer in our lab. The precise temperature control and uniform heating ensure consistent results every time.

Alessa Jamison

4.7

out of

5

The CVD machine is a highly versatile and reliable equipment. The multi-zone heating allows us to create various temperature profiles, making it suitable for a wide range of experiments.

Karina Silva

4.9

out of

5

The speed of delivery was impressive. We received the furnace within a week of placing the order, allowing us to start our experiments promptly.

Luis Levesque

4.8

out of

5

The value for money is exceptional. KINTEK SOLUTION provides high-quality equipment at a reasonable price, making it an excellent choice for labs with budget constraints.

Hanna Li

4.7

out of

5

The after-sales service is top-notch. The KINTEK SOLUTION team is always responsive and provides prompt support, ensuring our lab's smooth operation.

Mariam Andersson

4.9

out of

5

The durability of the CVD tube furnace is remarkable. We have been using it extensively for over a year, and it continues to perform flawlessly, delivering consistent results.

Gabriela Schmidt

4.8

out of

5

The technological advancement of this CVD machine is truly impressive. The multi-zone heating, precise temperature control, and user-friendly interface make it an invaluable asset to our lab.

Olivera Petrovic

4.7

out of

5

The CVD tube furnace has significantly improved the efficiency of our research. The fast heating and cooling rates allow us to conduct experiments more quickly, saving valuable time.

Benjamin Walker

4.9

out of

5

The CVD machine from KINTEK SOLUTION is a reliable workhorse in our lab. It operates smoothly, providing consistent and accurate results, which are crucial for our research.

Isabella Garcia

PDF of KT-CTF14

تنزيل

كتالوج فرن Cvd و Pecvd

تنزيل

كتالوج فرن أنبوب

تنزيل

كتالوج فرن Cvd

تنزيل

كتالوج آلة Cvd

تنزيل

كتالوج معدات ترسيب الأغشية الرقيقة

تنزيل

اطلب اقتباس

سيقوم فريقنا المحترف بالرد عليك في غضون يوم عمل واحد. لا تتردد في الاتصال بنا!

المنتجات ذات الصلة

صنع العميل آلة CVD متعددة الاستخدامات لفرن أنبوب CVD

صنع العميل آلة CVD متعددة الاستخدامات لفرن أنبوب CVD

احصل على فرن CVD الخاص بك مع الفرن متعدد الاستخدامات KT-CTF16. وظائف انزلاق ودوران وإمالة قابلة للتخصيص للحصول على تفاعلات دقيقة. اطلب الان!

فرن أنبوب متعدد المناطق

فرن أنبوب متعدد المناطق

اختبر اختبارًا حراريًا دقيقًا وفعالًا مع فرن الأنبوب متعدد المناطق. تسمح مناطق التسخين المستقلة وأجهزة استشعار درجة الحرارة بمجالات تسخين متدرجة ذات درجة حرارة عالية يتم التحكم فيها. اطلب الآن لتحليل حراري متقدم!

فرن أنبوبة CVD ذو الحجرة المنقسمة مع ماكينة التفريغ بالبطاريات القابلة للتفريغ بالقنوات المرارية

فرن أنبوبة CVD ذو الحجرة المنقسمة مع ماكينة التفريغ بالبطاريات القابلة للتفريغ بالقنوات المرارية

فرن CVD ذو حجرة مجزأة فعالة ذات حجرة مجزأة مع محطة تفريغ لفحص العينة بسهولة وتبريد سريع. درجة حرارة قصوى تصل إلى 1200 درجة مئوية مع تحكم دقيق في مقياس التدفق الكتلي MFC.

فرن ذو أنبوب دوار منفصل متعدد التسخين

فرن ذو أنبوب دوار منفصل متعدد التسخين

فرن دوار متعدد المناطق للتحكم بدرجة الحرارة عالية الدقة مع 2-8 مناطق تسخين مستقلة. مثالية لمواد قطب بطارية ليثيوم أيون وتفاعلات درجات الحرارة العالية. يمكن أن تعمل في ظل فراغ وجو متحكم فيه.

آلة فرن أنبوب الترسيب الكيميائي المحسن بالبلازما الدوارة المائلة (PECVD)

آلة فرن أنبوب الترسيب الكيميائي المحسن بالبلازما الدوارة المائلة (PECVD)

نقدم فرن PECVD الدوار المائل من أجل ترسيب دقيق للغشاء الرقيق. استمتع بمصدر المطابقة التلقائية ، والتحكم في درجة الحرارة القابل للبرمجة PID ، والتحكم في مقياس تدفق الكتلة MFC عالي الدقة. ميزات أمان مدمجة لراحة البال.

فرن أنبوبي عمودي

فرن أنبوبي عمودي

ارتقِ بتجاربك مع فرن الأنبوب العمودي. تصميم متعدد الاستخدامات يسمح بالتشغيل في مختلف البيئات وتطبيقات المعالجة الحرارية. اطلب الآن للحصول على نتائج دقيقة!

فرن الصهر والتلبيد المسبق بدرجة حرارة عالية

فرن الصهر والتلبيد المسبق بدرجة حرارة عالية

KT-MD فرن الصهر والتلبيد المسبق بدرجة الحرارة العالية لمواد السيراميك مع عمليات التشكيل المختلفة. مثالي للمكونات الإلكترونية مثل MLCC و NFC.

فرن تلبيد سلك التنغستن فراغ صغير

فرن تلبيد سلك التنغستن فراغ صغير

فرن تلبيد سلك التنغستن بالفراغ الصغير هو عبارة عن فرن فراغ تجريبي مدمج مصمم خصيصًا للجامعات ومعاهد البحث العلمي. يتميز الفرن بغطاء ملحوم باستخدام الحاسب الآلي وأنابيب مفرغة لضمان التشغيل الخالي من التسرب. التوصيلات الكهربائية سريعة التوصيل تسهل عملية النقل والتصحيح، كما أن خزانة التحكم الكهربائية القياسية آمنة ومريحة في التشغيل.

فرن الأنبوب 1400 ℃ مع أنبوب الألومينا

فرن الأنبوب 1400 ℃ مع أنبوب الألومينا

هل تبحث عن فرن أنبوبي لتطبيقات درجات الحرارة العالية؟ يُعد فرننا الأنبوبي 1400 ℃ المزود بأنبوب الألومينا مثاليًا للاستخدامات البحثية والصناعية.

فرن أنبوب منزلق PECVD مع آلة تغويز سائل PECVD

فرن أنبوب منزلق PECVD مع آلة تغويز سائل PECVD

KT-PE12 Slide PECVD System: نطاق طاقة واسع ، تحكم في درجة الحرارة قابل للبرمجة ، تسخين / تبريد سريع مع نظام انزلاقي ، تحكم في التدفق الكتلي MFC ومضخة تفريغ.

فرن الأنبوب 1700 ℃ مع أنبوب الألومينا

فرن الأنبوب 1700 ℃ مع أنبوب الألومينا

هل تبحث عن فرن أنبوبي عالي الحرارة؟ تحقق من الفرن الأنبوبي 1700 ℃ مع أنبوب الألومينا. مثالي للأبحاث والتطبيقات الصناعية حتى 1700 درجة مئوية.

فرن الضغط الساخن الأنبوبي الفراغي

فرن الضغط الساخن الأنبوبي الفراغي

تقليل ضغط التشكيل وتقصير وقت التلبيد باستخدام فرن الضغط الساخن الأنبوبي المفرغ من الهواء للمواد عالية الكثافة والحبيبات الدقيقة. مثالي للمعادن المقاومة للحرارة.

1800 ℃ فرن دثر 1800

1800 ℃ فرن دثر 1800

فرن كاتم للصوت KT-18 مزود بألياف يابانية متعددة الكريستالات Al2O3 وعناصر تسخين من السيليكون الموليبدينوم، حتى 1900 درجة مئوية، وتحكم في درجة الحرارة PID وشاشة ذكية تعمل باللمس مقاس 7 بوصة. تصميم مدمج وفقدان منخفض للحرارة وكفاءة عالية في استهلاك الطاقة. نظام تعشيق الأمان ووظائف متعددة الاستخدامات.

فرن جو الهيدروجين

فرن جو الهيدروجين

فرن الغلاف الجوي بالهيدروجين KT-AH - فرن الغاز التعريفي للتلبيد / التلدين بميزات أمان مدمجة وتصميم غلاف مزدوج وكفاءة موفرة للطاقة. مثالية للمختبر والاستخدام الصناعي.

فرن أنبوبي دوّار أنبوبي دوّار محكم الغلق بالتفريغ الكهربائي

فرن أنبوبي دوّار أنبوبي دوّار محكم الغلق بالتفريغ الكهربائي

اختبر المعالجة الفعالة للمواد مع فرننا الأنبوبي الدوّار المحكم الغلق بالتفريغ. مثالي للتجارب أو للإنتاج الصناعي، ومزود بميزات اختيارية لتغذية محكومة ونتائج محسنة. اطلب الآن.

فرن تفريغ الهواء الساخن

فرن تفريغ الهواء الساخن

اكتشف مزايا فرن التفريغ بالكبس الساخن! تصنيع المعادن والمركبات المقاومة للحرارة الكثيفة والسيراميك والمركبات تحت درجة حرارة وضغط مرتفعين.

فرن دثر 1400 ℃

فرن دثر 1400 ℃

احصل على تحكم دقيق في درجة حرارة عالية تصل إلى 1500 درجة مئوية مع فرن KT-14M Muffle. مزود بوحدة تحكم ذكية تعمل باللمس ومواد عزل متطورة.

فرن الفراغ مع بطانة ألياف السيراميك

فرن الفراغ مع بطانة ألياف السيراميك

فرن الفراغ مع بطانة عازلة من ألياف السيراميك متعددة الكريستالات لعزل حراري ممتاز ومجال درجة حرارة موحد. اختر من بين 1200 درجة أو 1700 درجة كحد أقصى. درجة حرارة العمل مع أداء الفراغ العالي والتحكم الدقيق في درجة الحرارة.

فرن كاتم للصوت 1700 ℃

فرن كاتم للصوت 1700 ℃

احصل على تحكّم فائق بالحرارة مع فرن الكتم 1700 درجة مئوية. مزود بمعالج دقيق ذكي لدرجة الحرارة، وجهاز تحكم بشاشة تعمل باللمس TFT ومواد عزل متطورة لتسخين دقيق يصل إلى 1700 درجة مئوية. اطلب الآن!

فرن الأنبوب المنفصل 1200 ℃ مع أنبوب الكوارتز

فرن الأنبوب المنفصل 1200 ℃ مع أنبوب الكوارتز

الفرن الأنبوبي المنفصل KT-TF12: عازل عالي النقاء، وملفات أسلاك تسخين مدمجة، وحد أقصى 1200C. يستخدم على نطاق واسع للمواد الجديدة وترسيب البخار الكيميائي.

فرن تلبيد سلك الموليبدينوم فراغ

فرن تلبيد سلك الموليبدينوم فراغ

إن فرن تلبيد أسلاك الموليبدينوم الفراغي عبارة عن هيكل رأسي أو هيكل غرفة النوم، وهو مناسب لسحب المواد المعدنية وتلبيدها وتفريغها وتفريغها تحت ظروف الفراغ العالي ودرجات الحرارة العالية. كما أنها مناسبة لمعالجة نزع الهيدروكسيل لمواد الكوارتز.

فرن دثر 1200 ℃

فرن دثر 1200 ℃

قم بترقية مختبرك باستخدام فرن الدثر 1200 ℃ الخاص بنا. تحقيق تسخين سريع ودقيق باستخدام ألياف الألومينا اليابانية وملفات الموليبدينوم. يتميز بوحدة تحكم بشاشة TFT تعمل باللمس لسهولة البرمجة وتحليل البيانات. اطلب الآن!

فرن أنبوبي عالي الضغط

فرن أنبوبي عالي الضغط

فرن أنبوبي عالي الضغط KT-PTF: فرن أنبوبي مدمج منقسم ذو مقاومة ضغط إيجابي قوية. درجة حرارة العمل تصل إلى 1100 درجة مئوية وضغط يصل إلى 15 ميجا باسكال. يعمل أيضًا تحت جو التحكم أو التفريغ العالي.

فرن الغلاف الجوي المتحكم فيه 1700 ℃

فرن الغلاف الجوي المتحكم فيه 1700 ℃

فرن الغلاف الجوي الخاضع للتحكم KT-17A: تسخين 1700 درجة مئوية، وتقنية تفريغ الهواء، والتحكم في درجة الحرارة PID، ووحدة تحكم ذكية متعددة الاستخدامات تعمل باللمس TFT للاستخدامات المختبرية والصناعية.

المقالات ذات الصلة

فرن CVD لنمو الأنابيب النانوية الكربونية

فرن CVD لنمو الأنابيب النانوية الكربونية

تقنية فرن ترسيب البخار الكيميائي (CVD) هي طريقة مستخدمة على نطاق واسع لزراعة الأنابيب النانوية الكربونية.

اعرف المزيد
مزايا استخدام فرن أنبوب CVD للطلاء

مزايا استخدام فرن أنبوب CVD للطلاء

تتميز طلاءات CVD بالعديد من المزايا مقارنة بطرق الطلاء الأخرى ، مثل النقاوة العالية والكثافة والتوحيد ، مما يجعلها مثالية للعديد من التطبيقات في مختلف الصناعات.

اعرف المزيد
تقديم أفران المختبر ذات الأنبوب الفراغي

تقديم أفران المختبر ذات الأنبوب الفراغي

فرن الأنبوب المفرغ هو نوع من الأفران التي تستخدم الفراغ لعزل جو العملية عن الغلاف الجوي الخارجي.

اعرف المزيد
استكشاف أفران تفريغ التنجستن: التشغيل والتطبيقات والمزايا

استكشاف أفران تفريغ التنجستن: التشغيل والتطبيقات والمزايا

اكتشف تشغيل وتطبيقات وفوائد أفران تفريغ التنغستن في البيئات المعملية. تعرف على ميزات KinTek المتقدمة، وآليات التحكم، واستخدام التنغستن في البيئات ذات درجات الحرارة العالية.

اعرف المزيد
استكشاف الخصائص الرئيسية لأفران تسخين الأنبوب

استكشاف الخصائص الرئيسية لأفران تسخين الأنبوب

فرن التسخين الأنبوبي هو نوع متخصص من الأفران الصناعية التي تستخدم في مختلف الصناعات لتسخين المواد من خلال استخدام احتراق الوقود.

اعرف المزيد
فرن PECVD حل منخفض الطاقة ومنخفض درجة الحرارة للمواد اللينة

فرن PECVD حل منخفض الطاقة ومنخفض درجة الحرارة للمواد اللينة

أصبحت أفران PECVD (ترسيب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما) حلاً شائعًا لترسيب الأغشية الرقيقة على أسطح المواد اللينة.

اعرف المزيد
براعة أفران الأنبوب: دليل لتطبيقاتها وفوائدها

براعة أفران الأنبوب: دليل لتطبيقاتها وفوائدها

فرن أنبوب المختبر هو جهاز تسخين متخصص يستخدم في المختبرات العلمية والصناعية لمجموعة متنوعة من التطبيقات.

اعرف المزيد
الدليل الشامل للأفران الأنبوبية: أنواع الأفران الأنبوبية وتطبيقاتها واعتباراتها

الدليل الشامل للأفران الأنبوبية: أنواع الأفران الأنبوبية وتطبيقاتها واعتباراتها

الخوض في عالم الأفران الأنبوبية، واستكشاف أنواعها وتطبيقاتها المتنوعة في الصناعات والمختبرات والعوامل الحاسمة التي يجب مراعاتها للاستخدام الأمثل.

اعرف المزيد
استكشاف أفران الأنابيب الدوارة: دليل شامل

استكشاف أفران الأنابيب الدوارة: دليل شامل

اكتشف طريقة عمل الأفران الأنبوبية الدوارة وتطبيقاتها المتنوعة ومزاياها الرئيسية. اكتشف كيفية عمل هذه الأفران، ومدى ملاءمتها للعمليات المختلفة، والعوامل التي يجب مراعاتها عند اختيار أحدها. اكتشف سبب تفضيل الأفران الأنبوبية الدوارة في معالجة المواد المتقدمة.

اعرف المزيد
آلات CVD لترسيب الأغشية الرقيقة

آلات CVD لترسيب الأغشية الرقيقة

ترسيب البخار الكيميائي (CVD) هي تقنية مستخدمة على نطاق واسع لترسيب الأغشية الرقيقة على ركائز مختلفة.

اعرف المزيد
دليل شامل لأفران الأنبوب المنقسمة: التطبيقات والميزات

دليل شامل لأفران الأنبوب المنقسمة: التطبيقات والميزات

من الصحيح أن فرن الأنبوب المنفصل هو نوع من المعدات المختبرية التي تتكون من أنبوب أو غرفة مجوفة يمكن فتحها للسماح بإدخال وإزالة العينات أو المواد التي يتم تسخينها.

اعرف المزيد
استكشاف فوائد وتطبيقات الأفران الدوارة: دليل شامل

استكشاف فوائد وتطبيقات الأفران الدوارة: دليل شامل

تعد أفران الأنابيب الدوارة أدوات متعددة الاستخدامات يمكن استخدامها لمجموعة واسعة من تطبيقات المعالجة الفيزيائية والكيميائية في المختبر.

اعرف المزيد