فرن CVD و PECVD
آلة فرن أنبوبي لترسيب البخار الكيميائي متعدد مناطق التسخين نظام حجرة ترسيب البخار الكيميائي معدات
رقم العنصر : KT-CTF14
السعر يتغير بناءً على المواصفات والتخصيصات
- درجة الحرارة القصوى
- 1400 ℃
- درجة حرارة العمل الثابتة
- 1300 ℃
- قطر أنبوب الفرن
- 60 mm
- منطقة التسخين
- 2x450 mm
- معدل التسخين
- 0-10 ℃/min
الشحن:
اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع ضمان التسليم في الموعد المحدد.
لماذا تختارنا
شريك موثوقعملية طلب سهلة، منتجات عالية الجودة، ودعم مخصص لنجاح عملك.
مقدمة
فرن أنبوبي متعدد مناطق التسخين لترسيب البخار الكيميائي هو نوع من المعدات المختبرية المستخدمة في ترسيب البخار الكيميائي (CVD). ترسيب البخار الكيميائي هو عملية يتم فيها ترسيب طبقة رقيقة على ركيزة عن طريق التفاعل الكيميائي لغاز أو بخار. أفران الأنابيب متعددة مناطق التسخين لترسيب البخار الكيميائي تحتوي على مناطق تسخين متعددة، مما يسمح بالتحكم الدقيق في ملف درجة الحرارة داخل الفرن. هذا مهم للعديد من عمليات ترسيب البخار الكيميائي، حيث يمكن لدرجة الحرارة أن تؤثر على خصائص الطبقة المترسبة.
تُستخدم أفران الأنابيب متعددة مناطق التسخين لترسيب البخار الكيميائي عادة لأغراض البحث والتطوير، ولكن يمكن استخدامها أيضًا في تطبيقات الإنتاج. وهي متاحة في مجموعة متنوعة من الأحجام والتكوينات، ويمكن تخصيصها لتلبية المتطلبات المحددة لتطبيق معين.
التطبيقات
آلة فرن أنبوبي متعدد مناطق التسخين لترسيب البخار الكيميائي تستخدم على نطاق واسع في مجالات مختلفة، بما في ذلك:
- ترسيب البخار الكيميائي (CVD): نمو الأغشية الرقيقة للأجهزة الإلكترونية وأشباه الموصلات والخلايا الشمسية
- الانتشار: تطعيم أشباه الموصلات والمعادن
- التلدين: المعالجة الحرارية للمواد لتحسين خصائصها
- التلبيد: ربط المواد عن طريق الحرارة والضغط
- المعالجات الحرارية: التسخين والتبريد المتحكم فيه للمواد لأغراض مختلفة
التفاصيل والأجزاء
مخطط توضيحي لبنية غرفة التفاعل النموذجية لمعدات PECVD الأنبوبية 1. فتحة العادم؛ 2. شفة الذيل؛ 3. شفة تبريد مائي للذيل؛ 4. شفة إغلاق الذيل؛ 5. شفة تثبيت الذيل؛ 6. قضيب القطب الكهربائي؛ 7. قارب الجرافيت؛ 8. أنبوب فرن كوارتز؛ 9. شفة تثبيت أمامية؛ 10. شفة تبريد مائي أمامية؛ 11. شفة مدخل هواء أمامية؛ 12. باب الفرن
المبدأ
تستخدم آلة فرن أنبوبي لترسيب البخار الكيميائي متعدد مناطق التسخين ترسيب البخار الكيميائي (CVD) لترسيب الأغشية الرقيقة على الركائز. ترسيب البخار الكيميائي هو عملية تتضمن تفاعل سلائف غازية لتكوين مادة فيلم صلبة. في حالة هذا الفرن، عادة ما تكون السلائف الغازية مركبات معدنية عضوية و/أو هيدريدات، والتي يتم إدخالها إلى غرفة الفرن وتتفاعل مع بعضها البعض لتكوين مادة الفيلم المطلوبة. الفرن مجهز بمناطق تسخين متعددة، مما يسمح بالتحكم الدقيق في درجة حرارة الترسيب وتدرج درجة الحرارة. هذا يتيح ترسيب أغشية عالية الجودة بخصائص مصممة خصيصًا، مثل السماكة والتركيب والتبلور. يتميز الفرن أيضًا بنظام تفريغ يسمح بإزالة الشوائب والتحكم في ضغط الترسيب.
الميزات
توفر أفران الأنابيب متعددة مناطق التسخين لترسيب البخار الكيميائي مجموعة واسعة من الفوائد للمستخدمين، بما في ذلك:
- مناطق تسخين مستقلة: تسمح هذه بإنشاء حقول درجة حرارة ثابتة أطول، بالإضافة إلى تدرجات درجة حرارة متحكم فيها. هذا مثالي للتطبيقات التي يكون فيها التحكم الدقيق في درجة الحرارة أمرًا بالغ الأهمية.
- التحكم في درجة الحرارة القابل للبرمجة PID: يوفر دقة تحكم ممتازة ويدعم التحكم عن بعد والتحكم المركزي. هذا يجعل من السهل مراقبة وضبط درجة حرارة الفرن من أي مكان.
- تحكم عالي الدقة في مقياس تدفق الكتلة MFC: يضمن سرعة إمداد غاز مستقرة. هذا مهم للتطبيقات التي يكون فيها التحكم الدقيق في تدفق الغاز أمرًا بالغ الأهمية.
- شفة تفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ مع منفذ تكييف مختلف: توفر إغلاقًا جيدًا ودرجة تفريغ عالية. هذا مثالي للتطبيقات التي تتطلب تفريغًا عاليًا.
- تطبيق KT-CTF14 Pro وحدة تحكم بشاشة لمس TFT مقاس 7 بوصات: هذا يجعل من السهل تعيين البرامج وتحليل بيانات السجل. هذا مثالي للتطبيقات التي تكون فيها سهولة التشغيل مهمة.
المزايا
- مناطق تسخين مستقلة: إنشاء مجال درجة حرارة ثابتة أطول وتدرج درجة حرارة متحكم فيه.
- التحكم في درجة الحرارة القابل للبرمجة PID: دقة تحكم ممتازة، دعم التحكم عن بعد والتحكم المركزي.
- تحكم عالي الدقة في مقياس تدفق الكتلة MFC: خلط مسبق لغازات المصدر وسرعة إمداد غاز مستقرة.
- شفة تفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ: منافذ تكييف مختلفة لإعدادات محطات مضخات التفريغ المختلفة، إغلاق جيد، ودرجة تفريغ عالية.
- وحدة تحكم KT-CTF14 Pro: شاشة لمس TFT مقاس 7 بوصات، إعداد برنامج سهل الاستخدام، وتحليل بيانات السجل.
- متعدد الأغراض: ترسيب البخار الكيميائي، الانتشار، ومعالجات حرارية أخرى تحت حالة التفريغ وحماية الغلاف الجوي.
- توفير الطاقة: مادة ألياف السيراميك والبنية مزدوجة الطبقة تقلل درجة الحرارة الخارجية.
- منطقة درجة حرارة طويلة: سهلة التشغيل.
- إغلاق موثوق: مؤشر أداء شامل عالي.
- خيارات المواد: أنبوب الفرن متاح من الفولاذ المقاوم للحرارة، زجاج الكوارتز، والسيراميك.
- تطبيقات واسعة: تحليل وتحديد العناصر، تبريد قطع الصلب الصغيرة، التلدين، التقسية، السيراميك الإلكتروني، والمواد الجديدة الأخرى.
المواصفات الفنية
| نموذج الفرن | KT-CTF14-60 |
|---|---|
| درجة الحرارة القصوى | 1400 درجة مئوية |
| درجة حرارة العمل الثابتة | 1300 درجة مئوية |
| مادة أنبوب الفرن | أنبوب أكسيد الألومنيوم عالي النقاء |
| قطر أنبوب الفرن | 60 مم |
| منطقة التسخين | 2 × 450 مم |
| مادة الحجرة | ألياف بولي كريستالية من الألومينا |
| عنصر التسخين | كربيد السيليكون |
| معدل التسخين | 0-10 درجة مئوية/دقيقة |
| المزدوج الحراري | نوع S |
| وحدة تحكم درجة الحرارة | وحدة تحكم PID رقمية / وحدة تحكم PID بشاشة لمس |
| دقة التحكم في درجة الحرارة | ±1 درجة مئوية |
| وحدة التحكم الدقيق في الغاز | |
| مقياس التدفق | مقياس تدفق الكتلة MFC |
| قنوات الغاز | 4 قنوات |
| معدل التدفق | MFC1: 0-5SCCM O2 MFC2: 0-20SCMCH4 MFC3: 0- 100SCCM H2 MFC4: 0-500 SCCM N2 |
| الخطية | ±0.5% F.S. |
| التكرارية | ±0.2% F.S. |
| خط الأنابيب والصمام | فولاذ مقاوم للصدأ |
| أقصى ضغط تشغيل | 0.45 ميجا باسكال |
| وحدة تحكم مقياس التدفق | وحدة تحكم بمقبض رقمي / وحدة تحكم بشاشة لمس |
| وحدة التفريغ القياسية (اختياري) | |
| مضخة التفريغ | مضخة تفريغ دوارة ذات ريش |
| معدل تدفق المضخة | 4 لتر/ثانية |
| منفذ شفط التفريغ | KF25 |
| مقياس التفريغ | مقياس تفريغ Pirani/مقاومة السيليكون |
| ضغط التفريغ المقنن | 10 باسكال |
| وحدة التفريغ العالي (اختياري) | |
| مضخة التفريغ | مضخة دوارة ذات ريش + مضخة جزيئية |
| معدل تدفق المضخة | 4 لتر/ثانية + 110 لتر/ثانية |
| منفذ شفط التفريغ | KF25 |
| مقياس التفريغ | مقياس تفريغ مركب |
| ضغط التفريغ المقنن | 6 × 10-5 باسكال |
| يمكن تخصيص المواصفات والإعدادات المذكورة أعلاه | |
الحزمة القياسية
| رقم | الوصف | الكمية |
|---|---|---|
| 1 | فرن | 1 |
| 2 | أنبوب كوارتز | 1 |
| 3 | شفة تفريغ | 2 |
| 4 | كتلة حرارية للأنبوب | 2 |
| 5 | خطاف كتلة حرارية للأنبوب | 1 |
| 6 | قفاز مقاوم للحرارة | 1 |
| 7 | تحكم دقيق في الغاز | 1 |
| 8 | وحدة تفريغ | 1 |
| 9 | دليل التشغيل | 1 |
الإعداد الاختياري
- كشف ومراقبة الغازات داخل الأنبوب، مثل H2، O2 وما إلى ذلك
- مراقبة وتسجيل درجة حرارة الفرن المستقلة
- منفذ اتصال RS 485 للتحكم عن بعد بالكمبيوتر وتصدير البيانات
- التحكم في معدل تدفق تغذية الغازات الداخلية، مثل مقياس التدفق ومقياس التدفق العائم
- وحدة تحكم في درجة الحرارة بشاشة لمس مع وظائف متعددة سهلة الاستخدام
- إعدادات محطة مضخة التفريغ العالي، مثل مضخة التفريغ ذات الريش، المضخة الجزيئية، مضخة الانتشار
تحذيرات
سلامة المشغل هي أهم قضية! يرجى تشغيل الجهاز بحذر. يعد العمل بالغازات القابلة للاشتعال والانفجار أو السامة أمرًا خطيرًا للغاية ، ويجب على المشغلين اتخاذ جميع الاحتياطات اللازمة قبل بدء تشغيل الجهاز. يعد العمل بالضغط الإيجابي داخل المفاعلات أو الغرف أمرًا خطيرًا ، ويجب على المشغل الالتزام بإجراءات السلامة بدقة. يجب أيضًا توخي الحذر الشديد عند العمل بمواد تفاعلية للهواء ، خاصة في حالة الفراغ. يمكن أن يؤدي التسرب إلى سحب الهواء إلى الجهاز مما يؤدي إلى حدوث رد فعل عنيف.
مصممة لك
تقدم KinTek خدمة ومعدات مخصصة عميقة للعملاء في جميع أنحاء العالم ، والعمل الجماعي المتخصص لدينا والمهندسون ذوو الخبرة الأثرياء قادرون على تنفيذ متطلبات أجهزة ومعدات البرمجيات المخصصة ، ومساعدة عملائنا على بناء المعدات والحلول الحصرية والشخصية!
هل تسمح بإسقاط أفكارك إلينا من فضلك ، مهندسونا جاهزون لك الآن!
FAQ
ما هو فرن CVD؟
ترسيب البخار الكيميائي (CVD) عبارة عن تقنية تستخدم مصادر طاقة مختلفة مثل التسخين أو إثارة البلازما أو الإشعاع الضوئي للتفاعل الكيميائي مع المواد الكيميائية الغازية أو البخارية على الطور الغازي أو السطح البيني الغازي الصلب لتكوين رواسب صلبة في المفاعل عن طريق تفاعل كيميائي: لتوضيح الأمر ببساطة ، يتم إدخال مادتين أو أكثر من المواد الخام الغازية في غرفة التفاعل ، ثم تتفاعل مع بعضها البعض لتشكيل مادة جديدة وترسبها على سطح الركيزة.
فرن CVD هو نظام أفران واحد مدمج مع وحدة فرن أنبوبية ذات درجة حرارة عالية ، ووحدة تحكم في الغازات ، ووحدة تفريغ ، ويستخدم على نطاق واسع لتجربة وإنتاج المواد المركبة ، وعملية الإلكترونيات الدقيقة ، والإلكترونيات الضوئية لأشباه الموصلات ، واستخدام الطاقة الشمسية ، واتصالات الألياف الضوئية ، والموصل الفائق التكنولوجيا ، مجال الطلاء الواقي.
ما هو الفرن الأنبوبي؟
فرن أنبوب المختبر هو أحد أفران الأنبوب ذات درجة الحرارة العالية للتسخين الخارجي الكلاسيكي ، ويسمى أيضًا فرن تسخين الجدار الساخن.
وفقًا لدرجات حرارة العمل المختلفة ، يمكن أن تكون مادة أنبوب الفرن عادةً عبارة عن أنابيب كوارتز شفافة وأنابيب سيراميك الألومينا عالية النقاء وأنابيب سبائك معدنية عالية القوة.
لتلبية أغراض البحث الحراري المختلفة ، يمكن تصميم فرن الأنبوب بمناطق تسخين متعددة ، وذلك للحصول على تحكم مرن في تدرج درجة الحرارة في غرفة عمل الأنبوب ؛ يمكن أن يعمل أنبوب الفرن مع بيئة عمل ذات جو متحكم فيه أو بيئة عمل ذات فراغ عالي.
كيف يعمل فرن CVD؟
يتكون نظام فرن CVD من وحدة فرن أنبوبية ذات درجة حرارة عالية ، ووحدة تحكم دقيقة بمصدر الغاز المتفاعل ، ومحطة مضخة تفريغ وأجزاء تجميع مقابلة.
تعمل مضخة التفريغ على إزالة الهواء من أنبوب التفاعل ، والتأكد من عدم وجود غازات غير مرغوب فيها داخل أنبوب التفاعل ، وبعد ذلك يقوم الفرن الأنبوبي بتسخين أنبوب التفاعل إلى درجة حرارة مستهدفة ، ثم يمكن لوحدة التحكم الدقيقة في مصدر الغاز المتفاعل إدخال مختلف الغازات ذات النسبة المحددة في أنبوب الفرن للتفاعل الكيميائي ، سيتم تشكيل ترسيب البخار الكيميائي في فرن CVD.
كيف يعمل الفرن الأنبوبي؟
يتم وضع عناصر تسخين الفرن الأنبوبي حول التجويف الأسطواني ، ويمكن للفرن فقط تسخين العينات في التجويف الأسطواني من خلال الإشعاع الحراري غير المباشر ، نظرًا لأن أنبوب الفرن يمكن أن يمنع مادة العينة من الاتصال بعناصر تسخين الفرن ومواد العزل ، لذلك يخلق الفرن الأنبوبي عزلًا نظيفًا غرفة الحرارة وتقليل مخاطر تلوث مادة العينة بالفرن.
ما هو الغاز المستخدم في عملية CVD؟
هناك مصادر غاز هائلة يمكن استخدامها في عملية الأمراض القلبية الوعائية ، والتفاعلات الكيميائية الشائعة لأمراض القلب والأوعية الدموية تشمل الانحلال الحراري ، والتحلل الضوئي ، والاختزال ، والأكسدة ، والاختزال ، وبالتالي يمكن استخدام الغازات المشاركة في هذه التفاعلات الكيميائية في عملية الأمراض القلبية الوعائية.
نأخذ نمو الجرافين CVD على سبيل المثال ، الغازات المستخدمة في عملية CVD ستكون CH4 و H2 و O2 و N2.
ما هو المبدأ الأساسي للأمراض القلبية الوعائية؟
ما هو تطبيق فرن الأنبوب؟
يستخدم الفرن الأنبوبي بشكل أساسي في المعادن والزجاج والمعالجة الحرارية وأنود الليثيوم ومواد الكاثود والطاقة الجديدة والمواد الكاشطة وغيرها من الصناعات ، وهو عبارة عن معدات احترافية لقياس المواد تحت ظروف درجات حرارة معينة.
يتميز فرن الأنبوب بالهيكل البسيط والتشغيل السهل والتحكم السهل والإنتاج المستمر.
يتم استخدام فرن الأنبوب أيضًا على نطاق واسع في أنظمة CVD (ترسيب البخار الكيميائي) وأنظمة CVD المحسنة بالبلازما.
ما هي مميزات نظام CVD؟
- يمكن إنتاج مجموعة واسعة من الأفلام ، والأفلام المعدنية ، والأفلام اللافلزية ، والأفلام ذات السبائك المتعددة المكونات حسب الحاجة. في الوقت نفسه ، يمكنها تحضير بلورات عالية الجودة يصعب الحصول عليها بطرق أخرى ، مثل GaN و BP وما إلى ذلك.
- سرعة تشكيل الفيلم سريعة ، عادة ما تكون عدة ميكرونات في الدقيقة أو حتى مئات الميكرونات في الدقيقة. من الممكن إيداع كميات كبيرة من الطلاءات ذات التركيب الموحد في وقت واحد ، وهو أمر لا يضاهى بطرق تحضير الفيلم الأخرى ، مثل epitaxy المرحلة السائلة (LPE) و epitaxy الحزمة الجزيئية (MBE).
- يتم تنفيذ ظروف العمل تحت ضغط عادي أو ظروف فراغ منخفضة ، وبالتالي فإن الطلاء له انعراج جيد ، ويمكن طلاء قطع العمل ذات الأشكال المعقدة بشكل موحد ، وهو أفضل بكثير من PVD.
- نظرًا للانتشار المتبادل لغاز التفاعل ومنتج التفاعل والركيزة ، يمكن الحصول على طلاء بقوة التصاق جيدة ، وهو أمر ضروري لإعداد أغشية مقواة بالسطح مثل الأفلام المقاومة للتآكل والمضادة للتآكل.
- تنمو بعض الأفلام عند درجة حرارة أقل بكثير من درجة انصهار مادة الفيلم. في ظل حالة النمو في درجات الحرارة المنخفضة ، لا يتفاعل غاز التفاعل وجدار المفاعل والشوائب الموجودة فيهما تقريبًا ، لذلك يمكن الحصول على فيلم بنقاوة عالية وتبلور جيد.
- يمكن أن يحصل ترسيب البخار الكيميائي على سطح ترسيب أملس. هذا لأنه بالمقارنة مع LPE ، يتم إجراء ترسيب البخار الكيميائي (CVD) تحت إشباع عالٍ ، مع معدل تنوي مرتفع ، وكثافة تنوي عالية ، وتوزيع منتظم على المستوى بأكمله ، مما ينتج عنه سطح أملس مجهري. في الوقت نفسه ، في ترسيب البخار الكيميائي ، يكون متوسط المسار الحر للجزيئات (الذرات) أكبر بكثير من LPE ، وبالتالي يكون التوزيع المكاني للجزيئات أكثر اتساقًا ، مما يؤدي إلى تكوين سطح ترسيب أملس.
- ضرر الإشعاع المنخفض ، وهو شرط ضروري لتصنيع أشباه موصلات أكسيد المعادن (MOS) والأجهزة الأخرى
ما هي الأنواع المختلفة لطريقة CVD؟
كم عدد أنواع مختلفة من فرن الأنابيب؟
يمكن أن يعمل فرن الأنبوب بوظائف ميكانيكية مختلفة بسلاسة ، لذلك هناك العديد من الأنواع المختلفة للأفران الأنبوبية لأغراض التجربة المختلفة ، وأفران الأفران النموذجية على النحو التالي:
- فرن أنبوب أفقي
- فرن أنبوب عمودي
- فرن ذو أنبوب منفصل
- فرن أنبوب دوار
- فرن أنبوب مائل
- انزلاق الفرن الأنبوبي
- فرن تسخين وتبريد سريع
- تغذية مستمرة وفرن أنبوب التفريغ
ما هو موقف PECVD؟
PECVD هي تقنية تستخدم البلازما لتنشيط غاز التفاعل ، وتعزيز التفاعل الكيميائي على سطح الركيزة أو بالقرب من مساحة السطح ، وتوليد فيلم صلب. المبدأ الأساسي لتقنية ترسيب البخار الكيميائي للبلازما هو أنه تحت تأثير المجال الكهربائي RF أو DC ، يتأين غاز المصدر لتشكيل بلازما ، وتستخدم البلازما منخفضة الحرارة كمصدر للطاقة ، وكمية مناسبة من غاز التفاعل يتم إدخاله ، ويتم استخدام تفريغ البلازما لتنشيط غاز التفاعل وتحقيق ترسب البخار الكيميائي.
وفقًا لطريقة توليد البلازما ، يمكن تقسيمها إلى بلازما RF ، بلازما DC وبلازما ميكروويف CVD ، إلخ ...
ما هو الفرق بين CVD و PECVD؟
الفرق بين PECVD وتقنية CVD التقليدية هو أن البلازما تحتوي على عدد كبير من الإلكترونات عالية الطاقة ، والتي يمكن أن توفر طاقة التنشيط المطلوبة في عملية ترسيب البخار الكيميائي ، وبالتالي تغيير نمط إمداد الطاقة لنظام التفاعل. نظرًا لأن درجة حرارة الإلكترون في البلازما تصل إلى 10000 كلفن ، فإن الاصطدام بين الإلكترونات وجزيئات الغاز يمكن أن يعزز كسر الرابطة الكيميائية وإعادة اتحاد جزيئات غاز التفاعل لتوليد مجموعات كيميائية أكثر نشاطًا ، بينما يحافظ نظام التفاعل بأكمله على درجة حرارة منخفضة.
بالمقارنة مع عملية CVD ، يمكن لـ PECVD تنفيذ نفس عملية ترسيب البخار الكيميائي مع درجة حرارة منخفضة.
4.8
out of
5
KINTEK SOLUTION's CVD tube furnace is a game-changer in our lab. The precise temperature control and uniform heating ensure consistent results every time.
4.7
out of
5
The CVD machine is a highly versatile and reliable equipment. The multi-zone heating allows us to create various temperature profiles, making it suitable for a wide range of experiments.
4.9
out of
5
The speed of delivery was impressive. We received the furnace within a week of placing the order, allowing us to start our experiments promptly.
4.8
out of
5
The value for money is exceptional. KINTEK SOLUTION provides high-quality equipment at a reasonable price, making it an excellent choice for labs with budget constraints.
4.7
out of
5
The after-sales service is top-notch. The KINTEK SOLUTION team is always responsive and provides prompt support, ensuring our lab's smooth operation.
4.9
out of
5
The durability of the CVD tube furnace is remarkable. We have been using it extensively for over a year, and it continues to perform flawlessly, delivering consistent results.
4.8
out of
5
The technological advancement of this CVD machine is truly impressive. The multi-zone heating, precise temperature control, and user-friendly interface make it an invaluable asset to our lab.
4.7
out of
5
The CVD tube furnace has significantly improved the efficiency of our research. The fast heating and cooling rates allow us to conduct experiments more quickly, saving valuable time.
4.9
out of
5
The CVD machine from KINTEK SOLUTION is a reliable workhorse in our lab. It operates smoothly, providing consistent and accurate results, which are crucial for our research.
المنتجات
آلة فرن أنبوبي لترسيب البخار الكيميائي متعدد مناطق التسخين نظام حجرة ترسيب البخار الكيميائي معدات
اطلب اقتباس
سيقوم فريقنا المحترف بالرد عليك في غضون يوم عمل واحد. لا تتردد في الاتصال بنا!
المنتجات ذات الصلة
فرن أنبوبي ترسيب بخار كيميائي ذو حجرة مقسمة مع نظام محطة تفريغ معدات آلة ترسيب بخار كيميائي
فرن ترسيب بخار كيميائي فعال ذو حجرة مقسمة مع محطة تفريغ لفحص العينات البديهي والتبريد السريع. درجة حرارة قصوى تصل إلى 1200 درجة مئوية مع تحكم دقيق بمقياس التدفق الكتلي MFC.
معدات فرن أنبوب ترسيب البخار المعزز بالبلازما الدوار المائل PECVD
نقدم فرن PECVD الدوار المائل الخاص بنا لترسيب الأغشية الرقيقة بدقة. استمتع بمصدر مطابقة تلقائي، وتحكم في درجة الحرارة قابل للبرمجة PID، وتحكم عالي الدقة في مقياس التدفق الكتلي MFC. ميزات أمان مدمجة لراحة البال.
فرن أنبوبي معملي رأسي من الكوارتز
ارتقِ بتجاربك مع فرن الأنبوب الرأسي الخاص بنا. يسمح التصميم متعدد الاستخدامات بالتشغيل في بيئات مختلفة وتطبيقات المعالجة الحرارية. اطلب الآن للحصول على نتائج دقيقة!
فرن أنبوب دوار مقسم متعدد مناطق التسخين
فرن دوار متعدد المناطق للتحكم الدقيق في درجة الحرارة مع 2-8 مناطق تسخين مستقلة. مثالي لمواد أقطاب بطاريات الليثيوم أيون والتفاعلات ذات درجات الحرارة العالية. يمكن العمل تحت التفريغ والجو المتحكم فيه.
فرن الضغط الساخن بالفراغ آلة الضغط الساخن بالفراغ فرن الأنبوب
قلل ضغط التشكيل وقصر وقت التلبيد باستخدام فرن الضغط الساخن بالفراغ الأنبوبي للمواد عالية الكثافة والحبيبات الدقيقة. مثالي للمعادن المقاومة للصهر.
فرن أنبوبي من الكوارتز عالي الضغط للمختبر
فرن أنبوبي عالي الضغط KT-PTF: فرن أنبوبي صغير منقسم مع مقاومة قوية للضغط الإيجابي. درجة حرارة العمل تصل إلى 1100 درجة مئوية وضغط يصل إلى 15 ميجا باسكال. يعمل أيضًا تحت جو متحكم فيه أو فراغ عالي.
فرن تسخين أنبوبي RTP لفرن كوارتز معملي
احصل على تسخين فائق السرعة مع فرن التسخين السريع RTP. مصمم للتسخين والتبريد الدقيق وعالي السرعة مع سكة منزلقة مريحة ووحدة تحكم بشاشة لمس TFT. اطلب الآن للمعالجة الحرارية المثالية!
فرن أنبوب كوارتز معملي بدرجة حرارة 1700 درجة مئوية وفرن أنبوبي من الألومينا
هل تبحث عن فرن أنبوبي عالي الحرارة؟ تحقق من فرن الأنبوب بدرجة حرارة 1700 درجة مئوية مع أنبوب الألومينا. مثالي للتطبيقات البحثية والصناعية حتى 1700 درجة مئوية.
فرن تلدين الأسلاك الموليبدينوم بالتفريغ للمعالجة الحرارية بالتفريغ
فرن تلدين الأسلاك الموليبدينوم بالتفريغ هو هيكل عمودي أو غرفة، وهو مناسب للسحب، اللحام بالنحاس، التلدين وإزالة الغازات للمواد المعدنية في ظروف التفريغ العالي ودرجات الحرارة العالية. كما أنه مناسب لمعالجة إزالة الهيدروكسيل لمواد الكوارتز.
أنبوب فرن الألومينا عالي الحرارة (Al2O3) للسيراميك الدقيق الهندسي المتقدم
يجمع أنبوب فرن الألومينا عالي الحرارة بين مزايا الصلابة العالية للألومينا، والخمول الكيميائي الجيد والفولاذ، ويتمتع بمقاومة ممتازة للتآكل، ومقاومة الصدمات الحرارية، ومقاومة الصدمات الميكانيكية.
آلة فرن الضغط الساخن الفراغي للتصفيح والتسخين
استمتع بتجربة تصفيح نظيفة ودقيقة مع مكبس التصفيح الفراغي. مثالي لربط الرقائق، وتحويلات الأغشية الرقيقة، وتصفيح LCP. اطلب الآن!
فرن أنبوب دوار مستمر محكم الغلق بالشفط فرن أنبوب دوار
جرب معالجة مواد فعالة باستخدام فرن الأنبوب الدوار محكم الغلق بالشفط. مثالي للتجارب أو الإنتاج الصناعي، ومجهز بميزات اختيارية للتغذية المتحكم بها والنتائج المثلى. اطلب الآن.
فرن أنبوب دوار مائل فراغي للمختبر فرن أنبوب دوار
اكتشف تنوع فرن المختبر الدوار: مثالي للتكليس والتجفيف والتلبيد وتفاعلات درجات الحرارة العالية. وظائف دوران وإمالة قابلة للتعديل لتحقيق تسخين أمثل. مناسب لبيئات الفراغ والجو المتحكم فيه. تعرف على المزيد الآن!
فرن الغلاف الجوي المتحكم فيه بحزام شبكي
اكتشف فرن التلبيد بحزام شبكي KT-MB الخاص بنا - مثالي للتلبيد بدرجات حرارة عالية للمكونات الإلكترونية والعوازل الزجاجية. متوفر لبيئات الهواء الطلق أو الغلاف الجوي المتحكم فيه.
فرن فرن عالي الحرارة للمختبر لإزالة الشوائب والتلبيد المسبق
فرن KT-MD عالي الحرارة لإزالة الشوائب والتلبيد المسبق للمواد السيراميكية مع عمليات قولبة مختلفة. مثالي للمكونات الإلكترونية مثل MLCC و NFC.
فرن تفحيم الجرافيت الأفقي عالي الحرارة
فرن التفحيم الأفقي: تم تصميم هذا النوع من الأفران بعناصر تسخين موضوعة أفقيًا، مما يسمح بتسخين موحد للعينة. إنه مناسب تمامًا لتفحيم العينات الكبيرة أو الضخمة التي تتطلب تحكمًا دقيقًا في درجة الحرارة والتوحيد.
فرن جرافيت تسامي فراغي عمودي كبير
فرن الجرافيت العمودي عالي الحرارة الكبير هو نوع من الأفران الصناعية المستخدمة في جرافيت المواد الكربونية، مثل ألياف الكربون والكربون الأسود. إنه فرن عالي الحرارة يمكن أن يصل إلى درجات حرارة تصل إلى 3100 درجة مئوية.
اكتشف قوة فرن القوس الفراغي لصهر المعادن النشطة والمقاومة. سرعة عالية، تأثير إزالة غازات ملحوظ، وخالٍ من التلوث. اعرف المزيد الآن!
فرن معالجة حرارية بالتفريغ والتلبيد بضغط هواء 9 ميجا باسكال
فرن التلبيد بالضغط الهوائي هو معدات عالية التقنية تستخدم بشكل شائع لتلبيد المواد الخزفية المتقدمة. يجمع بين تقنيات التلبيد بالتفريغ والتلبيد بالضغط لتحقيق مواد خزفية عالية الكثافة وعالية القوة.
المقالات ذات الصلة
هندسة اللامعلوم: إتقان فرن أنبوب الترسيب الكيميائي بالبخار (CVD)
يحول الترسيب الكيميائي بالبخار (CVD) الغاز إلى مادة صلبة بدقة ذرية. استكشف كيف يعمل نظام المفاعل المعقد هذا ولماذا يحدد علوم المواد الحديثة.
فرن CVD لنمو الأنابيب النانوية الكربونية
تقنية فرن ترسيب البخار الكيميائي (CVD) هي طريقة مستخدمة على نطاق واسع لزراعة الأنابيب النانوية الكربونية.
مزايا استخدام فرن أنبوب CVD للطلاء
تتميز طلاءات CVD بالعديد من المزايا مقارنة بطرق الطلاء الأخرى ، مثل النقاوة العالية والكثافة والتوحيد ، مما يجعلها مثالية للعديد من التطبيقات في مختلف الصناعات.
تقديم أفران المختبر ذات الأنبوب الفراغي
فرن الأنبوب المفرغ هو نوع من الأفران التي تستخدم الفراغ لعزل جو العملية عن الغلاف الجوي الخارجي.
استكشاف أفران تفريغ التنجستن: التشغيل والتطبيقات والمزايا
اكتشف تشغيل وتطبيقات وفوائد أفران تفريغ التنغستن في البيئات المعملية. تعرف على ميزات KinTek المتقدمة، وآليات التحكم، واستخدام التنغستن في البيئات ذات درجات الحرارة العالية.
استكشاف الخصائص الرئيسية لأفران تسخين الأنبوب
فرن التسخين الأنبوبي هو نوع متخصص من الأفران الصناعية التي تستخدم في مختلف الصناعات لتسخين المواد من خلال استخدام احتراق الوقود.
فرن PECVD حل منخفض الطاقة ومنخفض درجة الحرارة للمواد اللينة
أصبحت أفران PECVD (ترسيب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما) حلاً شائعًا لترسيب الأغشية الرقيقة على أسطح المواد اللينة.
براعة أفران الأنبوب: دليل لتطبيقاتها وفوائدها
فرن أنبوب المختبر هو جهاز تسخين متخصص يستخدم في المختبرات العلمية والصناعية لمجموعة متنوعة من التطبيقات.
الدليل الشامل للأفران الأنبوبية: أنواع الأفران الأنبوبية وتطبيقاتها واعتباراتها
الخوض في عالم الأفران الأنبوبية، واستكشاف أنواعها وتطبيقاتها المتنوعة في الصناعات والمختبرات والعوامل الحاسمة التي يجب مراعاتها للاستخدام الأمثل.
استكشاف أفران الأنابيب الدوارة: دليل شامل
اكتشف طريقة عمل الأفران الأنبوبية الدوارة وتطبيقاتها المتنوعة ومزاياها الرئيسية. اكتشف كيفية عمل هذه الأفران، ومدى ملاءمتها للعمليات المختلفة، والعوامل التي يجب مراعاتها عند اختيار أحدها. اكتشف سبب تفضيل الأفران الأنبوبية الدوارة في معالجة المواد المتقدمة.
آلات CVD لترسيب الأغشية الرقيقة
ترسيب البخار الكيميائي (CVD) هي تقنية مستخدمة على نطاق واسع لترسيب الأغشية الرقيقة على ركائز مختلفة.
دليل شامل لأفران الأنبوب المنقسمة: التطبيقات والميزات
من الصحيح أن فرن الأنبوب المنفصل هو نوع من المعدات المختبرية التي تتكون من أنبوب أو غرفة مجوفة يمكن فتحها للسماح بإدخال وإزالة العينات أو المواد التي يتم تسخينها.