المنتجات المعدات الحرارية فرن CVD و PECVD آلة فرن أنبوبي لترسيب البخار الكيميائي متعدد مناطق التسخين نظام حجرة ترسيب البخار الكيميائي معدات
تبديل الفئات
الفئات
آلة فرن أنبوبي لترسيب البخار الكيميائي متعدد مناطق التسخين نظام حجرة ترسيب البخار الكيميائي معدات

فرن CVD و PECVD

آلة فرن أنبوبي لترسيب البخار الكيميائي متعدد مناطق التسخين نظام حجرة ترسيب البخار الكيميائي معدات

رقم العنصر : KT-CTF14

السعر يتغير بناءً على المواصفات والتخصيصات


درجة الحرارة القصوى
1400 ℃
درجة حرارة العمل الثابتة
1300 ℃
قطر أنبوب الفرن
60 mm
منطقة التسخين
2x450 mm
معدل التسخين
0-10 ℃/min
ISO & CE icon

الشحن:

اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع ضمان التسليم في الموعد المحدد.

عرض المواصفات

لماذا تختارنا

عملية طلب سهلة، منتجات عالية الجودة، ودعم مخصص لنجاح عملك.

عملية سهلة جودة مضمونة دعم مخصص

مقدمة

فرن أنبوبي متعدد مناطق التسخين لترسيب البخار الكيميائي هو نوع من المعدات المختبرية المستخدمة في ترسيب البخار الكيميائي (CVD). ترسيب البخار الكيميائي هو عملية يتم فيها ترسيب طبقة رقيقة على ركيزة عن طريق التفاعل الكيميائي لغاز أو بخار. أفران الأنابيب متعددة مناطق التسخين لترسيب البخار الكيميائي تحتوي على مناطق تسخين متعددة، مما يسمح بالتحكم الدقيق في ملف درجة الحرارة داخل الفرن. هذا مهم للعديد من عمليات ترسيب البخار الكيميائي، حيث يمكن لدرجة الحرارة أن تؤثر على خصائص الطبقة المترسبة.

تُستخدم أفران الأنابيب متعددة مناطق التسخين لترسيب البخار الكيميائي عادة لأغراض البحث والتطوير، ولكن يمكن استخدامها أيضًا في تطبيقات الإنتاج. وهي متاحة في مجموعة متنوعة من الأحجام والتكوينات، ويمكن تخصيصها لتلبية المتطلبات المحددة لتطبيق معين.

التطبيقات

آلة فرن أنبوبي متعدد مناطق التسخين لترسيب البخار الكيميائي تستخدم على نطاق واسع في مجالات مختلفة، بما في ذلك:

  • ترسيب البخار الكيميائي (CVD): نمو الأغشية الرقيقة للأجهزة الإلكترونية وأشباه الموصلات والخلايا الشمسية
  • الانتشار: تطعيم أشباه الموصلات والمعادن
  • التلدين: المعالجة الحرارية للمواد لتحسين خصائصها
  • التلبيد: ربط المواد عن طريق الحرارة والضغط
  • المعالجات الحرارية: التسخين والتبريد المتحكم فيه للمواد لأغراض مختلفة

التفاصيل والأجزاء

فرن ترسيب بخار كيميائي بخمس مناطق تسخين مع مضخة تفريغ عالية
فرن ترسيب بخار كيميائي بخمس مناطق تسخين مع مضخة تفريغ عالية
فرن ترسيب بخار كيميائي مقسم بأربع مناطق تسخين
فرن ترسيب بخار كيميائي مقسم بأربع مناطق تسخين.
فرن ترسيب بخار كيميائي بمنطقتي تسخين مع محطة غاز MFC بشاشة لمس
فرن ترسيب بخار كيميائي بمنطقتي تسخين مع محطة غاز MFC بشاشة لمس
فرن ترسيب بخار كيميائي بـ 3 مناطق تسخين 1600 درجة مئوية مع شفة تبريد مائي
فرن ترسيب بخار كيميائي بـ 3 مناطق تسخين 1600 درجة مئوية مع شفة تبريد مائي
مخطط توضيحي لبنية غرفة التفاعل النموذجية لمعدات PECVD الأنبوبية

مخطط توضيحي لبنية غرفة التفاعل النموذجية لمعدات PECVD الأنبوبية 1. فتحة العادم؛ 2. شفة الذيل؛ 3. شفة تبريد مائي للذيل؛ 4. شفة إغلاق الذيل؛ 5. شفة تثبيت الذيل؛ 6. قضيب القطب الكهربائي؛ 7. قارب الجرافيت؛ 8. أنبوب فرن كوارتز؛ 9. شفة تثبيت أمامية؛ 10. شفة تبريد مائي أمامية؛ 11. شفة مدخل هواء أمامية؛ 12. باب الفرن

المبدأ

تستخدم آلة فرن أنبوبي لترسيب البخار الكيميائي متعدد مناطق التسخين ترسيب البخار الكيميائي (CVD) لترسيب الأغشية الرقيقة على الركائز. ترسيب البخار الكيميائي هو عملية تتضمن تفاعل سلائف غازية لتكوين مادة فيلم صلبة. في حالة هذا الفرن، عادة ما تكون السلائف الغازية مركبات معدنية عضوية و/أو هيدريدات، والتي يتم إدخالها إلى غرفة الفرن وتتفاعل مع بعضها البعض لتكوين مادة الفيلم المطلوبة. الفرن مجهز بمناطق تسخين متعددة، مما يسمح بالتحكم الدقيق في درجة حرارة الترسيب وتدرج درجة الحرارة. هذا يتيح ترسيب أغشية عالية الجودة بخصائص مصممة خصيصًا، مثل السماكة والتركيب والتبلور. يتميز الفرن أيضًا بنظام تفريغ يسمح بإزالة الشوائب والتحكم في ضغط الترسيب.

الميزات

توفر أفران الأنابيب متعددة مناطق التسخين لترسيب البخار الكيميائي مجموعة واسعة من الفوائد للمستخدمين، بما في ذلك:

  • مناطق تسخين مستقلة: تسمح هذه بإنشاء حقول درجة حرارة ثابتة أطول، بالإضافة إلى تدرجات درجة حرارة متحكم فيها. هذا مثالي للتطبيقات التي يكون فيها التحكم الدقيق في درجة الحرارة أمرًا بالغ الأهمية.
  • التحكم في درجة الحرارة القابل للبرمجة PID: يوفر دقة تحكم ممتازة ويدعم التحكم عن بعد والتحكم المركزي. هذا يجعل من السهل مراقبة وضبط درجة حرارة الفرن من أي مكان.
  • تحكم عالي الدقة في مقياس تدفق الكتلة MFC: يضمن سرعة إمداد غاز مستقرة. هذا مهم للتطبيقات التي يكون فيها التحكم الدقيق في تدفق الغاز أمرًا بالغ الأهمية.
  • شفة تفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ مع منفذ تكييف مختلف: توفر إغلاقًا جيدًا ودرجة تفريغ عالية. هذا مثالي للتطبيقات التي تتطلب تفريغًا عاليًا.
  • تطبيق KT-CTF14 Pro وحدة تحكم بشاشة لمس TFT مقاس 7 بوصات: هذا يجعل من السهل تعيين البرامج وتحليل بيانات السجل. هذا مثالي للتطبيقات التي تكون فيها سهولة التشغيل مهمة.

المزايا

  • مناطق تسخين مستقلة: إنشاء مجال درجة حرارة ثابتة أطول وتدرج درجة حرارة متحكم فيه.
  • التحكم في درجة الحرارة القابل للبرمجة PID: دقة تحكم ممتازة، دعم التحكم عن بعد والتحكم المركزي.
  • تحكم عالي الدقة في مقياس تدفق الكتلة MFC: خلط مسبق لغازات المصدر وسرعة إمداد غاز مستقرة.
  • شفة تفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ: منافذ تكييف مختلفة لإعدادات محطات مضخات التفريغ المختلفة، إغلاق جيد، ودرجة تفريغ عالية.
  • وحدة تحكم KT-CTF14 Pro: شاشة لمس TFT مقاس 7 بوصات، إعداد برنامج سهل الاستخدام، وتحليل بيانات السجل.
  • متعدد الأغراض: ترسيب البخار الكيميائي، الانتشار، ومعالجات حرارية أخرى تحت حالة التفريغ وحماية الغلاف الجوي.
  • توفير الطاقة: مادة ألياف السيراميك والبنية مزدوجة الطبقة تقلل درجة الحرارة الخارجية.
  • منطقة درجة حرارة طويلة: سهلة التشغيل.
  • إغلاق موثوق: مؤشر أداء شامل عالي.
  • خيارات المواد: أنبوب الفرن متاح من الفولاذ المقاوم للحرارة، زجاج الكوارتز، والسيراميك.
  • تطبيقات واسعة: تحليل وتحديد العناصر، تبريد قطع الصلب الصغيرة، التلدين، التقسية، السيراميك الإلكتروني، والمواد الجديدة الأخرى.

المواصفات الفنية

نموذج الفرن KT-CTF14-60
درجة الحرارة القصوى 1400 درجة مئوية
درجة حرارة العمل الثابتة 1300 درجة مئوية
مادة أنبوب الفرن أنبوب أكسيد الألومنيوم عالي النقاء
قطر أنبوب الفرن 60 مم
منطقة التسخين 2 × 450 مم
مادة الحجرة ألياف بولي كريستالية من الألومينا
عنصر التسخين كربيد السيليكون
معدل التسخين 0-10 درجة مئوية/دقيقة
المزدوج الحراري نوع S
وحدة تحكم درجة الحرارة وحدة تحكم PID رقمية / وحدة تحكم PID بشاشة لمس
دقة التحكم في درجة الحرارة ±1 درجة مئوية
وحدة التحكم الدقيق في الغاز
مقياس التدفق مقياس تدفق الكتلة MFC
قنوات الغاز 4 قنوات
معدل التدفق MFC1: 0-5SCCM O2
MFC2: 0-20SCMCH4
MFC3: 0- 100SCCM H2
MFC4: 0-500 SCCM N2
الخطية ±0.5% F.S.
التكرارية ±0.2% F.S.
 خط الأنابيب والصمام فولاذ مقاوم للصدأ
أقصى ضغط تشغيل 0.45 ميجا باسكال
وحدة تحكم مقياس التدفق وحدة تحكم بمقبض رقمي / وحدة تحكم بشاشة لمس
وحدة التفريغ القياسية (اختياري)
مضخة التفريغ مضخة تفريغ دوارة ذات ريش
معدل تدفق المضخة 4 لتر/ثانية
منفذ شفط التفريغ KF25
مقياس التفريغ مقياس تفريغ Pirani/مقاومة السيليكون
ضغط التفريغ المقنن 10 باسكال
وحدة التفريغ العالي (اختياري)  
مضخة التفريغ مضخة دوارة ذات ريش + مضخة جزيئية
معدل تدفق المضخة 4 لتر/ثانية + 110 لتر/ثانية
منفذ شفط التفريغ KF25
مقياس التفريغ مقياس تفريغ مركب
ضغط التفريغ المقنن 6 × 10-5 باسكال
يمكن تخصيص المواصفات والإعدادات المذكورة أعلاه

الحزمة القياسية

رقم الوصف الكمية
1 فرن 1
2 أنبوب كوارتز 1
3 شفة تفريغ 2
4 كتلة حرارية للأنبوب 2
5 خطاف كتلة حرارية للأنبوب 1
6 قفاز مقاوم للحرارة 1
7 تحكم دقيق في الغاز 1
8 وحدة تفريغ 1
9 دليل التشغيل 1

الإعداد الاختياري

  • كشف ومراقبة الغازات داخل الأنبوب، مثل H2، O2 وما إلى ذلك
  • مراقبة وتسجيل درجة حرارة الفرن المستقلة
  • منفذ اتصال RS 485 للتحكم عن بعد بالكمبيوتر وتصدير البيانات
  • التحكم في معدل تدفق تغذية الغازات الداخلية، مثل مقياس التدفق ومقياس التدفق العائم
  • وحدة تحكم في درجة الحرارة بشاشة لمس مع وظائف متعددة سهلة الاستخدام
  • إعدادات محطة مضخة التفريغ العالي، مثل مضخة التفريغ ذات الريش، المضخة الجزيئية، مضخة الانتشار

تحذيرات

سلامة المشغل هي أهم قضية! يرجى تشغيل الجهاز بحذر. يعد العمل بالغازات القابلة للاشتعال والانفجار أو السامة أمرًا خطيرًا للغاية ، ويجب على المشغلين اتخاذ جميع الاحتياطات اللازمة قبل بدء تشغيل الجهاز. يعد العمل بالضغط الإيجابي داخل المفاعلات أو الغرف أمرًا خطيرًا ، ويجب على المشغل الالتزام بإجراءات السلامة بدقة. يجب أيضًا توخي الحذر الشديد عند العمل بمواد تفاعلية للهواء ، خاصة في حالة الفراغ. يمكن أن يؤدي التسرب إلى سحب الهواء إلى الجهاز مما يؤدي إلى حدوث رد فعل عنيف.

مصممة لك

تقدم KinTek خدمة ومعدات مخصصة عميقة للعملاء في جميع أنحاء العالم ، والعمل الجماعي المتخصص لدينا والمهندسون ذوو الخبرة الأثرياء قادرون على تنفيذ متطلبات أجهزة ومعدات البرمجيات المخصصة ، ومساعدة عملائنا على بناء المعدات والحلول الحصرية والشخصية!

هل تسمح بإسقاط أفكارك إلينا من فضلك ، مهندسونا جاهزون لك الآن!

موثوق به من قبل رواد الصناعة

عملاؤنا المتعاونون

FAQ

ما هو فرن CVD؟

ترسيب البخار الكيميائي (CVD) عبارة عن تقنية تستخدم مصادر طاقة مختلفة مثل التسخين أو إثارة البلازما أو الإشعاع الضوئي للتفاعل الكيميائي مع المواد الكيميائية الغازية أو البخارية على الطور الغازي أو السطح البيني الغازي الصلب لتكوين رواسب صلبة في المفاعل عن طريق تفاعل كيميائي: لتوضيح الأمر ببساطة ، يتم إدخال مادتين أو أكثر من المواد الخام الغازية في غرفة التفاعل ، ثم تتفاعل مع بعضها البعض لتشكيل مادة جديدة وترسبها على سطح الركيزة.

فرن CVD هو نظام أفران واحد مدمج مع وحدة فرن أنبوبية ذات درجة حرارة عالية ، ووحدة تحكم في الغازات ، ووحدة تفريغ ، ويستخدم على نطاق واسع لتجربة وإنتاج المواد المركبة ، وعملية الإلكترونيات الدقيقة ، والإلكترونيات الضوئية لأشباه الموصلات ، واستخدام الطاقة الشمسية ، واتصالات الألياف الضوئية ، والموصل الفائق التكنولوجيا ، مجال الطلاء الواقي.

ما هو الفرن الأنبوبي؟

فرن أنبوب المختبر هو أحد أفران الأنبوب ذات درجة الحرارة العالية للتسخين الخارجي الكلاسيكي ، ويسمى أيضًا فرن تسخين الجدار الساخن.

وفقًا لدرجات حرارة العمل المختلفة ، يمكن أن تكون مادة أنبوب الفرن عادةً عبارة عن أنابيب كوارتز شفافة وأنابيب سيراميك الألومينا عالية النقاء وأنابيب سبائك معدنية عالية القوة.

لتلبية أغراض البحث الحراري المختلفة ، يمكن تصميم فرن الأنبوب بمناطق تسخين متعددة ، وذلك للحصول على تحكم مرن في تدرج درجة الحرارة في غرفة عمل الأنبوب ؛ يمكن أن يعمل أنبوب الفرن مع بيئة عمل ذات جو متحكم فيه أو بيئة عمل ذات فراغ عالي.

كيف يعمل فرن CVD؟

يتكون نظام فرن CVD من وحدة فرن أنبوبية ذات درجة حرارة عالية ، ووحدة تحكم دقيقة بمصدر الغاز المتفاعل ، ومحطة مضخة تفريغ وأجزاء تجميع مقابلة.

تعمل مضخة التفريغ على إزالة الهواء من أنبوب التفاعل ، والتأكد من عدم وجود غازات غير مرغوب فيها داخل أنبوب التفاعل ، وبعد ذلك يقوم الفرن الأنبوبي بتسخين أنبوب التفاعل إلى درجة حرارة مستهدفة ، ثم يمكن لوحدة التحكم الدقيقة في مصدر الغاز المتفاعل إدخال مختلف الغازات ذات النسبة المحددة في أنبوب الفرن للتفاعل الكيميائي ، سيتم تشكيل ترسيب البخار الكيميائي في فرن CVD.

كيف يعمل الفرن الأنبوبي؟

يتم وضع عناصر تسخين الفرن الأنبوبي حول التجويف الأسطواني ، ويمكن للفرن فقط تسخين العينات في التجويف الأسطواني من خلال الإشعاع الحراري غير المباشر ، نظرًا لأن أنبوب الفرن يمكن أن يمنع مادة العينة من الاتصال بعناصر تسخين الفرن ومواد العزل ، لذلك يخلق الفرن الأنبوبي عزلًا نظيفًا غرفة الحرارة وتقليل مخاطر تلوث مادة العينة بالفرن.

ما هو الغاز المستخدم في عملية CVD؟

هناك مصادر غاز هائلة يمكن استخدامها في عملية الأمراض القلبية الوعائية ، والتفاعلات الكيميائية الشائعة لأمراض القلب والأوعية الدموية تشمل الانحلال الحراري ، والتحلل الضوئي ، والاختزال ، والأكسدة ، والاختزال ، وبالتالي يمكن استخدام الغازات المشاركة في هذه التفاعلات الكيميائية في عملية الأمراض القلبية الوعائية.

نأخذ نمو الجرافين CVD على سبيل المثال ، الغازات المستخدمة في عملية CVD ستكون CH4 و H2 و O2 و N2.

ما هو المبدأ الأساسي للأمراض القلبية الوعائية؟

يتمثل المبدأ الأساسي لترسيب البخار الكيميائي (CVD) في تعريض الركيزة لواحد أو أكثر من السلائف المتطايرة التي تتفاعل أو تتحلل على سطحها لإنتاج رواسب رقيقة. يمكن استخدام هذه العملية في تطبيقات مختلفة ، مثل أغشية الزخرفة ومواد العزل وطبقات التوصيل المعدنية. الأمراض القلبية الوعائية عملية متعددة الاستخدامات يمكنها تصنيع مواد الطلاء والمساحيق والألياف والأنابيب النانوية والمكونات المتجانسة. كما أنها قادرة على إنتاج معظم المعادن والسبائك المعدنية ومركباتها وأشباه الموصلات والأنظمة اللافلزية. ترسب مادة صلبة على سطح ساخن من تفاعل كيميائي في مرحلة البخار يميز عملية CVD.

ما هو تطبيق فرن الأنبوب؟

يستخدم الفرن الأنبوبي بشكل أساسي في المعادن والزجاج والمعالجة الحرارية وأنود الليثيوم ومواد الكاثود والطاقة الجديدة والمواد الكاشطة وغيرها من الصناعات ، وهو عبارة عن معدات احترافية لقياس المواد تحت ظروف درجات حرارة معينة.

يتميز فرن الأنبوب بالهيكل البسيط والتشغيل السهل والتحكم السهل والإنتاج المستمر.

يتم استخدام فرن الأنبوب أيضًا على نطاق واسع في أنظمة CVD (ترسيب البخار الكيميائي) وأنظمة CVD المحسنة بالبلازما.

ما هي مميزات نظام CVD؟

  • يمكن إنتاج مجموعة واسعة من الأفلام ، والأفلام المعدنية ، والأفلام اللافلزية ، والأفلام ذات السبائك المتعددة المكونات حسب الحاجة. في الوقت نفسه ، يمكنها تحضير بلورات عالية الجودة يصعب الحصول عليها بطرق أخرى ، مثل GaN و BP وما إلى ذلك.
  • سرعة تشكيل الفيلم سريعة ، عادة ما تكون عدة ميكرونات في الدقيقة أو حتى مئات الميكرونات في الدقيقة. من الممكن إيداع كميات كبيرة من الطلاءات ذات التركيب الموحد في وقت واحد ، وهو أمر لا يضاهى بطرق تحضير الفيلم الأخرى ، مثل epitaxy المرحلة السائلة (LPE) و epitaxy الحزمة الجزيئية (MBE).
  • يتم تنفيذ ظروف العمل تحت ضغط عادي أو ظروف فراغ منخفضة ، وبالتالي فإن الطلاء له انعراج جيد ، ويمكن طلاء قطع العمل ذات الأشكال المعقدة بشكل موحد ، وهو أفضل بكثير من PVD.
  • نظرًا للانتشار المتبادل لغاز التفاعل ومنتج التفاعل والركيزة ، يمكن الحصول على طلاء بقوة التصاق جيدة ، وهو أمر ضروري لإعداد أغشية مقواة بالسطح مثل الأفلام المقاومة للتآكل والمضادة للتآكل.
  • تنمو بعض الأفلام عند درجة حرارة أقل بكثير من درجة انصهار مادة الفيلم. في ظل حالة النمو في درجات الحرارة المنخفضة ، لا يتفاعل غاز التفاعل وجدار المفاعل والشوائب الموجودة فيهما تقريبًا ، لذلك يمكن الحصول على فيلم بنقاوة عالية وتبلور جيد.
  • يمكن أن يحصل ترسيب البخار الكيميائي على سطح ترسيب أملس. هذا لأنه بالمقارنة مع LPE ، يتم إجراء ترسيب البخار الكيميائي (CVD) تحت إشباع عالٍ ، مع معدل تنوي مرتفع ، وكثافة تنوي عالية ، وتوزيع منتظم على المستوى بأكمله ، مما ينتج عنه سطح أملس مجهري. في الوقت نفسه ، في ترسيب البخار الكيميائي ، يكون متوسط المسار الحر للجزيئات (الذرات) أكبر بكثير من LPE ، وبالتالي يكون التوزيع المكاني للجزيئات أكثر اتساقًا ، مما يؤدي إلى تكوين سطح ترسيب أملس.
  • ضرر الإشعاع المنخفض ، وهو شرط ضروري لتصنيع أشباه موصلات أكسيد المعادن (MOS) والأجهزة الأخرى

ما هي الأنواع المختلفة لطريقة CVD؟

تشمل الأنواع المختلفة من طرق CVD الضغط الجوي CVD (APCVD) ، CVD للضغط المنخفض (LPCVD) ، الفراغ العالي جدًا CVD ، CVD المدعوم بالهباء الجوي ، الحقن المباشر للسائل CVD ، CVD للجدار الساخن ، CVD للجدار البارد ، CVD البلازما بالميكروويف ، البلازما- CVD المحسن (PECVD) ، CVD المحسن بالبلازما عن بعد ، CVD المحسن بالبلازما منخفض الطاقة ، CVD للطبقة الذرية ، CVD الاحتراق ، و CVD الساخن. تختلف هذه الطرق في آلية بدء التفاعلات الكيميائية وظروف التشغيل.

كم عدد أنواع مختلفة من فرن الأنابيب؟

يمكن أن يعمل فرن الأنبوب بوظائف ميكانيكية مختلفة بسلاسة ، لذلك هناك العديد من الأنواع المختلفة للأفران الأنبوبية لأغراض التجربة المختلفة ، وأفران الأفران النموذجية على النحو التالي:

  • فرن أنبوب أفقي
  • فرن أنبوب عمودي
  • فرن ذو أنبوب منفصل
  • فرن أنبوب دوار
  • فرن أنبوب مائل
  • انزلاق الفرن الأنبوبي
  • فرن تسخين وتبريد سريع
  • تغذية مستمرة وفرن أنبوب التفريغ

ما هو موقف PECVD؟

PECVD هي تقنية تستخدم البلازما لتنشيط غاز التفاعل ، وتعزيز التفاعل الكيميائي على سطح الركيزة أو بالقرب من مساحة السطح ، وتوليد فيلم صلب. المبدأ الأساسي لتقنية ترسيب البخار الكيميائي للبلازما هو أنه تحت تأثير المجال الكهربائي RF أو DC ، يتأين غاز المصدر لتشكيل بلازما ، وتستخدم البلازما منخفضة الحرارة كمصدر للطاقة ، وكمية مناسبة من غاز التفاعل يتم إدخاله ، ويتم استخدام تفريغ البلازما لتنشيط غاز التفاعل وتحقيق ترسب البخار الكيميائي.

وفقًا لطريقة توليد البلازما ، يمكن تقسيمها إلى بلازما RF ، بلازما DC وبلازما ميكروويف CVD ، إلخ ...

ما هو الفرق بين CVD و PECVD؟

الفرق بين PECVD وتقنية CVD التقليدية هو أن البلازما تحتوي على عدد كبير من الإلكترونات عالية الطاقة ، والتي يمكن أن توفر طاقة التنشيط المطلوبة في عملية ترسيب البخار الكيميائي ، وبالتالي تغيير نمط إمداد الطاقة لنظام التفاعل. نظرًا لأن درجة حرارة الإلكترون في البلازما تصل إلى 10000 كلفن ، فإن الاصطدام بين الإلكترونات وجزيئات الغاز يمكن أن يعزز كسر الرابطة الكيميائية وإعادة اتحاد جزيئات غاز التفاعل لتوليد مجموعات كيميائية أكثر نشاطًا ، بينما يحافظ نظام التفاعل بأكمله على درجة حرارة منخفضة.

بالمقارنة مع عملية CVD ، يمكن لـ PECVD تنفيذ نفس عملية ترسيب البخار الكيميائي مع درجة حرارة منخفضة.

عرض المزيد من الأسئلة الشائعة لهذا المنتج

Product Datasheet

آلة فرن أنبوبي لترسيب البخار الكيميائي متعدد مناطق التسخين نظام حجرة ترسيب البخار الكيميائي معدات

Category Catalog

فرن Cvd و Pecvd


اطلب اقتباس

سيقوم فريقنا المحترف بالرد عليك في غضون يوم عمل واحد. لا تتردد في الاتصال بنا!

المنتجات ذات الصلة

فرن أنبوبي دوار منفصل متعدد مناطق التسخين فرن أنبوبي دوار

فرن أنبوبي دوار منفصل متعدد مناطق التسخين فرن أنبوبي دوار

فرن دوار متعدد المناطق للتحكم في درجة الحرارة بدقة عالية مع 2-8 مناطق تسخين مستقلة. مثالي لمواد أقطاب بطاريات الليثيوم أيون والتفاعلات ذات درجات الحرارة العالية. يمكن أن يعمل تحت الفراغ والجو المتحكم فيه.

عرض التفاصيل
فرن أنبوبي معملي متعدد المناطق

فرن أنبوبي معملي متعدد المناطق

جرّب اختبارات حرارية دقيقة وفعالة مع فرن الأنبوب متعدد المناطق الخاص بنا. تسمح مناطق التسخين المستقلة وأجهزة استشعار درجة الحرارة بإنشاء مجالات تسخين متدرجة بدرجة حرارة عالية يمكن التحكم فيها. اطلب الآن لتحليلات حرارية متقدمة!

عرض التفاصيل
نظام معدات ترسيب البخار الكيميائي متعدد الاستخدامات ذو الأنبوب الحراري المصنوع حسب الطلب للعملاء

نظام معدات ترسيب البخار الكيميائي متعدد الاستخدامات ذو الأنبوب الحراري المصنوع حسب الطلب للعملاء

احصل على فرن ترسيب البخار الكيميائي الحصري الخاص بك مع فرن KT-CTF16 متعدد الاستخدامات المصنوع حسب الطلب للعملاء. وظائف قابلة للتخصيص للانزلاق والتدوير والإمالة للتفاعلات الدقيقة. اطلب الآن!

عرض التفاصيل
فرن أنبوبي ترسيب بخار كيميائي ذو حجرة مقسمة مع نظام محطة تفريغ معدات آلة ترسيب بخار كيميائي

فرن أنبوبي ترسيب بخار كيميائي ذو حجرة مقسمة مع نظام محطة تفريغ معدات آلة ترسيب بخار كيميائي

فرن ترسيب بخار كيميائي فعال ذو حجرة مقسمة مع محطة تفريغ لفحص العينات البديهي والتبريد السريع. درجة حرارة قصوى تصل إلى 1200 درجة مئوية مع تحكم دقيق بمقياس التدفق الكتلي MFC.

عرض التفاصيل
فرن أنبوب كوارتز لمعالجة الحرارة السريعة (RTP) بالمختبر

فرن أنبوب كوارتز لمعالجة الحرارة السريعة (RTP) بالمختبر

احصل على تسخين سريع للغاية مع فرن الأنبوب السريع التسخين RTP. مصمم للتسخين والتبريد الدقيق وعالي السرعة مع سكة انزلاق مريحة ووحدة تحكم بشاشة لمس TFT. اطلب الآن للمعالجة الحرارية المثالية!

عرض التفاصيل
فرن جو متحكم فيه بدرجة 1200℃ وفرن جو خامل بالنيتروجين

فرن جو متحكم فيه بدرجة 1200℃ وفرن جو خامل بالنيتروجين

اكتشف فرن الجو المتحكم فيه KT-12A Pro الخاص بنا - دقة عالية، حجرة تفريغ شديدة التحمل، وحدة تحكم ذكية متعددة الاستخدامات بشاشة لمس، وتجانس ممتاز في درجة الحرارة حتى 1200C. مثالي لكل من التطبيقات المخبرية والصناعية.

عرض التفاصيل
فرن جو متحكم فيه بدرجة حرارة 1700 درجة مئوية فرن جو خامل نيتروجين

فرن جو متحكم فيه بدرجة حرارة 1700 درجة مئوية فرن جو خامل نيتروجين

فرن جو متحكم فيه KT-17A: تسخين حتى 1700 درجة مئوية، تقنية ختم الفراغ، تحكم في درجة الحرارة PID، ووحدة تحكم ذكية بشاشة لمس TFT متعددة الاستخدامات للاستخدام المخبري والصناعي.

عرض التفاصيل
فرن أنبوبي عالي الضغط للمختبرات

فرن أنبوبي عالي الضغط للمختبرات

فرن أنبوبي عالي الضغط KT-PTF: فرن أنبوبي مدمج مقسم مع مقاومة قوية للضغط الإيجابي. درجة حرارة العمل تصل إلى 1100 درجة مئوية وضغط يصل إلى 15 ميجا باسكال. يعمل أيضًا تحت جو متحكم فيه أو فراغ عالي.

عرض التفاصيل
فرن أنبوبي معملي عمودي

فرن أنبوبي معملي عمودي

ارتقِ بتجاربك مع فرن الأنبوب العمودي الخاص بنا. يسمح التصميم متعدد الاستخدامات بالتشغيل في بيئات مختلفة وتطبيقات المعالجة الحرارية. اطلب الآن للحصول على نتائج دقيقة!

عرض التفاصيل
فرن أنبوبي دوار للعمل المستمر محكم الغلق بالتفريغ (فراغي)

فرن أنبوبي دوار للعمل المستمر محكم الغلق بالتفريغ (فراغي)

اختبر معالجة المواد بكفاءة مع الفرن الأنبوبي الدوار المحكم الغلق بالتفريغ. مثالي للتجارب أو الإنتاج الصناعي، ومجهز بميزات اختيارية للتغذية المتحكم بها ونتائج محسنة. اطلب الآن.

عرض التفاصيل
فرن معالجة حرارية وتلبيد التنجستن بالفراغ بدرجة حرارة 2200 درجة مئوية

فرن معالجة حرارية وتلبيد التنجستن بالفراغ بدرجة حرارة 2200 درجة مئوية

اكتشف فرن المعادن المقاومة القصوى مع فرن التنجستن بالفراغ الخاص بنا. قادر على الوصول إلى 2200 درجة مئوية، وهو مثالي لتلبيد السيراميك المتقدم والمعادن المقاومة. اطلب الآن للحصول على نتائج عالية الجودة.

عرض التفاصيل
فرن أنبوبي مختبري بدرجة حرارة عالية 1700 درجة مئوية مع أنبوب ألومينا

فرن أنبوبي مختبري بدرجة حرارة عالية 1700 درجة مئوية مع أنبوب ألومينا

هل تبحث عن فرن أنبوبي عالي الحرارة؟ تحقق من فرن الأنبوب الخاص بنا بدرجة حرارة 1700 درجة مئوية مع أنبوب الألومينا. مثالي للتطبيقات البحثية والصناعية حتى 1700 درجة مئوية.

عرض التفاصيل
فرن أنبوبي مقسم بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية مع فرن أنبوبي مخبري من الكوارتز

فرن أنبوبي مقسم بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية مع فرن أنبوبي مخبري من الكوارتز

فرن أنبوبي مقسم KT-TF12: عزل عالي النقاء، لفائف تسخين مدمجة، ودرجة حرارة قصوى 1200 درجة مئوية. يستخدم على نطاق واسع في المواد الجديدة وترسيب البخار الكيميائي.

عرض التفاصيل
فرن أنبوبي مختبري بدرجة حرارة عالية 1400 درجة مئوية مع أنبوب ألومينا

فرن أنبوبي مختبري بدرجة حرارة عالية 1400 درجة مئوية مع أنبوب ألومينا

هل تبحث عن فرن أنبوبي لتطبيقات درجات الحرارة العالية؟ فرن الأنبوب 1400 درجة مئوية مع أنبوب الألومينا مثالي للاستخدام البحثي والصناعي.

عرض التفاصيل
فرن تفحيم الجرافيت الأفقي عالي الحرارة

فرن تفحيم الجرافيت الأفقي عالي الحرارة

فرن التفحيم الأفقي: تم تصميم هذا النوع من الأفران بعناصر تسخين موضوعة أفقيًا، مما يسمح بتسخين موحد للعينة. إنه مناسب تمامًا لتفحيم العينات الكبيرة أو الضخمة التي تتطلب تحكمًا دقيقًا في درجة الحرارة والتوحيد.

عرض التفاصيل
فرن جو متحكم فيه بدرجة حرارة 1400 درجة مئوية مع غاز النيتروجين والجو الخامل

فرن جو متحكم فيه بدرجة حرارة 1400 درجة مئوية مع غاز النيتروجين والجو الخامل

احصل على معالجة حرارية دقيقة مع فرن الجو المتحكم فيه KT-14A. محكم الغلق بالتفريغ مع وحدة تحكم ذكية، وهو مثالي للاستخدام المخبري والصناعي حتى 1400 درجة مئوية.

عرض التفاصيل
فرن تلدين الأسلاك الموليبدينوم بالتفريغ للمعالجة الحرارية بالتفريغ

فرن تلدين الأسلاك الموليبدينوم بالتفريغ للمعالجة الحرارية بالتفريغ

فرن تلدين الأسلاك الموليبدينوم بالتفريغ هو هيكل عمودي أو غرفة، وهو مناسب للسحب، اللحام بالنحاس، التلدين وإزالة الغازات للمواد المعدنية في ظروف التفريغ العالي ودرجات الحرارة العالية. كما أنه مناسب لمعالجة إزالة الهيدروكسيل لمواد الكوارتز.

عرض التفاصيل
فرن معالجة حرارية بالفراغ من الموليبدينوم

فرن معالجة حرارية بالفراغ من الموليبدينوم

اكتشف فوائد فرن الموليبدينوم الفراغي عالي التكوين مع عزل درع حراري. مثالي للبيئات الفراغية عالية النقاء مثل نمو بلورات الياقوت والمعالجة الحرارية.

عرض التفاصيل
فرن الضغط الساخن بالحث الفراغي 600 طن للمعالجة الحرارية والتلبيد

فرن الضغط الساخن بالحث الفراغي 600 طن للمعالجة الحرارية والتلبيد

اكتشف فرن الضغط الساخن بالحث الفراغي 600 طن، المصمم لتجارب التلبيد في درجات حرارة عالية في فراغ أو أجواء محمية. يجعله التحكم الدقيق في درجة الحرارة والضغط، وضغط العمل القابل للتعديل، وميزات السلامة المتقدمة مثاليًا للمواد غير المعدنية، والمواد المركبة الكربونية، والسيراميك، والمساحيق المعدنية.

عرض التفاصيل
فرن المعالجة الحرارية بالتفريغ والتلبيد بالضغط للتطبيقات ذات درجات الحرارة العالية

فرن المعالجة الحرارية بالتفريغ والتلبيد بالضغط للتطبيقات ذات درجات الحرارة العالية

تم تصميم أفران التلبيد بالضغط بالتفريغ للتطبيقات ذات الضغط الساخن بدرجات الحرارة العالية في تلبيد المعادن والسيراميك. تضمن ميزاتها المتقدمة تحكمًا دقيقًا في درجة الحرارة، وصيانة ضغط موثوقة، وتصميمًا قويًا لتشغيل سلس.

عرض التفاصيل

المقالات ذات الصلة

هندسة اللامعلوم: إتقان فرن أنبوب الترسيب الكيميائي بالبخار (CVD)

هندسة اللامعلوم: إتقان فرن أنبوب الترسيب الكيميائي بالبخار (CVD)

يحول الترسيب الكيميائي بالبخار (CVD) الغاز إلى مادة صلبة بدقة ذرية. استكشف كيف يعمل نظام المفاعل المعقد هذا ولماذا يحدد علوم المواد الحديثة.

Find out more
مزايا استخدام فرن أنبوب CVD للطلاء

مزايا استخدام فرن أنبوب CVD للطلاء

تتميز طلاءات CVD بالعديد من المزايا مقارنة بطرق الطلاء الأخرى ، مثل النقاوة العالية والكثافة والتوحيد ، مما يجعلها مثالية للعديد من التطبيقات في مختلف الصناعات.

Find out more
فرن CVD لنمو الأنابيب النانوية الكربونية

فرن CVD لنمو الأنابيب النانوية الكربونية

تقنية فرن ترسيب البخار الكيميائي (CVD) هي طريقة مستخدمة على نطاق واسع لزراعة الأنابيب النانوية الكربونية.

Find out more
ما وراء الحرارة: الفوضى المنظمة للترسيب الكيميائي للبخار

ما وراء الحرارة: الفوضى المنظمة للترسيب الكيميائي للبخار

استكشف عالم أفران الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) المعقد، حيث تخلق الفوضى المنظمة على المستوى الذري مواد المستقبل.

Find out more
وهم درجة الحرارة القصوى: الإتقان في التوحيد الحراري

وهم درجة الحرارة القصوى: الإتقان في التوحيد الحراري

غالبًا ما تكون درجة الحرارة القصوى مقياسًا للغرور. تكمن الدقة العلمية الحقيقية في المنطقة الموحدة. استكشف فيزياء أفران الأنابيب وكيفية الاختيار للتكرار.

Find out more
الانقسام الحراري: التنقل في الاختيار بين أفران الأنبوب والغرفة

الانقسام الحراري: التنقل في الاختيار بين أفران الأنبوب والغرفة

دليل لمقايضات التسخين الفراغي. نستكشف كيف يحدد المقياس المادي ودرجة الحرارة القصوى الاختيار بين دقة الأنبوب وسعة الغرفة.

Find out more
هندسة الحرارة: الاختيار بين التحكم والسعة

هندسة الحرارة: الاختيار بين التحكم والسعة

القرار بين فرن أنبوبي وفرن صهر ليس متعلقًا بدرجة الحرارة - بل بالجو. اكتشف المقايضات الهندسية بين دقة الفراغ والحجم.

Find out more
هندسة العزل: تشريح فرن أنبوبي

هندسة العزل: تشريح فرن أنبوبي

استكشف الهندسة المتدرجة لفرن أنبوبي. من عزل الألومينا إلى مفاعلات الكوارتز، افهم كيف يحقق هذا "الكم الحراري" عزلاً دقيقًا.

Find out more
أسرار أنبوب الفرن

أسرار أنبوب الفرن

أفران الأنبوب هي نوع من الأفران الكهربائية التي تستخدم بشكل شائع في المختبرات وبيئات البحث لإجراء التوليفات والتنقية وأنواع أخرى من التفاعلات أو العمليات الكيميائية.

Find out more
الشريك الصامت في الانحلال الحراري: هندسة حدود حرارية مثالية

الشريك الصامت في الانحلال الحراري: هندسة حدود حرارية مثالية

اختيار مادة فرن الأنبوب هو دراسة للمقايضات. نستكشف فيزياء الهندسة وراء الألومينا والكوارتز والسبائك لضمان سلامة العملية.

Find out more
ما وراء درجة الحرارة: إتقان البيئة غير المرئية داخل فرن أنبوبي

ما وراء درجة الحرارة: إتقان البيئة غير المرئية داخل فرن أنبوبي

يتفوق الفرن الأنبوبي ليس فقط في التسخين، بل في توفير تحكم مطلق في البيئة الجوية، وهو عامل حاسم للمواد المتقدمة.

Find out more
من الشق إلى الكمال: دليل العالم العلمي للقضاء على فشل أفران الأنابيب الكارثي

من الشق إلى الكمال: دليل العالم العلمي للقضاء على فشل أفران الأنابيب الكارثي

منع انفجارات أفران الأنابيب المكلفة. تعرف على الأسباب الرئيسية مثل الصدمة الحرارية وعدم توافق المواد، واكتشف الاستراتيجية الصحيحة لضمان السلامة وسلامة البيانات.

Find out more