فريق التقنية · Kintek Solution

الاسبترنج هو عملية تستخدم لترسيب الأغشية الرقيقة على ركيزة عن طريق قذف الذرات من مادة مستهدفة صلبة من خلال القصف بالأيونات النشطة. ويمكن تلخيص العملية في ست خطوات رئيسية:

1. تفريغ غرفة الترسيب: يتم تفريغ حجرة الترسيب إلى ضغط منخفض للغاية، عادةً حوالي 10^-6 تورور. هذه الخطوة ضرورية لخلق بيئة محكومة خالية من الملوثات ولتسهيل تكوين البلازما.

2. إدخال غاز الاخرق: يتم إدخال غاز خامل، مثل الأرجون أو الزينون، في الغرفة. هذا الغاز ضروري لتوليد البلازما وعملية الاخرق اللاحقة.

3. تطبيق الجهد لتوليد البلازما: يتم تطبيق جهد بين قطبين كهربائيين في الغرفة لتوليد تفريغ متوهج، وهو نوع من البلازما. هذه البلازما أساسية لتأيين غاز الاخرق.

4. تكوين الأيونات الموجبة: في التفريغ المتوهج، تتصادم الإلكترونات الحرة مع ذرات غاز الاخرق، مما يؤدي إلى تكوين أيونات موجبة. وهذه الأيونات ضرورية لعملية الاخرق لأنها تحمل الطاقة اللازمة لإزاحة الذرات من المادة المستهدفة.

5. تسارع الأيونات الموجبة نحو الكاثود: بسبب الجهد المطبق، يتم تسريع الأيونات الموجبة لغاز الاخرق نحو المهبط (القطب السالب). ويضفي هذا التسارع طاقة حركية على الأيونات، وهو أمر ضروري لتأثير الاخرق.

6. طرد وترسيب المادة المستهدفة: تتصادم الأيونات المتسارعة مع المادة المستهدفة، مما يتسبب في طرد الذرات أو الجزيئات. وتنتقل هذه الجسيمات المقذوفة عبر الحجرة وتترسب على الركيزة، مكونة طبقة رقيقة.

يمكن تصور عملية الاخرق كسلسلة من التصادمات على المستوى الذري، على غرار لعبة البلياردو، حيث تصطدم الأيونات (التي تعمل ككرة البلياردو) بمجموعة من الذرات (كرات البلياردو)، مما يتسبب في طرد بعض الذرات القريبة من السطح. وتقاس كفاءة هذه العملية من خلال مردود الرذاذ، وهو عدد الذرات المقذوفة لكل أيون ساقط. وتشمل العوامل التي تؤثر على مردود الاخرق طاقة الأيونات الساقطة وكتلها وكتل الذرات المستهدفة وطاقة الرابطة للمادة الصلبة.

يُستخدم الاسبترينغ على نطاق واسع في تطبيقات مختلفة، بما في ذلك تشكيل الأغشية الرقيقة وتقنيات النقش والطرق التحليلية، وذلك لقدرته على التحكم الدقيق في ترسيب المواد على المستوى الذري.

اكتشف دقة وكفاءة تقنية الرش بالتفريغ مع مجموعة معدات KINTEK SOLUTION عالية الجودة. بدءًا من غرف التفريغ إلى أهداف الرذاذ، تم تصميم حلولنا لتلبية المتطلبات المعقدة لترسيب الأغشية الرقيقة وما بعدها. ارتقِ بقدرات مختبرك من خلال أنظمة التفريغ المتطورة التي تضمن إنتاجية استثنائية وجودة فائقة للأغشية الرقيقة. استكشف مخزوننا اليوم وأحدث ثورة في أبحاثك مع حلول KINTEK SOLUTION المتفوقة في مجال الاخرق!