يتم التعبير عن وحدات الضغط الفراغي في المقام الأول بالملليبار (مليبار) والتور. تُستخدم هذه الوحدات لقياس درجة الفراغ، وهو انخفاض ضغط الغاز داخل حيز محصور.
شرح الوحدات:
-
مليبار (مليبار): تستخدم هذه الوحدة بشكل شائع في الأرصاد الجوية والهندسة لقياس الضغط الجوي. 1 ملي بار يساوي 100 باسكال (باسكال)، وهي وحدة مشتقة في النظام الدولي لوحدات الضغط (SI). في سياق التفريغ، يُستخدم mbar لوصف مستويات الضغط الأقل من الضغط الجوي.
-
التور: سُميت على اسم إيفانجيليستا توريسيلي، مخترع البارومتر، والتور هو وحدة ضغط تُستخدم تقليديًا في تكنولوجيا التفريغ. 1 تور يساوي تقريباً 1 ملم من الزئبق (Hg) في البارومتر الزئبقي. ويختلف قليلاً عن وحدة الضغط في النظام الدولي للوحدات (الباسكال)، حيث يساوي 1 تور يساوي 133.322 باسكال تقريباً.
التطبيق والنطاقات:
- يحدد المرجع المقدم نطاقات مختلفة لضغط الفراغ، مصنفة إلى فراغ خشن/منخفض، وفراغ دقيق/متوسط، وفراغ عالٍ، وفراغ عالٍ جدًا، وفراغ عالٍ جدًا، وفراغ عالٍ جدًا. تم تحديد كل فئة بالملي بار والتور، مما يوضح الاستخدام الشائع لكلتا الوحدتين في تكنولوجيا التفريغ:فراغ خشن/منخفض
- : 1000 إلى 1 ملي بار / 760 إلى 0.75 تورفراغ دقيق/متوسط
- : من 1 إلى 10^- 3 ملي بار / 0.75 إلى 7.5^- 3 تورتفريغ عالي
- : من 10^-3 إلى 10^-7 ملي بار / 7.5^-3 إلى 7.5^-7 تورتفريغ عالي جداً
- : 10^-7 إلى 10^-11 ملي بار / 7.5^-7 إلى 7.5^-7 تورتفريغ عالي للغاية
: < 10^-11 ملي بار / < 7.5^-11 تور
تساعد هذه النطاقات في اختيار مضخات وأنظمة التفريغ المناسبة بناءً على عمق التفريغ المطلوب لتطبيقات محددة، كما هو الحال في المختبرات أو العمليات الصناعية أو محاكاة الفضاء. غالبًا ما يعتمد اختيار الوحدة (ملي بار أو تور) على السياق والمعايير الصناعية المحددة.
