جهاز طلاء الرذاذ هو جهاز يستخدم لترسيب طبقة رقيقة من المواد على ركيزة ما، وعادةً ما يكون الغرض منه تحسين خصائص العينة للفحص المجهري الإلكتروني بالمسح الضوئي (SEM). تنطوي العملية على استخدام بلازما غازية لإزاحة الذرات من مادة مستهدفة صلبة، والتي يتم ترسيبها بعد ذلك على سطح الركيزة.
ملخص الإجابة:
طلاء الرذاذ هو جهاز يستخدم عملية الرذاذ لترسيب طبقة رقيقة ومتساوية من المادة على الركيزة. يتم تحقيق ذلك عن طريق إنشاء تفريغ متوهج بين مهبط وأنود في غرفة تفريغ مملوءة بغاز مثل الأرجون. يتم قصف القطب السالب، وهو المادة المستهدفة (غالبًا الذهب أو البلاتين)، بواسطة أيونات الأرجون، مما يتسبب في قذف الذرات من الهدف وترسيبها على الركيزة. تُعد هذه التقنية مفيدة بشكل خاص في الماسح الضوئي SEM لأنها تعزز التوصيلية وتقلل من تأثيرات الشحن وتحسن انبعاث الإلكترونات الثانوية.
-
شرح مفصل:عملية الاخرق:
-
يتم بدء عملية الاخرق عن طريق إنشاء بلازما بين الكاثود (المادة المستهدفة) والقطب الموجب في غرفة تفريغ. تمتلئ الحجرة بغاز، عادةً ما يكون الأرجون، الذي يتأين بواسطة جهد عالٍ مطبق بين الأقطاب الكهربائية. ثم يتم تسريع أيونات الأرجون موجبة الشحنة نحو المهبط سالب الشحنة، حيث تتصادم مع المادة الهدف، مما يؤدي إلى طرد الذرات من سطحها.
-
ترسيب المادة:
-
يتم ترسيب الذرات المقذوفة من المادة المستهدفة على سطح الركيزة بطريقة متعددة الاتجاهات، مما يشكل طبقة رقيقة ومتساوية. ويُعد هذا الطلاء ضروريًا لتطبيقات SEM لأنه يوفر طبقة موصلة تمنع الشحن وتقلل من التلف الحراري وتعزز انبعاث الإلكترونات الثانوية، والتي تعد ضرورية للتصوير.مزايا طلاء الرذاذ:
-
يوفر طلاء الرذاذ العديد من المزايا مقارنةً بتقنيات الترسيب الأخرى. تكون الأفلام المنتجة موحدة وكثيفة ونقية وذات التصاق ممتاز بالركيزة. من الممكن أيضًا إنشاء سبائك ذات تركيبات دقيقة وترسيب مركبات مثل الأكاسيد والنتريدات من خلال الطلاء بالرش التفاعلي.
تشغيل طلاء الرذاذ:
يعمل المغلف الرذاذي عن طريق الحفاظ على تآكل مستقر وموحد للمادة المستهدفة. تُستخدم المغناطيسات للتحكم في البلازما وضمان توزيع المادة المرشوشة بالتساوي على الركيزة. وعادةً ما تكون العملية مؤتمتة لضمان الدقة والاتساق في سمك الطلاء وجودته.
