يعد نظام التفريغ، كما هو مستخدم في الرش، مكونًا أساسيًا في نظام الطلاء بالرش. يستخدم هذا النظام لترسيب أغشية رقيقة من المواد الموصلة للكهرباء على الدوائر الدقيقة أو غيرها من الركائز. يضمن نظام التفريغ أن تتم العملية في بيئة خاضعة للرقابة مع الحد الأدنى من التدخل من الملوثات.
يتكون نظام التفريغ من حجرة مفرغة، والتي يتم تفريغها إلى ضغط أساسي لإزالة أي جزيئات غاز متبقية، مثل H2O، والهواء، وH2، وAr. عادة ما يكون هذا الضغط الأساسي في نطاق التفريغ العالي، حوالي 10-6 ملي بار أو أفضل، لضمان نظافة الأسطح وتجنب التلوث.
بمجرد إخلاء الغرفة، يتم إدخال غاز خامل عالي النقاء، عادة الأرجون، إلى الغرفة. يعمل هذا الغاز كغاز التفل ويلعب دورًا حاسمًا في عملية التفل. إنه ينقل الطاقة الحركية عند الاصطدام أثناء الاصطدامات الجزيئية عالية الطاقة في البلازما، مما يخلق أيونات الغاز التي تعد القوة الدافعة الأساسية لترسيب الأغشية الرقيقة. عادة ما يكون الضغط أثناء ترسيب الترسبات في نطاق mTorr، ويتراوح من 10-3 إلى حوالي 10-2 ملي بار.
تتضمن عملية الرش نفسها تطبيق تيار كهربائي مستمر على مادة الطلاء المستهدفة، والتي تعمل بمثابة الكاثود أو نقطة التحيز السلبي حيث تدخل الإلكترونات إلى النظام. يتم أيضًا إعطاء الركيزة المراد طلاؤها شحنة موجبة وتصبح الأنود. يتراوح التيار الكهربائي DC عادة من -2 إلى -5 كيلو فولت.
يتم وضع هدف الرش، وهو المادة التي سيتم استخدامها كطلاء، في غرفة التفريغ الموازية للركيزة. عندما تصطدم الجسيمات المتطايرة، التي لها طاقة حركية عالية، بالسطح المستهدف، يتم "طرد" الذرات من الهدف للخارج وتطير نحو الركيزة، حيث تشكل فيلمًا. تغطي الجسيمات القادمة من الهدف الركيزة بالتساوي وبسرعة. تسمح درجة الحرارة المنخفضة للجزيئات المتناثرة بتغطية الركائز الحساسة للحرارة مثل البلاستيك بالسيراميك أو المعادن.
في بعض الحالات، إذا كانت الركيزة حساسة للغاية، يمكن ملء غرفة التفريغ إلى حد ما بغاز خامل. يتيح ذلك التحكم في الطاقة الحركية للجزيئات القادمة من الهدف، حيث أنها قد تتعرض للاصطدامات وتفقد بعضًا من سرعتها قبل أن تترسب على الركيزة.
بشكل عام، يعد نظام الفراغ في الاخرق أمرًا بالغ الأهمية لخلق بيئة خاضعة للرقابة وضمان ترسب الأغشية الرقيقة النظيفة والموحدة وعالية الجودة على الركائز.
هل تبحث عن مورد موثوق لأنظمة التفريغ لعمليات الرش؟ لا تنظر أبعد من KINTEK! تم تصميم أنظمة التفريغ عالية الجودة لدينا لخلق بيئة مثالية منخفضة الضغط لطلاءات نظيفة وخالية من التلوث. ومن خلال التحكم الدقيق في تدفق الغاز وحركية الجسيمات، تضمن أنظمتنا عملية ترسيب متساوية وفعالة. سواء كنت بحاجة إلى طلاء ركائز حساسة للحرارة أو تحتاج إلى التحكم في الغاز الخامل، فإن أنظمة التفريغ لدينا ستلبي احتياجاتك. ثق بـ KINTEK لتلبية جميع احتياجات معدات المختبرات الخاصة بك. اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد!
