يعد نظام التفريغ، كما هو مستخدم في الرش الرذاذ، مكونًا أساسيًا في نظام الطلاء الرذاذي.
ويستخدم هذا النظام لترسيب الأغشية الرقيقة من المواد الموصلة للكهرباء على الدوائر الدقيقة أو الركائز الأخرى.
يضمن نظام التفريغ أن تتم العملية في بيئة خاضعة للتحكم مع الحد الأدنى من التداخل من الملوثات.
4 مكونات رئيسية تحتاج إلى معرفتها
1. غرفة التفريغ
يتكون نظام التفريغ من غرفة تفريغ يتم تفريغها إلى ضغط أساسي لإزالة أي جزيئات غاز متبقية.
تشمل هذه الجزيئات H2O والهواء وH2 وH2 وAr.
يكون الضغط الأساسي عادةً في نطاق التفريغ العالي، حوالي 10-6 ملي بار أو أفضل، لضمان نظافة الأسطح وتجنب التلوث.
2. غاز عملية خامل خامل عالي النقاء
بمجرد تفريغ الغرفة، يتم إدخال غاز معالجة خامل عالي النقاء، عادةً ما يكون الأرجون، في الغرفة.
ويعمل هذا الغاز كغاز الاخرق ويلعب دوراً حاسماً في عملية الاخرق.
فهو ينقل الطاقة الحركية عند الاصطدام أثناء التصادمات الجزيئية عالية الطاقة في البلازما.
وتخلق هذه التصادمات أيونات الغاز التي تمثل القوة الدافعة الأساسية لترسيب الأغشية الرقيقة بالرش.
ويكون الضغط أثناء ترسيب الرذاذ عادةً في نطاق mTorr، ويتراوح بين 10-3 إلى نحو 10-2 ملي بار.
3. عملية الاخرق
تنطوي عملية الترسيب بالرش في حد ذاتها على تطبيق تيار كهربائي تيار مستمر على مادة الطلاء المستهدفة.
وتعمل هذه المادة ككاثود أو نقطة انحياز سالبة حيث تدخل الإلكترونات إلى النظام.
يتم أيضًا إعطاء الركيزة المراد طلاؤها شحنة موجبة وتصبح الأنود.
وعادة ما يكون التيار الكهربائي للتيار المستمر في نطاق -2 إلى -5 كيلو فولت.
يتم وضع هدف الاخرق، وهو المادة التي سيتم استخدامها كطلاء، في غرفة التفريغ بالتوازي مع الركيزة.
عندما تصطدم جسيمات الاخرق، التي لها طاقة حركية عالية، بسطح الهدف، "تُطرد" الذرات من الهدف وتتطاير نحو الركيزة.
وتشكل هذه الذرات طبقة على الركيزة.
تغطي الجسيمات من الهدف الركيزة بالتساوي وبسرعة.
وتسمح درجة الحرارة المنخفضة للجسيمات المنبثقة بتغطية الركيزة الحساسة للحرارة مثل البلاستيك بالسيراميك أو المعادن.
4. التحكم في الغاز الخامل
في بعض الحالات، إذا كانت الركيزة حساسة للغاية، يمكن ملء غرفة التفريغ إلى حد ما بغاز خامل.
وهذا يتيح التحكم في الطاقة الحركية للجسيمات القادمة من الهدف.
قد تخضع هذه الجسيمات لتصادمات وتفقد بعضًا من سرعتها قبل ترسيبها على الركيزة.
وعمومًا، يعد نظام التفريغ في عملية الرش بالمطاط أمرًا بالغ الأهمية لخلق بيئة محكومة وضمان ترسيب أغشية رقيقة نظيفة وموحدة وعالية الجودة على الركائز.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
هل تبحث عن مورد موثوق لأنظمة تفريغ الهواء لعمليات التفريغ بالتفريغ؟
لا تبحث أكثر من KINTEK!
صُممت أنظمة التفريغ عالية الجودة لدينا لخلق بيئة مثالية منخفضة الضغط لطلاءات نظيفة وخالية من التلوث.
مع التحكم الدقيق في تدفق الغاز وحركية الجسيمات، تضمن أنظمتنا عملية ترسيب متساوية وفعالة.
سواء كنت بحاجة إلى طلاء الركائز الحساسة للحرارة أو تحتاج إلى التحكم في الغاز الخامل، فإن أنظمة التفريغ لدينا توفر لك ما تحتاجه.
ثق في KINTEK لجميع احتياجاتك من معدات المختبرات.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد!
