الاخرق هو تقنية ترسيب بالتفريغ تستخدم لترسيب أغشية رقيقة من المواد على الأسطح.
وهي تتضمن إنشاء بلازما غازية في غرفة تفريغ.
تعمل هذه البلازما على تسريع الأيونات في مادة المصدر، مما يتسبب في إخراج الذرات وترسيبها على الركيزة.
ويكمن الفرق الرئيسي بين الرش بالتيار المستمر (التيار المباشر) والترددات الراديوية (الترددات الراديوية) في مصدر الطاقة والقدرة على التعامل مع المواد العازلة.
1. مصدر الطاقة والتعامل مع المواد
الاخرق بالتيار المستمر: يستخدم الاخرق بالتيار المستمر مصدر طاقة تيار مباشر.
وهذا ليس مثاليًا للمواد العازلة حيث يمكن أن تتراكم الشحنة وتقطع عملية الاخرق.
تتطلب هذه الطريقة تنظيمًا دقيقًا لعوامل العملية مثل ضغط الغاز والمسافة بين الهدف والركيزة والجهد لتحقيق أفضل النتائج.
عادةً ما يعمل رش الاخرق بالتيار المستمر عند ضغط غرفة أعلى (حوالي 100 ملي طن من الغاز) ويتطلب جهدًا يتراوح بين 2,000 إلى 5,000 فولت.
رش الترددات اللاسلكية: يستخدم رش الترددات اللاسلكية مصدر طاقة تيار متناوب.
وهذا يمنع تراكم الشحنة على الهدف، مما يجعله مناسباً لرش المواد العازلة.
يمكن أن يحافظ الاخرق بالترددات اللاسلكية على بلازما الغاز عند ضغط غرفة أقل بكثير (أقل من 15 ملي متر مكعب)، مما يقلل من التصادمات بين جسيمات البلازما المشحونة والمادة المستهدفة.
ويتطلب الاخرق بالترددات الراديوية جهدًا أعلى (1,012 فولت أو أكثر) بسبب استخدام الطاقة الحركية لإزالة الإلكترونات من ذرات الغاز، مما يؤدي إلى توليد موجات راديوية تؤين الغاز.
ويساعد تطبيق تيار بديل بترددات 1 ميجا هرتز أو أعلى في تفريغ الهدف كهربائيًا أثناء عملية الاخرق على غرار تدفق التيار عبر الوسائط العازلة للمكثفات المتسلسلة.
2. متطلبات الضغط التشغيلي والجهد التشغيلي
يعمل رش الاخرق بالتيار المستمر عادةً عند ضغط أعلى للغرفة (حوالي 100 ملي طن متري).
ويتطلب جهدًا يتراوح بين 2,000 إلى 5,000 فولت.
يمكن أن يحافظ الاخرق بالترددات اللاسلكية على بلازما الغاز عند ضغط غرفة أقل بكثير (أقل من 15 ملي متر مكعب).
ويتطلب فولتية أعلى (1,012 فولت أو أكثر).
3. استقرار البلازما
يقلل الرش بالترددات اللاسلكية من التصادمات بين جسيمات البلازما المشحونة والمادة المستهدفة.
وهذا يجعلها أكثر استقرارًا وفعالية لبعض التطبيقات.
4. استخدام التيار
يستخدم الاخرق بالترددات اللاسلكية تياراً متردداً بترددات 1 ميجا هرتز أو أعلى.
ويساعد ذلك في تفريغ الهدف كهربائيًا أثناء عملية الاخرق، على غرار تدفق التيار عبر الوسائط العازلة للمكثفات المتسلسلة.
5. ملاءمة المواد العازلة
يعتبر رش الاخرق بالترددات اللاسلكية أكثر فعالية للمواد العازلة نظرًا لقدرته على منع تراكم الشحنات وتشغيله عند ضغوط أقل، وإن كان ذلك مع متطلبات جهد أعلى.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اكتشف دقةأنظمة الرش الاخرق من KINTEK SOLUTION.
حيث تلتقي تقنية الرش بالتيار المستمر والترددات اللاسلكية المتطورة مع دقة لا مثيل لها لتطبيقات الأغشية الرقيقة الخاصة بك.
أطلق العنان لإمكانات المواد الخاصة بك مع حلولنا المبتكرة للترسيب الفراغي المصممة خصيصًا لكل من الركائز العازلة والموصلة.
اختبر الفرق مع KINTEK SOLUTION وارتقِ بقدراتك البحثية والإنتاجية اليوم!
