الاخرق هو تقنية ترسيب بالتفريغ تستخدم لترسيب أغشية رقيقة من المواد على الأسطح. وهي تنطوي على إنشاء بلازما غازية في غرفة تفريغ الهواء، والتي تسرّع الأيونات في مادة المصدر، مما يتسبب في إخراج الذرات وترسيبها على الركيزة. ويكمن الفرق الرئيسي بين الاخرق بالتيار المستمر (التيار المباشر) والترددات الراديوية (الترددات الراديوية) في مصدر الطاقة والقدرة على التعامل مع المواد العازلة.
الاخرق بالتيار المستمر:
يستخدم الاخرق بالتيار المستمر مصدر طاقة تيار مباشر، وهو ليس مثاليًا للمواد العازلة لأنها يمكن أن تتراكم الشحنة وتقطع عملية الاخرق. تتطلب هذه الطريقة تنظيمًا دقيقًا لعوامل العملية مثل ضغط الغاز والمسافة بين الهدف والركيزة والجهد لتحقيق أفضل النتائج. يعمل رش الاخرق بالتيار المستمر عادةً عند ضغط غرفة أعلى (حوالي 100 ملي طن متري) ويتطلب جهدًا يتراوح بين 2,000 إلى 5,000 فولت.الاخرق بالترددات اللاسلكية:
من ناحية أخرى، يستخدم رش الترددات اللاسلكية مصدر طاقة تيار متناوب، مما يمنع تراكم الشحنات على الهدف، مما يجعله مناسبًا لرش المواد العازلة. ويمكن لهذه التقنية أن تحافظ على بلازما الغاز عند ضغط غرفة أقل بكثير (أقل من 15 ملي متر مكعب)، مما يقلل من التصادمات بين جسيمات البلازما المشحونة والمادة المستهدفة. يتطلب الاخرق بالترددات اللاسلكية جهدًا أعلى (1,012 فولت أو أكثر) بسبب استخدام الطاقة الحركية لإزالة الإلكترونات من ذرات الغاز، مما يؤدي إلى توليد موجات راديوية تؤين الغاز. ويساعد تطبيق تيار بديل عند ترددات 1 ميجا هرتز أو أعلى في تفريغ الهدف كهربائيًا أثناء عملية الاخرق، على غرار تدفق التيار عبر الوسائط العازلة للمكثفات المتسلسلة.
