الرش بالترددات اللاسلكية هو تقنية تستخدم لإنشاء أغشية رقيقة، خاصة في صناعات الكمبيوتر وأشباه الموصلات. وهي تنطوي على استخدام موجات التردد اللاسلكي (RF) لتنشيط غاز خامل، مما يخلق أيونات موجبة تضرب المادة المستهدفة. تعمل هذه العملية على تفتيت المادة المستهدفة إلى رذاذ دقيق يكسو الركيزة مكوناً طبقة رقيقة. يختلف رش الرذاذ بالترددات اللاسلكية عن رش التيار المباشر (DC) من حيث الجهد وضغط النظام ونمط ترسيب الرذاذ ونوع المادة المستهدفة المستخدمة.
آلية الاخرق بالترددات اللاسلكية:
يعمل الرش بالترددات اللاسلكية عن طريق توصيل الطاقة بترددات لاسلكية، عادةً 13.56 ميجاهرتز، إلى جانب شبكة مطابقة. تعمل هذه الطريقة على تبديل الجهد الكهربائي، مما يساعد في "تنظيف" سطح المادة المستهدفة من تراكم الشحنات مع كل دورة. خلال الدورة الموجبة، تنجذب الإلكترونات إلى الهدف، مما يمنحه انحيازاً سلبياً. وفي الدورة السلبية، يستمر القصف الأيوني للهدف، مما يسهل عملية الاخرق.مزايا الاخرق بالترددات اللاسلكية:
تتمثل إحدى المزايا المهمة لرش الترددات اللاسلكية في قدرته على تقليل تراكم الشحنات في مواقع محددة على سطح المادة المستهدفة. ويساعد هذا التخفيض في تقليل "تآكل مسار السباق"، وهي ظاهرة تتآكل فيها المادة المستهدفة بشكل غير متساوٍ بسبب تراكم الشحنات الموضعي.
التطبيق على المواد العازلة:
يعتبر الرش بالترددات اللاسلكية فعالاً بشكل خاص في ترسيب الأغشية الرقيقة من المواد العازلة أو غير الموصلة. وعلى عكس رشّ التيار المستمر، الذي يتطلب أهدافاً موصلة للكهرباء، يمكن لرشّ الترددات اللاسلكية التعامل مع المواد غير الموصلة من خلال إدارة تراكم الشحنات بفعالية من خلال إمكاناته الكهربائية المتناوبة.
الاخرق المغنطروني بالترددات اللاسلكية:
