الاخرق هو عملية ترسيب غشاء رقيق يستخدم في التصنيع، وخاصة في صناعات مثل أشباه الموصلات ومحركات الأقراص والأقراص المدمجة والأقراص المدمجة والأجهزة البصرية. وهي تنطوي على قذف الذرات من مادة مستهدفة على ركيزة بسبب قصفها بجسيمات عالية الطاقة. هذه التقنية متعددة الاستخدامات وقادرة على ترسيب مواد مختلفة على أشكال وأحجام مختلفة من الركيزة وقابلة للتطوير من المشاريع البحثية الصغيرة إلى الإنتاج على نطاق واسع. وتُعد جودة هدف الاخرق ودقة معلمات الترسيب أمرًا حاسمًا لتحقيق أغشية رقيقة متسقة وعالية الجودة. لقد كانت تقنية الاخرق تقنية ناضجة منذ أوائل القرن التاسع عشر، حيث تم إصدار أكثر من 45000 براءة اختراع أمريكية تتعلق بتطورها، مما يسلط الضوء على أهميتها في المواد المتقدمة وتصنيع الأجهزة.
شرح مفصل:
-
نظرة عامة على العملية:
-
يعمل الاخرق عن طريق وضع مادة مستهدفة وركيزة في غرفة مفرغة من الهواء. يتم تطبيق جهد كهربائي، مما يجعل الهدف هو القطب السالب والركيزة هي القطب الموجب. تقوم الجسيمات النشطة من البلازما أو الغاز في الغرفة بقصف الهدف، مما يتسبب في قذف الذرات وترسيبها على الركيزة. هذه العملية أساسية في إنشاء أغشية رقيقة ذات خصائص دقيقة.تعدد الاستخدامات وقابلية التوسع:
-
عملية الاخرق قابلة للتكيف بدرجة كبيرة، مما يسمح بترسيب مجموعة واسعة من المواد بما في ذلك العناصر والسبائك والمركبات. يمكن أن تستوعب ركائز من مختلف الأحجام والأشكال، مما يجعلها مناسبة لكل من التطبيقات البحثية صغيرة النطاق والتطبيقات الصناعية واسعة النطاق. تضمن قابلية التوسع هذه أن تلبي تقنية الاخرق الاحتياجات المتنوعة لمختلف الصناعات.
-
الجودة والاتساق:
-
تُعد عملية تصنيع هدف الاخرق أمرًا بالغ الأهمية لجودة الأغشية الرقيقة المنتجة. وتؤثر تركيبة المادة المستهدفة ودقة معلمات الاخرق تأثيراً مباشراً على اتساق وكثافة وتماسك الأغشية المودعة. وتعد هذه العوامل ضرورية للتطبيقات التي تتطلب دقة وموثوقية عالية، كما هو الحال في أجهزة أشباه الموصلات والطلاءات البصرية.التطورات التاريخية والتكنولوجية:
يتمتع الاخرق بتاريخ طويل يعود إلى أوائل القرن التاسع عشر. وعلى مر القرون، تم إحراز العديد من التطورات على مر القرون، مما أدى إلى تطوير تقنيات رش مختلفة مثل الرش الكاثودي، والرش بالديود والرش بالديود والرش التفاعلي. وقد أدت هذه الابتكارات إلى توسيع قدرات الاخرق مما أتاح استخدامه في التقنيات المتطورة وعلوم المواد.