الاخرق هو طريقة تستخدم لإنشاء أغشية رقيقة.
وهي نوع من الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD).
وعلى عكس طرق ترسيب البخار الأخرى، لا تذوب المادة.
وبدلاً من ذلك، يتم قذف الذرات من المادة المصدر (الهدف) عن طريق نقل الزخم من جسيم قاذف، وعادةً ما يكون أيون غازي.
آلية الاخرق: كيف يعمل
ينطوي الاخرق على إدخال غاز خاضع للتحكم، عادةً ما يكون أرغون خامل كيميائياً، في غرفة تفريغ.
تبدأ العملية عن طريق تنشيط الكاثود كهربائياً لإنشاء بلازما ذاتية الاستدامة.
وبعد ذلك يتم قصف السطح المكشوف للكاثود، المعروف باسم هدف الاهتزاز، بأيونات عالية الطاقة من البلازما.
وتنقل هذه الأيونات زخمها إلى الذرات الموجودة على سطح الهدف، مما يؤدي إلى طردها.
مزايا الاخرق: لماذا هو شائع
تتمثل إحدى مزايا الاخرق في أن الذرات المقذوفة بالرشاقة لها طاقات حركية أعلى بكثير مقارنة بالمواد المبخرة.
وهذا يؤدي إلى التصاق أفضل على الركيزة.
يمكن لهذه الطريقة أيضًا التعامل مع المواد ذات درجات انصهار عالية جدًا، مما يجعلها متعددة الاستخدامات لترسيب مجموعة واسعة من المواد.
يمكن إجراء عملية الاخرق في تكوينات مختلفة، بما في ذلك النهج التصاعدي أو التنازلي من أسفل إلى أعلى أو من أعلى إلى أسفل، اعتمادًا على المتطلبات المحددة لتطبيق الأغشية الرقيقة.
تسلسل العملية في عملية الاخرق: خطوة بخطوة
- يتم وضع مادة الترسيب في حجرة الاخرق تحت ضغط منخفض، وعادةً ما يكون تفريغ جزئي.
- يتم توليد بلازما، ويتم تسريع الأيونات الغازية نحو الهدف.
- تصطدم الأيونات بالهدف، مما يؤدي إلى طرد الذرات من سطحه.
- وتنتقل هذه الذرات المقذوفة عبر الحجرة وتتكثف على الركيزة مكونة طبقة رقيقة.
- ويعتمد سمك الفيلم على مدة عملية الاخرق ويمكن التحكم فيه من خلال ضبط المعلمات مثل مستوى طاقة جسيمات الطلاء وكتلة المواد المستخدمة.
أنواع بيئات الاخرق: الظروف المختلفة
يمكن إجراء ترسيب الاخرق في بيئات مختلفة:
- في الفراغ أو الغاز منخفض الضغط (أقل من 5 مللي طن متري)، حيث لا تخضع جسيمات الرش الرذاذ لتصادمات في الطور الغازي قبل الوصول إلى الركيزة.
- في ضغط غاز أعلى (5-15 mTorr)، حيث يتم "تسخين" الجسيمات النشطة بواسطة تصادمات الطور الغازي قبل وصولها إلى الركيزة، مما قد يؤثر على توزيع الطاقة ومعدل ترسيب المادة المبثوقة.
تطبيقات الرش بالانبثاق بالانبعاث الطيفي الفسفوري: أماكن استخدامه
يُستخدم الرش بالترسيب الفيزيائي بالبخار الفيزيائي (PVD) على نطاق واسع لترسيب الأغشية الرقيقة من مواد مختلفة على الركائز.
هذه التقنية ضرورية في تصنيع الأجهزة الإلكترونية والطلاءات الضوئية والتطبيقات الصناعية المختلفة حيث يكون الترسيب الدقيق للأغشية الرقيقة ضروريًا.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
أطلقوا العنان للدقة في ترسيب الأغشية الرقيقة مع حلول KINTEK المتقدمة للترسيب الرقيق!
هل أنت مستعد للارتقاء بقدراتك البحثية والإنتاجية؟
توفر أنظمة رش الرقائق المتطورة من KINTEK تحكماً وتنوعاً لا مثيل له.
ضمان أعلى جودة للأغشية الرقيقة لتطبيقاتك.
سواء كنت تعمل في مجال الإلكترونيات أو البصريات أو الطلاءات الصناعية، فإن تقنيتنا توفر الدقة والموثوقية التي تحتاجها.
لا تقبل بأقل من ذلك عندما يكون بإمكانك تحقيق الأفضل.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن حلولنا المبتكرة للترسيب الرقيق وكيف يمكنها تحويل عملياتك.
يبدأ طريقك إلى ترسيب الأغشية الرقيقة المتفوقة هنا مع KINTEK.
