تقنية الرش بالرش هو تقنية ترسيب فيزيائي للبخار (PVD) تستخدم لترسيب الأغشية الرقيقة على الركائز، وذلك في المقام الأول في تصنيع أشباه الموصلات ومحركات الأقراص والأقراص المدمجة والأجهزة البصرية. وتتضمن هذه العملية طرد الذرات من المادة المستهدفة بسبب قصفها بأيونات نشطة، عادةً من بلازما أو غاز. تتكثف الذرات المقذوفة بعد ذلك على ركيزة قريبة، وتشكل طبقة رقيقة مع التحكم الدقيق في التركيب والسماكة والخصائص.
ملخص تقنية الاخرق:
الاخرق هو طريقة يتم فيها قذف الذرات من مادة مستهدفة إلى مرحلة الغاز بسبب القصف الأيوني. ومن ثم تترسب هذه الذرات على ركيزة مكونة طبقة رقيقة. هذه التقنية متعددة الاستخدامات للغاية، مما يسمح بترسيب مواد مختلفة، بما في ذلك السبائك والأكاسيد والنتريدات، من خلال طرق مثل الرش التفاعلي.
-
شرح مفصل:
- نظرة عامة على العملية:القصف الأيوني:
- في حجرة تفريغ مملوءة بغاز خامل مثل الأرجون، يتم تطبيق جهد عالي لإنشاء تفريغ متوهج. يقوم هذا التفريغ بتسريع الأيونات نحو المادة المستهدفة.طرد الذرات:
- عندما تصطدم أيونات الأرجون بالهدف، فإنها تزيح الذرات من سطح الهدف من خلال عملية تسمى الرش.الترسيب على الركيزة:
-
تُشكِّل الذرات المقذوفة سحابة بخار تتحرك نحو الركيزة وتتكثف على الركيزة مكونة طبقة رقيقة.
- أنواع الاخرق:الاخرق التقليدي:
- يُستخدم لترسيب المعادن النقية أو السبائك.الاخرق التفاعلي:
-
ينطوي على إضافة غاز تفاعلي (مثل النيتروجين أو الأكسجين) إلى الغرفة، والذي يتفاعل مع المادة المقذوفة لتشكيل مركبات مثل الأكاسيد أو النيتريدات.
- مزايا تقنية الاخرق:دقة عالية:
- تسمح بالتحكم الدقيق للغاية في سمك وتكوين الأغشية المترسبة.طلاءات ناعمة:
- تنتج طلاءات ناعمة وخالية من القطرات، مما يجعلها مثالية للتطبيقات البصرية والإلكترونية.تعدد الاستخدامات:
-
يمكن التعامل مع مجموعة كبيرة من المواد، بما في ذلك المواد غير الموصلة للكهرباء باستخدام طاقة الترددات اللاسلكية أو طاقة الترددات المتوسطة.
- التطبيقات:أشباه الموصلات:
- ضروري لترسيب الطبقات في أجهزة أشباه الموصلات.الأجهزة البصرية:
- يُستخدم لإنشاء طلاءات بصرية عالية الجودة.الطلاءات الترايبولوجية:
-
في أسواق السيارات، للطلاءات التي تعزز المتانة وتقلل من التآكل.
- العيوب:سرعة ترسيب أبطأ:
- مقارنةً بتقنيات الترسيب الأخرى مثل التبخير.كثافة بلازما أقل:
يمكن أن يؤثر ذلك على كفاءة العملية.التصحيح والمراجعة:
