يكمن الفرق الأساسي بين الرش بالمغنترون المغنطروني والرش بالتيار المستمر في إمكانية تطبيقهما على أنواع مختلفة من المواد والآليات التي يعملان بها. يمكن استخدام الرش المغنطروني المغنطروني مع كل من المواد الموصلة وغير الموصلة، بينما يقتصر الرش بالتيار المستمر على المواد الموصلة. وبالإضافة إلى ذلك، يستخدم الرش المغنطروني المغنطروني مجالاً مغناطيسيًا لتعزيز عملية الرش بالمغناطيسية، مما يؤدي إلى معدلات ترسيب أعلى وتوحيد أفضل، في حين أن الرش بالتيار المستمر لا يستخدم مثل هذا المجال المغناطيسي.
الاخرق المغنطروني:
يتميز الاخرق المغنطروني باستخدام مجال مغناطيسي متراكب على المجال الكهربائي المستخدم في الاخرق. ويتسبب هذا المجال المغناطيسي في أن تتبع الجسيمات المشحونة (الإلكترونات والأيونات) مسارًا أكثر تعقيدًا، مما يزيد من تفاعلها مع جزيئات الغاز في الغرفة وبالتالي تعزيز عملية التأين. وهذا يؤدي إلى معدل أعلى من الترسيب وتحكم أفضل في توحيد الفيلم المترسب. يمكن أن يعمل الرش المغنطروني المغنطروني في أوضاع مختلفة، بما في ذلك التيار المستمر والترددات اللاسلكية والتيار المستمر النبضي وHPIMS، مما يسمح له باستيعاب الأهداف الموصلة وغير الموصلة على حد سواء.رش بالتيار المستمر:
يتضمن الاخرق بالتيار المستمر، وتحديداً الاخرق المغنطروني بالتيار المستمر، استخدام تيار مباشر لتوليد البلازما اللازمة للاخرق. هذه الطريقة فعالة لترسيب المواد من الأهداف الموصلة على الركائز. ويعني عدم وجود مجال مغناطيسي في الرش بالتيار المستمر التقليدي أن كفاءة التأين أقل مقارنة بالرش المغنطروني، مما قد يؤدي إلى انخفاض معدلات الترسيب. ومع ذلك، فإن الاخرق بالتيار المستمر أبسط في الإعداد والتشغيل، مما يجعله مناسبًا للتطبيقات التي لا تكون فيها معدلات الترسيب العالية حرجة.
المزايا والعيوب:
يوفر الرش المغنطروني المغنطروني معدلات ترسيب عالية عند ضغوط منخفضة وتوحيد جيد وتغطية متدرجة. ومع ذلك، فإنه يعاني من تآكل غير منتظم للهدف، مما قد يقلل من عمر الهدف. من ناحية أخرى، يعد رش التيار المستمر أبسط وأكثر وضوحًا ولكنه يقتصر على المواد الموصلة وقد لا يحقق نفس معدلات الترسيب العالية التي يوفرها الرش المغنطروني.
