الطلاء بالرش هو عملية يتراوح فيها الضغط عادةً من 10^2 باسكال إلى 10 باسكال.
ويلعب هذا الضغط المرتفع نسبيًا دورًا مهمًا في عملية الطلاء بالرش.
فهو يؤثر على جوانب مختلفة، بما في ذلك متوسط المسار الحر لجزيئات غاز المعالجة، والزاوية التي تصل بها الذرات إلى الركيزة، وإمكانية امتصاص الغاز في الفيلم المتنامي.
ويمكن أن يؤدي ذلك إلى عيوب في البنية المجهرية.
ما هو ضغط طلاء الرذاذ؟ (شرح 5 عوامل رئيسية)
1. نطاق الضغط وتأثيره على متوسط المسار الحر
في طلاء الرذاذ، يتراوح ضغط العمل بشكل عام بين 10^-2 باسكال و10 باسكال.
ويعد نطاق الضغط هذا أعلى بكثير من ذلك الموجود في أنظمة التبخير الحراري أو أنظمة التبخير بالحزمة الإلكترونية، والتي تعمل عند ضغوط حوالي 10^-8 تور (حوالي 10^-10 باسكال).
وعند هذه الضغوط الأعلى في التبخير بالمغناطيسية يكون متوسط المسار الحر (متوسط المسافة التي يقطعها الجسيم بين التصادمات) أقصر بكثير.
على سبيل المثال، في الرش المغنطروني بالتيار المغنطروني المباشر (dcMS) عند 10^-3 تور (10^-5 باسكال تقريباً)، يبلغ متوسط المسار الحر حوالي 5 سنتيمترات فقط.
هذا بالمقارنة مع 100 متر في الأنظمة التي تعمل عند 10^-8 تور.
2. التأثير على زوايا وصول الأداتوم
نظرًا للكثافة العالية لغاز المعالجة ومتوسط المسارات الحرة القصيرة، تميل الذرات الأداتومية في عمليات الرش إلى الوصول إلى الركيزة بزوايا عشوائية.
ويختلف ذلك عن طرق التبخير حيث تقترب الذرات المتطايرة عادةً من الركيزة بزاوية عادية.
وتنتج الزوايا العشوائية في عملية الاخرق عن التصادمات العديدة التي تحدث أثناء انتقال الذرات المتطايرة من الهدف إلى الركيزة.
3. امتصاص الغاز وعيوب البنية المجهرية
يمكن أن تؤدي وفرة غاز المعالجة بالقرب من السطح البيني للركيزة/الفيلم إلى امتصاص بعض هذا الغاز في الفيلم المتنامي.
ويمكن أن يؤدي هذا الامتصاص إلى حدوث عيوب في البنية المجهرية، مما قد يؤثر على خصائص الفيلم وأدائه.
4. إدارة الضغط في الاخرق التفاعلي
في الاخرق التفاعلي، يعد التحكم في الضغط أمرًا بالغ الأهمية لمنع "تسمم" سطح الهدف.
وهذا يمكن أن يعيق نمو الفيلم الرقيق.
في الضغوط المنخفضة، يكون تكوين الفيلم بطيئًا، بينما في الضغوط العالية، يمكن أن يؤثر الغاز التفاعلي سلبًا على سطح الهدف.
وهذا يقلل من معدل نمو الفيلم ويزيد من معدل تسمم الهدف.
5. متطلبات نظام التفريغ
يتطلب نظام التفريغ من أجل الاخرق ضغطًا أساسيًا في نطاق التفريغ العالي (عادةً 10^-6 ملي بار أو أفضل) لضمان نظافة الأسطح وتجنب التلوث.
أثناء عملية التفريغ، يتم تعديل الضغط إلى نطاق mTorr (10^-3 إلى 10^-2 ملي بار) عن طريق إدخال غاز التفريغ.
ويتم التحكم في ذلك بواسطة جهاز تحكم في التدفق.
يتم أيضًا مراقبة سمك الفيلم المترسب والتحكم فيه أثناء هذه العملية.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اكتشف دقة معدات طلاء الرذاذ المتقدمة من KINTEK SOLUTION.
تدير أنظمتنا المصممة بدقة متناهية الضغوط بدقة في نطاق 10^-2 باسكال إلى 10 باسكال.
تضمن تقنيتنا المتطورة متوسط المسارات الحرة المثلى وزوايا وصول الذرات الرقيقة المتحكم فيها وتقلل من العيوب البنيوية الدقيقة.
ارتقِ بطبقات الطلاء الرقيقة الخاصة بك من خلال أنظمة التفريغ المبتكرة لدينا وشاهد الفرق في جودة الفيلم وكفاءة العملية.
ثِق في KINTEK SOLUTION للحصول على حلول طلاء بالتفريغ لا مثيل لها تحقق نتائج.
اعرف المزيد وأحدث ثورة في عملية الطلاء اليوم!
