الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) هو عملية تُستخدم لترسيب الأغشية أو الطلاءات الرقيقة على الركيزة من خلال التفاعل الكيميائي للسلائف الغازية.
وينطوي مبدأ الترسيب الكيميائي بالبخار على ثلاث خطوات رئيسية: تبخير مركب متطاير، والتحلل الحراري أو التفاعل الكيميائي للبخار على الركيزة، وترسيب نواتج التفاعل غير المتطايرة.
وتتطلب هذه العملية عادةً درجات حرارة عالية ونطاقات ضغط محددة لتسهيل التفاعلات وضمان طلاء موحد.
ما هو مبدأ ترسيب البخار الكيميائي؟ (شرح 3 خطوات رئيسية)
1. تبخير مركب متطاير
في الخطوة الأولى، يتم تبخير السلائف المتطايرة، وهي مركب من المادة المراد ترسيبها.
وعادةً ما تكون هذه السليفة عبارة عن هاليد أو هيدريد يتم اختياره بناءً على المادة المرغوب ترسيبها على الركيزة.
تهيئ عملية التبخير السلائف للتفاعلات اللاحقة.
2. التحلل الحراري أو التفاعل الكيميائي
بمجرد أن تصبح السلائف في الحالة الغازية، يتم إدخالها في غرفة التفاعل حيث يتم تعريضها لدرجات حرارة عالية (غالباً ما تكون حوالي 1000 درجة مئوية).
وعند درجات الحرارة هذه، تخضع السليفة للتحلل الحراري أو تتفاعل مع الغازات الأخرى الموجودة في الغرفة.
ويفكك هذا التفاعل السليفة إلى ذرات وجزيئات جاهزة للترسيب.
3. ترسيب نواتج التفاعل غير المتطايرة
ثم تترسب الذرات والجزيئات الناتجة عن التحلل أو التفاعل على الركيزة المسخنة.
ويشكل هذا الترسيب طبقة رقيقة أو طبقة رقيقة تتراكم بشكل منتظم بمرور الوقت.
تلتصق النواتج غير المتطايرة للتفاعل بالركيزة، في حين تتم إزالة أي سلائف غير متفاعلة ومنتجات ثانوية من الحجرة.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اكتشف الحلول المتقدمة لعمليات التفريد القفزي القابل للتحويل القابل للتبريد باستخدام KINTEK SOLUTION.
تضمن لك معداتنا المصممة بدقة للتفكيك القفزي القابل للسحب بالأشعة القلبية الوسيطة والسلائف عالية الجودة ودعم الخبراء الأداء الأمثل والترسيب الموحد للأغشية الرقيقة.
طوِّر مختبرك باستخدام تقنيات KINTEK SOLUTION المبتكرة وارتقِ بتطبيقاتك في مجال الطبقات القشرية CVD إلى المستوى التالي.
اتصل بنا اليوم للحصول على استشارة وتجربة فرق KINTEK!
