تتضمن عملية تفريغ الهدف ترسيب أغشية رقيقة على ركيزة باستخدام تقنية الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD).
-
مقدمة إلى غرفة التفريغ: يتم وضع الركيزة المراد طلاؤها داخل غرفة تفريغ الهواء.
-
تحتوي هذه الحجرة على مغناطيسين ويتم تفريغها في البداية لخلق بيئة تفريغ.
-
ويكون الضغط الأساسي في الغرفة منخفضًا للغاية، وعادةً ما يكون حوالي 10^-6 مليبار، وهو جزء من المليار من الضغط الجوي العادي.
-
إدخال الغاز الخامل: يتم إدخال غاز خامل كيميائياً، وهو غاز خامل كيميائياً، في غرفة التفريغ.
-
تتدفق ذرات الغاز باستمرار، مما يخلق جوًا منخفض ضغط الغاز مناسبًا لعملية الاخرق.
-
توليد البلازما: يتم تطبيق تيار كهربائي على مهبط داخل الغرفة.
-
وهذا المهبط، المعروف أيضاً باسم الهدف، مصنوع من المادة التي سيتم ترسيبها على الركيزة.
-
يؤدي تطبيق الكهرباء إلى تأيين غاز الأرجون وتحويله إلى بلازما.
-
وفي هذه الحالة، تصبح ذرات الغاز أيونات موجبة الشحنة عن طريق فقدان الإلكترونات.
-
رش مادة الهدف: يتم تسريع ذرات الغاز المتأين بواسطة مجال مغناطيسي نحو الهدف.
-
وعندما تصطدم هذه الذرات بالهدف، تقوم بخلع الذرات أو الجزيئات من المادة المستهدفة.
-
وتُعرف هذه العملية باسم الرش. وتشكل المادة المتناثرة تيار بخار.
-
الترسيب على الركيزة: تنتقل المادة المتبخرة من الهدف عبر الحجرة وتترسب على الركيزة، مكونة طبقة رقيقة أو طلاء.
-
عادةً ما يكون هذا الفيلم متجانسًا ويلتصق جيدًا بالركيزة.
-
التبريد والتحكم: أثناء العملية، يتم تبريد الهدف باستخدام الماء لتبديد الحرارة المتولدة.
-
وهذا أمر بالغ الأهمية للحفاظ على سلامة المادة المستهدفة ومنع تلف المعدات.
-
مراقبة الجودة والتحليل: بعد عملية الاخرق يتم تحليل جودة الفيلم المودع بعد عملية الاخرق.
-
وتخضع كل دفعة إنتاج من المواد لعمليات تحليلية مختلفة للتأكد من أنها تفي بالمعايير المطلوبة.
-
يتم تقديم شهادة تحليل مع كل شحنة لإثبات جودة أهداف الاخرق.
وتعد هذه العملية بالغة الأهمية في مختلف الصناعات، خاصةً في إنتاج أشباه الموصلات، حيث يتم استخدامها لتشكيل طبقات موصلة.
يجب أن تضمن أهداف الاخرق نقاوة كيميائية عالية وتوحيد المعادن لتلبية المتطلبات الصارمة لهذه التطبيقات.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
أطلقوا العنان للدقة مع أهداف الاخرق KINTEK!
ارتقِ بتطبيقاتك للأغشية الرقيقة إلى المستوى التالي مع أهداف الاخرق عالية النقاء من KINTEK. تضمن تقنيات PVD المتقدمة لدينا أن كل هدف يوفر تجانسًا والتصاقًا لا مثيل له، مما يجعله مثاليًا لتصنيع أشباه الموصلات والإلكترونيات الحرجة. اختبر فرق KINTEK في الجودة والأداء. اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن منتجاتنا وكيف يمكنها تحسين عمليات الإنتاج لديك. طريقك إلى طلاءات الأغشية الرقيقة الفائقة يبدأ هنا مع KINTEK!
