فريق التقنية · Kintek Solution

تعمل تقنية الرش بالترددات اللاسلكية، وهي تقنية مستخدمة على نطاق واسع في صناعات أشباه الموصلات والكمبيوتر، بتردد 13.56 ميجاهرتز، وهي تقنية موحدة للتطبيقات الصناعية.تستخدم هذه الطريقة مجالًا كهربائيًا متناوبًا عالي التردد لتوليد البلازما، مما يجعلها فعالة بشكل خاص للمواد العازلة.ويُعد الرش بالترددات اللاسلكية مفيداً لترسيب الأغشية الرقيقة على الركائز، حيث يمنع تراكم الشحنات على المواد المستهدفة، مما قد يؤدي إلى حدوث تقوس ومشاكل في الجودة.وتتضمن العملية دورتين: الأولى تكون فيها المادة المستهدفة مشحونة بشحنة سالبة لجذب ذرات الغاز المتطاير والثانية تكون فيها مشحونة بشحنة موجبة لقذف أيونات الغاز وذرات المصدر نحو الركيزة.وهذه التقنية مناسبة للمواد الموصلة وغير الموصلة على حد سواء، على الرغم من أنها تستخدم بشكل شائع للمواد العازلة.يُستخدم الرش بالترددات اللاسلكية أيضًا في تصنيع الموجهات الموجية المستوية الضوئية والتجاويف الضوئية الدقيقة، مما يوفر ترسيبًا عالي الجودة في درجات حرارة منخفضة للركيزة.

شرح النقاط الرئيسية:

1. تردد رش الترددات اللاسلكية:

   • يعمل رش الترددات اللاسلكية بتردد 13.56 ميجاهرتز وهو تردد قياسي مخصص للتطبيقات الصناعية.يتم اختيار هذا التردد لأنه يولد البلازما بشكل فعال ويمنع تراكم الشحنات على المواد المستهدفة العازلة.

2. آلية الاخرق بالترددات اللاسلكية:

   • يستخدم رش الترددات اللاسلكية مجالًا كهربائيًا عالي التردد بالتناوب لتوليد البلازما في بيئة فراغية.يقوم مصدر طاقة التيار المتردد، الذي عادة ما يكون ثابتاً عند 13.56 ميغاهيرتز، بتبديل الجهد الكهربائي للتيار، مما يمنع تراكم الشحنات على المادة المستهدفة.
   • تتضمن العملية دورتين:
     • الدورة الأولى:تكون المادة المستهدفة سالبة الشحنة، مما يجذب أيونات الغاز المتطاير لضرب ذرات المصدر.
     • الدورة الثانية:يكون الهدف موجب الشحنة، ويقذف أيونات الغاز وذرات المصدر نحو الركيزة للترسيب.

3. مزايا رش الترددات اللاسلكية:

   • يمنع تراكم الشحنات:من خلال تبديل الإمكانات الكهربائية، يتجنب الاخرق بالترددات اللاسلكية تراكم الشحنات على المواد العازلة، والتي يمكن أن تسبب تقوسًا وتعطيل عملية الاخرق.
   • مناسب للمواد العازلة:يعتبر رش الترددات اللاسلكية فعالاً بشكل خاص في المواد العازلة مما يجعلها الطريقة المفضلة لترسيب الأغشية الرقيقة على أهداف عازلة.
   • ترسيب الأغشية عالية الجودة:يسمح رش الترددات اللاسلكية بترسيب أفلام عالية الجودة ومتجانسة في درجات حرارة منخفضة للركيزة، مما يجعلها مثالية للتطبيقات في صناعات أشباه الموصلات والصناعات البصرية.

4. تطبيقات رش الترددات اللاسلكية:

   • صناعة أشباه الموصلات:يُستخدم الرش بالترددات اللاسلكية بشكل شائع لترسيب الأغشية الرقيقة على ركائز السيليكون، مثل أغشية SiO2 والتي تعتبر ضرورية في تصنيع أشباه الموصلات.
   • الأجهزة الضوئية والضوئية:يستخدم رش الترددات اللاسلكية لتصنيع الموجهات الموجية المستوية الضوئية و التجاويف المجهرية الضوئية التي تعمل في المناطق المرئية والأشعة تحت الحمراء القريبة (NIR).كما أنها مناسبة لإنشاء بلورات ضوئية أحادية الأبعاد وترسيب طبقات متناوبة من المواد ذات مؤشرات انكسار مضبوطة.

5. المعلمات التقنية:

   • جهد الذروة إلى ذروة التردد اللاسلكي:عادةً 1000 V .
   • كثافة الإلكترون:يتراوح من 10^9 إلى 10^11 سم ^ 3 .
   • ضغط الغرفة:يعمل بين 0.5 إلى 10 مللي طن متري .
   • معدل الترسيب:أقل مقارنةً بالتبخير بالتيار المستمر، مما يجعل التبخير بالترددات اللاسلكية أكثر ملاءمة لأحجام الركيزة الأصغر والتطبيقات المتخصصة.

6. مقارنة مع الاخرق بالتيار المستمر:

   • معدل الترسيب:يحتوي رش الترددات اللاسلكية على معدل ترسيب أقل مقارنةً بالترسيب بالتيار المستمر، مما يجعله أقل كفاءة للإنتاج على نطاق واسع ولكنه أكثر ملاءمة للتطبيقات عالية الدقة.
   • توافق المواد:الرش بالترددات اللاسلكية أكثر تنوعًا حيث يمكن استخدامها للمواد الموصلة وغير الموصلة على حد سواء، في حين أن رش التيار المستمر يقتصر على الأهداف الموصلة.

7. التحديات والقيود:

   • ارتفاع التكاليف:عادةً ما يكون رش الترددات اللاسلكية أكثر تكلفة بسبب تعقيد مصدر طاقة الترددات اللاسلكية والحاجة إلى التحكم الدقيق في معلمات الرش.
   • أحجام الركيزة الأصغر:يُستخدم الرش بالترددات اللاسلكية عادةً للركائز الأصغر بسبب انخفاض معدل الترسيب وارتفاع التكاليف المرتبطة بالعملية.

باختصار، يعد الرش بالترددات اللاسلكية تقنية متعددة الاستخدامات ودقيقة لترسيب الأغشية الرقيقة، خاصة على المواد العازلة.إن قدرتها على منع تراكم الشحنات وترسيب أغشية عالية الجودة في درجات حرارة منخفضة تجعلها لا غنى عنها في صناعات أشباه الموصلات والصناعات البصرية.ومع ذلك، فإن تكاليفها المرتفعة ومعدلات ترسيبها المنخفضة تحد من استخدامها في التطبيقات المتخصصة والركائز الأصغر.

جدول ملخص:

الجانب	التفاصيل
التردد	13.56 ميجاهرتز (قياسي للتطبيقات الصناعية)
الآلية	مجال كهربائي عالي التردد بالتناوب لتوليد البلازما في الفراغ
المزايا	يمنع تراكم الشحنات، مثالي للمواد العازلة والأغشية عالية الجودة
التطبيقات	تصنيع أشباه الموصلات، والأدلة الموجية الضوئية، والتجاويف الضوئية الدقيقة
المعلمات التقنية	جهد الذروة إلى الذروة في التردد اللاسلكي: 1000 فولت، ضغط الغرفة: 0.5-10 ملي طن متري
مقارنة مع التيار المستمر	معدل ترسيب أقل، أكثر تنوعًا للمواد الموصلة/غير الموصلة
القيود	تكاليف أعلى، أحجام ركيزة أصغر

اكتشف كيف يمكن أن يعزز رش الترددات اللاسلكية من عمليات الأغشية الرقيقة الخاصة بك- اتصل بخبرائنا اليوم !