يتم تحديد عامل الأمان لغرفة التفريغ في المقام الأول من خلال سلامتها الهيكلية وجودة مكوناتها ودقة أنظمة قياس الضغط والتحكم فيها. تضمن حجرة التفريغ المصممة بشكل جيد الاستقرار والمرونة والتحكم الدقيق في البيئة الداخلية، وهو أمر بالغ الأهمية لمختلف التطبيقات التي تتراوح من تصنيع أشباه الموصلات إلى اختبار المعدات الفضائية.
السلامة الهيكلية والمكونات:
تلعب المكونات الهيكلية لغرفة التفريغ، على الرغم من اعتبارها في كثير من الأحيان ثانوية، دورًا مهمًا في سلامتها وأدائها. يجب النظر بعناية في عوامل مثل اختيار مواد المفصلات، ومانعات التسرب، ومواد التقوية، والحوامل، والمثبتات، ونقاط الرفع. على سبيل المثال، يمكن أن تؤدي المفصلات الضعيفة أو المواد المانعة للتسرب الرديئة إلى حدوث تسربات، مما يضر بسلامة التفريغ وربما يتلف الحجرة أو محتوياتها. يجب أن تكون الحجرة قوية بما يكفي لتحمل الضغوط والضغوط التي صممت من أجلها، مما يضمن الموثوقية والسلامة على المدى الطويل.الصمامات والمقاييس:
تم تجهيز غرف التفريغ بصمامات ومقاييس مختلفة ضرورية للحفاظ على السلامة والأداء الوظيفي. وتساعد صمامات القياس في إزالة الجسيمات والرطوبة وإدخال غازات المعالجة، بينما توفر صمامات التسييل آلية أمان لحماية الغرفة والعينات من الضغط الزائد. تعتبر المقاييس ضرورية لقياس الضغط داخل الغرفة وعرضه بدقة. يضمن التشغيل السليم لهذه المكونات الحفاظ على مستويات التفريغ ضمن النطاق المطلوب، مما يمنع أي آثار ضارة على العمليات أو المواد داخل الغرفة.
هيكل غرفة التفريغ وموادها:
يجب أن تكون حجرة التفريغ نفسها محكمة الإغلاق ومحكمة الإغلاق، وعادةً ما تكون مصنوعة من مواد مثل الفولاذ المقاوم للصدأ التي لها خصائص تفريغ جيدة. يجب أيضًا أن تكون الغرفة معزولة حراريًا لمنع التقلبات في درجات الحرارة أثناء العمليات. يعد التصميم واختيار المواد أمرًا بالغ الأهمية لتحقيق مستويات التفريغ اللازمة (عادةً ما بين 10^-6 إلى 10^-9 تور في تطبيقات أشباه الموصلات) والحفاظ على بيئة نظيفة وخالية من الملوثات. وهذا أمر ضروري لعمليات مثل الرش المغنطروني المغنطروني، حيث يمكن أن تؤثر حتى الشوائب الطفيفة بشكل كبير على جودة الترسيب.
التطبيقات والاختبارات:
