هدف رش أكسيد الغاليوم هو لوح صلب مصنوع من أكسيد الغاليوم، وهو مركب خزفي. يُستخدم هذا الهدف في عملية الرش بالمغنترون المغنطروني لترسيب طبقة رقيقة من أكسيد الغاليوم على ركيزة، مثل رقائق أشباه الموصلات أو المكونات البصرية.
شرح تفصيلي:
-
تكوين هدف الاخرق:
-
يتكون هدف الرش بأكسيد الغاليوم من مركب أكسيد الغاليوم (Ga₂O₃). يتم اختيار هذه المادة لخصائصها المحددة المفيدة لمختلف التطبيقات، مثل خصائصها الكهربائية والبصرية. وعادةً ما يكون الهدف عبارة عن لوح صلب كثيف وعالي النقاء يضمن جودة وتوحيد الفيلم المترسب.عملية الاخرق:
-
في عملية الرش المغنطروني المغنطروني، يتم وضع هدف أكسيد الغاليوم في غرفة مفرغة من الهواء ويتم قصفه بجسيمات عالية الطاقة (عادةً ما تكون غازاً مؤيناً). ويتسبب هذا القصف في طرد ذرات أكسيد الغاليوم من الهدف وانتقالها عبر الفراغ لتترسب كغشاء رقيق على الركيزة. يتم التحكم في العملية لتحقيق السماكة والخصائص المرغوبة للفيلم.
-
مزايا رش أكسيد الغاليوم:
يوفر أكسيد الغاليوم بالرشّ العديد من المزايا مقارنةً بطرق الترسيب الأخرى. تكون الأفلام المنتجة كثيفة وذات التصاق جيد بالركيزة وتحافظ على التركيب الكيميائي للمادة المستهدفة. هذه الطريقة فعالة بشكل خاص للمواد ذات درجات انصهار عالية، والتي يصعب تبخيرها. كما يمكن أن يؤدي استخدام الغازات التفاعلية مثل الأكسجين أثناء الاخرق إلى تعزيز خصائص الفيلم المترسب.
التطبيقات:
