تتراوح قوة المجال المغناطيسي المغنطروني عادةً من 100 إلى 1000 غاوس (0.01 إلى 0.1 تسلا). هذا المجال المغناطيسي أمر بالغ الأهمية في عملية الرش المغنطروني المغنطروني، حيث يؤثر على توليد البلازما وتوحيد ترسيب المواد على الركيزة.
حساب قوة المجال المغناطيسي:
- يمكن حساب شدة المجال المغناطيسي في نظام رش المغنطرون المغنطروني باستخدام المعادلة:
- [B = \frac{ \mu_0}{4\pi} \times \frac{M \times N}{r \times t}]
- حيث:
- (B) هي شدة المجال المغناطيسي.
- ( \mu_0 ) هي نفاذية الفضاء الحر.
- ( M ) هي مغنطة المغناطيس.
( N ) هو عدد المغناطيسات.
( r ) هي المسافة من مركز الهدف إلى المغناطيس.( t ) هو سُمك المغناطيس.
تساعد هذه المعادلة في تحديد التكوين المناسب وقوة المجال المغناطيسي لتحسين عملية الاخرق. تم تصميم المجال المغناطيسي لتوجيه الأيونات الغازية، مما يجعلها تدور بشكل حلزوني على طول خطوط المجال، وبالتالي زيادة تصادماتها مع سطح الهدف. وهذا لا يعزز معدل الاخرق فحسب، بل يضمن أيضًا ترسيبًا أكثر اتساقًا للمادة المخروقة على الركيزة.دور المجال المغناطيسي في توليد البلازما:
يلعب المجال المغناطيسي الناتج عن مجموعة المغناطيس دورًا مهمًا في عملية توليد البلازما. ومن خلال جعل أيونات الغاز تدور بشكل حلزوني على طول خطوط المجال، تزداد احتمالية حدوث تصادمات مع سطح الهدف، مما يزيد بدوره من معدل الاخرق. وتساعد هذه الآلية في ضمان ترسيب أكثر اتساقًا للمادة المرشوشة على الركيزة. وعادة ما يتم توليد البلازما باستخدام مصدر طاقة نابض للتيار المستمر، والذي يطبق جهدًا عاليًا على الغاز بتردد عدة كيلوهرتز. ولا يساعد مزود الطاقة النبضي هذا في الحفاظ على استقرار البلازما فحسب، بل يسمح أيضًا بالتحكم في خصائص المادة المبثوقة.التأثير على خصائص البلازما والطلاء:
