الترسيب بالرش المستهدف هو عملية تُستخدم لإنشاء أغشية رقيقة عن طريق قذف الذرات من مادة مستهدفة صلبة من خلال القصف بجسيمات نشطة.
تُستخدم هذه التقنية على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات ورقائق الكمبيوتر.
شرح 5 خطوات رئيسية
1. المادة المستهدفة
المادة المستهدفة هي مصدر الذرات لترسيب الأغشية الرقيقة.
وهي عادةً ما تكون عنصرًا معدنيًا أو سبيكة معدنية، يتم اختيارها بناءً على الخصائص المرغوبة للفيلم الرقيق، مثل التوصيل أو الصلابة أو الخصائص البصرية.
وتُستخدم أهداف السيراميك عندما تكون هناك حاجة إلى طلاء صلب، مثل الأدوات.
2. قصف الجسيمات النشطة
يتم قصف الهدف بجسيمات نشطة، وعادة ما تكون أيونات من البلازما.
هذه الأيونات لديها طاقة كافية لإحداث شلالات تصادم داخل المادة المستهدفة.
وعندما تصل هذه الشلالات إلى سطح الهدف بطاقة كافية، فإنها تقذف الذرات من الهدف.
وتتأثر هذه العملية بعوامل مثل زاوية سقوط الأيون والطاقة وكتلة الأيون وذرات الهدف.
3. مردود الرذاذ
مردود الرذاذ هو متوسط عدد الذرات المقذوفة لكل أيون ساقط.
وهو معلمة حاسمة في عملية الاصطرار لأنه يحدد كفاءة الترسيب.
ويعتمد المردود على عدة عوامل بما في ذلك طاقة الارتباط السطحي لذرات الهدف واتجاه الأهداف البلورية.
4. الترسيب على الركيزة
تنتقل الذرات المقذوفة من الهدف عبر الحجرة وتترسب على الركيزة.
ويحدث الترسيب في ظروف محكومة، وغالباً ما يكون ذلك في بيئة غازية مفرغة أو منخفضة الضغط، لضمان ترسيب الذرات بشكل متجانس لتكوين طبقة رقيقة ذات سمك متناسق.
5. أنواع ترسيب الرذاذ
يمكن إجراء الترسيب بالترسيب بالرشاش في ظروف مختلفة، تتراوح بين التفريغ العالي وضغط الغاز العالي.
في ظروف التفريغ العالي، لا تخضع جسيمات الرذاذ لتصادمات في الطور الغازي، مما يسمح بالترسيب المباشر على الركيزة.
وفي ظروف الضغط الغازي العالي، يتم تسخين الجسيمات عن طريق تصادمات الطور الغازي قبل الوصول إلى الركيزة، مما قد يؤثر على خصائص الفيلم المترسب.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اكتشف دقة وقوة أنظمة الترسيب بالترسيب بالرشاش من KINTEK SOLUTION.
مصممة لإحداث ثورة في عملية تصنيع الأغشية الرقيقة.
بدءًا من المواد المستهدفة المتقدمة إلى تكنولوجيا الترسيب المتطورة، تضمن حلولنا إنتاجية مثالية للأغشية الرقيقة وطلاءات غشاء موحد.
ارتقِ بإنتاجك لأشباه الموصلات وشرائح الكمبيوتر مع KINTEK SOLUTION - حيث يلتقي الابتكار مع الكفاءة.
اطلب استشارتك الشخصية اليوم وانطلق إلى مستقبل تكنولوجيا الأغشية الرقيقة!
