ترسيب الاخرق المستهدف هو عملية تُستخدم لإنشاء أغشية رقيقة عن طريق قذف الذرات من مادة مستهدفة صلبة من خلال القصف بجسيمات نشطة. تُستخدم هذه التقنية على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات ورقائق الكمبيوتر.
ملخص العملية:
تبدأ العملية بمادة مستهدفة صلبة، عادةً ما تكون عنصرًا معدنيًا أو سبيكة، على الرغم من أن الأهداف الخزفية تستخدم أيضًا في تطبيقات محددة. تصطدم الجسيمات النشطة، وعادة ما تكون أيونات من البلازما، بالهدف، مما يؤدي إلى طرد الذرات. تنتقل هذه الذرات المقذوفة بعد ذلك عبر الحجرة وتترسب على الركيزة، مكونة طبقة رقيقة وموحدة.
-
الشرح التفصيلي:المادة المستهدفة:
-
المادة المستهدفة هي مصدر الذرات لترسيب الغشاء الرقيق. وهي عادةً ما تكون عنصرًا معدنيًا أو سبيكة معدنية، يتم اختيارها بناءً على الخصائص المرغوبة للفيلم الرقيق، مثل التوصيل أو الصلابة أو الخصائص البصرية. وتُستخدم أهداف السيراميك عندما تكون هناك حاجة إلى طلاء صلب، مثل الأدوات.
-
قصف الجسيمات النشطة:
-
يتم قصف الهدف بجسيمات نشطة، وعادة ما تكون أيونات من البلازما. هذه الأيونات لديها طاقة كافية لإحداث شلالات تصادم داخل المادة المستهدفة. وعندما تصل هذه الشلالات إلى سطح الهدف بطاقة كافية، فإنها تقذف الذرات من الهدف. وتتأثر هذه العملية بعوامل مثل زاوية سقوط الأيون والطاقة وكتلة الأيون وذرات الهدف.عائد الرذاذ:
-
مردود الرذاذ هو متوسط عدد الذرات المقذوفة لكل أيون ساقط. وهي معلمة حاسمة في عملية الاصطرار لأنها تحدد كفاءة الترسيب. يعتمد المردود على عدة عوامل بما في ذلك طاقة الارتباط السطحية للذرات المستهدفة واتجاه الأهداف البلورية.
الترسيب على الركيزة:
تنتقل الذرات المقذوفة من الهدف عبر الحجرة وتترسب على الركيزة. يحدث الترسيب في ظل ظروف محكومة، وغالباً ما يكون ذلك في بيئة غازية مفرغة أو منخفضة الضغط، لضمان ترسيب الذرات بشكل متجانس لتكوين طبقة رقيقة ذات سمك متناسق.
