رش المغنطرون المغنطروني هو تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة التي تستخدم مجالاً مغناطيسياً لتعزيز كفاءة توليد البلازما بالقرب من سطح الهدف، وبالتالي تسهيل ترسيب المواد على الركيزة. وقد تم تطوير هذه الطريقة في سبعينيات القرن الماضي وتتميز بسرعتها العالية وتلفها المنخفض ودرجة حرارتها المنخفضة.
تعزيز توليد البلازما:
الابتكار الرئيسي في الرش المغنطروني المغناطيسي هو إضافة مجال مغناطيسي مغلق فوق سطح الهدف. هذا المجال المغناطيسي يحبس الإلكترونات بالقرب من الهدف، مما يجعلها تدور على طول خطوط التدفق المغناطيسي بدلاً من أن تنجذب مباشرة إلى الركيزة. ويزيد هذا الاحتجاز من احتمال حدوث تصادمات بين الإلكترونات وذرات الأرجون (أو ذرات الغاز الخامل الأخرى المستخدمة في العملية)، وهذا بدوره يعزز توليد البلازما. وتؤدي كثافة البلازما المحسّنة بالقرب من سطح الهدف إلى زيادة كفاءة رش المادة المستهدفة.آلية الاخرق:
في الرش المغنطروني المغنطروني، يتم تسريع الأيونات عالية الطاقة نحو المادة المستهدفة بواسطة مجال كهربائي. تصطدم هذه الأيونات بالهدف، وتنقل الطاقة الحركية إلى ذرات الهدف. إذا كانت الطاقة المنقولة كافية للتغلب على طاقة الارتباط لذرات الهدف، يتم قذف هذه الذرات من السطح في عملية تعرف باسم الاخرق. ثم تترسب المادة المقذوفة على ركيزة قريبة، مكونة طبقة رقيقة.
الفوائد والتطبيقات:
يسمح استخدام المجال المغناطيسي في الاخرق المغنطروني بعملية ترسيب أكثر تحكمًا وكفاءة مقارنةً بطرق الاخرق التقليدية. وتؤدي هذه الكفاءة إلى معدلات ترسيب أعلى وجودة أفضل للفيلم. تتنوع تطبيقات الرش المغنطروني المغنطروني وتتراوح ما بين طلاء الإلكترونيات الدقيقة وتغيير خصائص المواد إلى إضافة أغشية زخرفية إلى المنتجات.
