يُعد الترسيب الكيميائي القابل للتحويل على القسطرة (الترسيب الكيميائي بالبخار) تقنية متعددة الاستخدامات تُستخدم لترسيب مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك المعادن وأشباه الموصلات والأكاسيد والنتريدات والكربيدات والماس والبوليمرات. وتخدم هذه المواد أغراضاً وظيفية مختلفة مثل التطبيقات الإلكترونية والبصرية والميكانيكية والبيئية. يمكن تصنيف عمليات الترسيب إلى CVD الحراري و CVD منخفض الضغط و CVD المعزز بالبلازما و CVD فائق التفريغ ذات التفريغ العالي جداً، وكل منها مصمم للعمل في ظروف محددة لتحسين ترسيب المواد المختلفة.
المعادن وأشباه الموصلات:
تُستخدم تقنية CVD على نطاق واسع لترسيب المعادن مثل النيكل والتنغستن والكروم وكربيد التيتانيوم، وهي مواد ضرورية لتعزيز مقاومة التآكل والتآكل. كما يتم ترسيب أشباه الموصلات، بنوعيها الأولي والمركب على حد سواء، بشكل شائع باستخدام عمليات التفريغ القابل للتحويل عن طريق السيرة الذاتية وخاصة لتصنيع الأجهزة الإلكترونية. وقد أدى تطوير المركبات المعدنية العضوية المتطايرة إلى توسيع نطاق السلائف المناسبة لهذه العمليات، خاصةً في عملية التفريغ المقطعي بالبطاقة CVD (MOCVD)، والتي تُعد محورية لترسيب أفلام أشباه الموصلات الفوقية.الأكاسيد والنتريدات والكربيدات:
يتم ترسيب هذه المواد باستخدام تقنية CVD لتطبيقات مختلفة نظرًا لخصائصها الفريدة. على سبيل المثال، تُستخدم الأكاسيد مثل Al2O3 وC2O3 لخصائصها العازلة للحرارة والكهرباء، بينما توفر النيتريدات والكربيدات الصلابة ومقاومة التآكل. وتسمح عمليات التفريغ القابل للقطع CVD بالتحكم الدقيق في ترسيب هذه المواد، مما يضمن الحصول على أفلام عالية الجودة.
الماس والبوليمرات:
تُستخدم CVD أيضاً في ترسيب أغشية الماس، والتي تُقدّر بصلابتها الاستثنائية وتوصيلها الحراري. تُستخدم البوليمرات المودعة عن طريق CVD في تطبيقات مثل غرسات الأجهزة الطبية الحيوية ولوحات الدوائر الكهربائية والطلاءات المتينة المزلقة. يمكن أن تنتج هذه العملية هذه المواد في بنى مجهرية مختلفة، بما في ذلك أحادية البلورة ومتعددة البلورات وغير المتبلورة، اعتمادًا على متطلبات التطبيق.
تقنيات وشروط الترسيب:
