تم اختراع الرش بالمغناطيسية في سبعينيات القرن العشرين، وتحديداً في عام 1974، مع اختراع مصدر الرش المغنطروني المستوي بواسطة جون س. تشابين.
وقد أحدثت هذه التقنية ثورة في مجال ترسيب الأغشية الرقيقة من خلال توفير معدلات ترسيب أعلى وأضرار أقل للركائز مقارنة بالطرق السابقة مثل رش الصمام الثنائي.
5 نقاط أساسية لفهم هذا الإنجاز الكبير
1. التطوير والاختراع
يعود تاريخ مفهوم الاخرق نفسه إلى عام 1852، ولكنه كان يستخدم في المقام الأول لترسيب الأغشية المعدنية الحرارية التي لا يمكن تحقيقها من خلال التبخير الحراري.
شهد تطور تكنولوجيا الرش بالمطرقة إدخال تقنية الرش بالترددات الراديوية (RF)، والتي وسعت نطاق تطبيقها لتشمل الأفلام العازلة.
ومع ذلك، جاء الاختراق الحقيقي مع اختراع الرش المغنطروني في السبعينيات.
2. تقنية الاخرق المغنطروني
يتميز الاخرق المغنطروني بإضافة مجال مغناطيسي مغلق فوق سطح الهدف.
ويعزز هذا المجال المغناطيسي من كفاءة توليد البلازما عن طريق زيادة احتمال حدوث تصادمات بين الإلكترونات وذرات الأرجون بالقرب من سطح الهدف.
ويؤدي المصيدة المغناطيسية التي أنشأها هذا المجال إلى سلسلة من التوليد الثانوي للإلكترونات، مما يزيد من إنتاج البلازما وكثافتها.
وينتج عن ذلك معدل أعلى من الاخرق ودرجات حرارة أقل، مما يجعلها طريقة متفوقة مقارنةً بالخرق الثنائي الصمام الثنائي.
3. التأثير والتسويق التجاري
كان إدخال الرش المغنطروني المغنطروني في عام 1974 بمثابة تقدم كبير في مجال طرق الطلاء بالتفريغ.
ولم يوفر معدل ترسيب أعلى فحسب، بل قلل أيضًا من الأضرار التي لحقت بالركائز.
وقد حققت هذه التقنية نجاحًا تجاريًا في صناعات مثل الإلكترونيات الدقيقة والزجاج المعماري في الستينيات والسبعينيات.
واليوم، أصبحت مصادر الرش المغنطروني المغنطروني متوفرة تجارياً في تكوينات مختلفة، بما في ذلك الأشكال الدائرية والمستطيلة والأنبوبية، وتم تكييفها لتطبيقات محددة من خلال أساليب المجال المغناطيسي المصممة هندسياً.
4. الخاتمة
أدى اختراع الرش بالمغنترون المغناطيسي في عام 1974 على يد جون س. تشابين إلى تحسين كفاءة عمليات الرش بالمغنترون وقابليتها للتطبيق بشكل كبير، مما جعلها تقنية أساسية في ترسيب الأغشية الرقيقة في مختلف الصناعات.
وكان تطويره استجابة للقيود التي كانت تعاني منها طرق الاخرق السابقة، لا سيما من حيث السرعة وتلف الركيزة، ومنذ ذلك الحين أصبحت تقنية معتمدة على نطاق واسع ومتطورة باستمرار.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اكتشف التقنية الرائدة التي أعادت تعريف ترسيب الأغشية الرقيقة: تقنيةتقنية الرش بالمغناطيسيةالتي تم تطويرها واختراعها بدقة في عام 1974 على يد جون س. تشابين.
فيحل Kintekنفخر بتقديم حلول متطورة مستوحاة من هذه الطريقة الثورية.
ارتق بأبحاثك وإنتاجك من خلال مصادرنا المصممة بدقة من خلال تقنية الرش المغنطروني المغنطروني المصممة لتعزيز الكفاءة وتقليل تلف الركيزة ودفع ابتكاراتك إلى الأمام.
اختبر مستقبل تكنولوجيا الأغشية الرقيقة - ثق فيحل Kintek لجميع احتياجاتك من مستلزمات مختبرك.
