الترسيب بالتبخير هو طريقة شائعة لإنشاء الأغشية الرقيقة، ولكنه أبطأ بشكل عام من الترسيب بالتبخير.
لماذا الترسيب بالتبخير أبطأ من الترسيب بالتبخير؟ شرح 4 أسباب رئيسية
1. الضرر الذي تسببه البلازما للركيزة
يستخدم الترسيب بالتبخير البلازما التي تولد ذرات عالية السرعة تقصف الركيزة.
يمكن أن يتسبب هذا القصف في تلف الركيزة وإبطاء عملية الترسيب.
وعلى النقيض من ذلك، ينطوي الترسيب بالتبخير على تبخير الذرات من مصدر، مما يؤدي عادةً إلى عدد أقل من الذرات عالية السرعة.
2. إدخال الشوائب
يعمل الاخرق تحت نطاق تفريغ أقل من الترسيب بالتبخير، مما قد يؤدي إلى إدخال شوائب في الركيزة.
تميل البلازما المستخدمة في الاخرق إلى إدخال الشوائب بشكل أكبر مقارنةً بظروف التفريغ الأعلى المستخدمة في الترسيب بالتبخير.
3. انخفاض درجة الحرارة ومعدل الترسيب
يتم إجراء الاخرق عند درجة حرارة أقل من التبخير بالحزمة الإلكترونية، مما يؤثر على معدل الترسيب.
يتميز الاخرق بمعدل ترسيب أقل، خاصة بالنسبة للعوازل.
ومع ذلك، يوفر الاخرق تغطية طلاء أفضل للركائز الأكثر تعقيدًا وقادر على إنتاج أغشية رقيقة عالية النقاء.
4. تحكم محدود في سماكة الفيلم
يسمح الترسيب بالترسيب بالرش بمعدلات ترسيب عالية دون قيود على السماكة، ولكنه لا يسمح بالتحكم الدقيق في سماكة الفيلم.
من ناحية أخرى، يسمح الترسيب بالتبخير بتحكم أفضل في سماكة الفيلم.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
هل تبحث عن مورد موثوق لمعدات الترسيب بالتبخير؟ لا تبحث أكثر من KINTEK!
بفضل تقنيتنا وخبرتنا المتطورة، نضمن لك طلاءات رقيقة عالية الجودة وعالية النقاء حتى لأكثر الركائز تعقيدًا.
لا تساوم على التغطية والنقاء - اختر KINTEK لتلبية احتياجاتك من الترسيب بالرش الرقيق.
اتصل بنا اليوم للحصول على عرض أسعار!
