ولزيادة معدل الاخرق، يجب التركيز على تعزيز تأين البلازما وتحسين بارامترات الاخرق المختلفة. ويمكن تحقيق ذلك عن طريق زيادة معدل رش الهدف، وتحسين تأين البلازما، وتعديل المعلمات الرئيسية مثل كثافة طاقة الهدف، وضغط الغاز، ودرجة حرارة الركيزة، ومعدل الترسيب.
-
زيادة معدل الاخرق المستهدف: عند نفس قوة التفريغ، يجب الحصول على المزيد من الأيونات لزيادة معدل الاخرق. ويمكن تحقيق ذلك عن طريق زيادة درجة تأين البلازما. ويمكن تحقيق تأين البلازما المحسّن بشكل فعال عند الاستفادة الكاملة من طاقة الإلكترونات الثانوية. وكلما زاد عدد الأيونات المنتجة، زاد عدد الذرات المقذوفة من الهدف، مما يزيد من كفاءة عملية الاخرق.
-
تحسين تأين البلازما: استخدام طاقة الإلكترونات الثانوية أمر بالغ الأهمية لتحسين تأين البلازما. وفي عملية الاصطرار المغنطروني، يمكن أن يساعد المجال المغناطيسي الإضافي تحت الهدف على تحليق الإلكترونات في مسارات حلزونية طويلة، مما يزيد من احتمال التأين. ولا يؤدي ذلك إلى معدلات رش أعلى فحسب، بل يؤدي أيضاً إلى تركيز أفضل على الهدف.
-
ضبط المعلمات الرئيسية: تشمل معلمات الاخرق المغنطروني الرئيسية كثافة طاقة الهدف وضغط الغاز ودرجة حرارة الركيزة ومعدل الترسيب. على سبيل المثال، يمكن أن يساعد تحسين كثافة طاقة الهدف في تحقيق معدل الاخرق المطلوب وجودة الفيلم. ومع ذلك، يمكن أن تؤدي كثافة طاقة الهدف الأعلى إلى زيادة معدل الاخرق ولكن قد تؤدي إلى انخفاض جودة الفيلم. وبالمثل، يمكن أن يساعد تحسين ضغط الغاز ودرجة حرارة الركيزة ومعدل الترسيب في تحقيق جودة الفيلم وخصائصه وتوحيده المرغوب فيه.
-
استخدام أنواع الطاقة المناسبة: اعتمادًا على المادة التي يتم رشها، يمكن استخدام أنواع مختلفة من الطاقة. طاقة التيار المستمر مناسبة للمواد الموصلة للتيار الكهربائي، في حين أن طاقة التردد اللاسلكي يمكن أن ترفق المواد غير الموصلة للتيار الكهربائي. يتميز التيار المستمر النبضي بمزايا لبعض العمليات مثل الاخرق التفاعلي.
-
الاخرق التفاعلي للأكاسيد: إذا كانت هناك حاجة إلى ترسيب الأكاسيد على الركيزة، يتم تطبيق الاخرق التفاعلي. بالإضافة إلى غاز الاخرق Argon، يتم إدخال الأكسجين في غرفة التفريغ. يتفاعل الأكسجين مع المادة المستهدفة إلى أكاسيد، مما يعزز عملية الترسيب لمواد معينة.
من خلال التركيز على هذه الاستراتيجيات، يمكن للمرء زيادة معدل الاخرق بفعالية مع الحفاظ على جودة الأغشية الرقيقة المودعة أو تحسينها.
أطلق العنان للإمكانات الكاملة لعمليات الاخرق الخاصة بك مع أدوات KINTEK SOLUTION الدقيقة والحلول المتخصصة! صُممت منتجاتنا المبتكرة لتعزيز تأين البلازما، وتحسين معلمات الاخرق الرئيسية، وتلبية احتياجات مجموعة متنوعة من المواد، من الموصلة إلى غير الموصلة. اجعل KINTEK SOLUTION شريكك في تحقيق معدلات رش أعلى وجودة فائقة للأغشية الرقيقة - أحدث ثورة في كفاءة مختبرك ومخرجاته اليوم!
