ترسيب الرذاذ هو تقنية ترسيب بالبخار الفيزيائي (PVD) تتضمن طرد الذرات من سطح المادة المستهدفة عندما تصطدم بجسيمات عالية الطاقة، وعادةً ما تكون أيونات من البلازما. وتؤدي هذه العملية إلى تكوين طبقة رقيقة على الركيزة.
ملخص كيفية عمل ترسيب الرذاذ:
يعمل ترسيب الرذاذ عن طريق إدخال غاز خاضع للتحكم، عادةً ما يكون الأرجون، في غرفة مفرغة. يتم تنشيط الكاثود داخل الحجرة كهربائيًا، مما يؤدي إلى توليد بلازما ذاتية الاستدامة. تتصادم الأيونات من البلازما مع المادة المستهدفة، مما يؤدي إلى طرد الذرات التي تنتقل بعد ذلك إلى الركيزة وتشكل طبقة رقيقة.
-
شرح مفصل:إعداد غرفة التفريغ:
-
تبدأ العملية في حجرة تفريغ الهواء حيث يتم تقليل الضغط لمنع التلوث والسماح بانتقال الجسيمات المنبثقة بكفاءة. تمتلئ الغرفة بكمية محكومة من غاز الأرجون، وهو غاز خامل ولا يتفاعل مع المادة المستهدفة.
-
إنشاء البلازما:
-
يتم تطبيق شحنة كهربائية على مهبط متصل بالمادة المستهدفة. تعمل هذه الشحنة الكهربائية على تأيين غاز الأرجون، مما يؤدي إلى تكوين بلازما تتكون من أيونات الأرجون والإلكترونات. يتم الحفاظ على البلازما من خلال التطبيق المستمر للطاقة الكهربائية.عملية الاخرق:
-
يتم تسريع أيونات الأرجون في البلازما نحو المادة المستهدفة بسبب المجال الكهربائي. وعندما تصطدم هذه الأيونات بالهدف، فإنها تنقل طاقتها إلى ذرات سطح الهدف، مما يؤدي إلى طردها أو "رشها" من السطح. هذه العملية فيزيائية، ولا تنطوي على تفاعلات كيميائية.
-
الترسيب على الركيزة:
تنتقل الذرات المقذوفة من المادة المستهدفة عبر الفراغ وتترسب على ركيزة موضوعة في مكان قريب. تتكثف الذرات وتشكل طبقة رقيقة على الركيزة. ويمكن التحكم بخصائص هذا الفيلم، مثل التوصيل الكهربائي أو الانعكاسية، من خلال ضبط معلمات العملية مثل طاقة الأيونات وزاوية السقوط وتكوين المادة المستهدفة.التحكم والتحسين:
