يتم قياس معدل تسرب التفريغ عن طريق عزل غرفة التفريغ عن نظام الضخ ومراقبة التغير في مستوى التفريغ خلال فترة محددة. يتم التعبير عن معدل التسرب عادةً بالميكرون في الساعة.
عملية القياس:
- الضخ الأولي: يتم ضخ الفرن أولًا إلى مستوى تفريغ محدد، عادةً 1 × 10^^-4 تور أو أفضل. تضمن هذه الخطوة أن يكون النظام عند مستوى تفريغ أساسي قبل العزل.
- العزل: يتم بعد ذلك عزل نظام الضخ عن حجرة الفرن. ويتم ذلك عن طريق إغلاق جميع صمامات التفريغ لمنع المزيد من حركة الضخ.
- مراقبة مستوى التفريغ: يتم تسجيل مستوى التفريغ بعد وقت محدد، عادةً بعد 30 دقيقة ومرة أخرى بعد 60 دقيقة. يسمح هذا الفاصل الزمني باكتشاف أي ارتفاع في الضغط بسبب التسريبات.
- حساب معدل التسرب: يتم حساب معدل التسرب من خلال مقارنة مستويات التفريغ المسجلة. يتم استخدام الفرق في قراءات الضغط خلال الفترة الزمنية لتحديد معدل التسرب بالميكرون في الساعة. على سبيل المثال، إذا ارتفع الضغط من 1 × 10^4 تور إلى 1.0001 × 10^4 تور في 60 دقيقة، فإن معدل التسرب سيكون (1.0001 - 1) × 10^4 ميكرون في الساعة.
الأهمية ومعايير القبول:
- التطبيقات الحرجة: بالنسبة للتطبيقات الحرجة مثل معالجة السبائك الفائقة أو المعادن المتفاعلة، يكون معدل التسرب أقل من 5 ميكرون/ساعة إلزاميًا لضمان سلامة وجودة المواد التي تتم معالجتها.
- التطبيقات العادية: بالنسبة لتطبيقات التفريغ العادية، يجب ألا يتجاوز معدل التسرب 10 - 20 ميكرون/ساعة. يمكن أن تؤدي معدلات التسرب الأعلى إلى زيادات كبيرة في محتوى الأكسجين المتبقي، مما قد يؤثر سلبًا على عملية المعالجة الحرارية.
- الفحوصات المنتظمة: يوصى بإجراء فحوصات منتظمة لمعدل التسرب للحفاظ على سلامة النظام ومنع المشكلات المتعلقة بنتائج المعالجة الحرارية السيئة بسبب ارتفاع محتوى الأكسجين.
الدقة المنهجية:
تضمن الطريقة الموصوفة قياس معدل التسرب بدقة من خلال عزل النظام والسماح للضغط بالاستقرار، مما يعكس مباشرةً معدل تسرب الهواء إلى الحجرة. وتعد هذه الطريقة ضرورية للحفاظ على كفاءة وفعالية عمليات أفران التفريغ، مما يضمن استيفاء المعدات للمواصفات اللازمة لمختلف التطبيقات.
