يتراوح الضغط المطلوب لرش الاخرق بالتيار المستمر عادةً من 0.5 ملي متر إلى 100 ملي متر.
وهذا الضغط ضروري للحفاظ على بيئة مناسبة لعملية الاخرق.
تنطوي العملية على استخدام غاز خامل عالي النقاء، عادةً الأرجون، لإنشاء بلازما تسهل ترسيب الأغشية الرقيقة.
شرح 4 عوامل رئيسية
1. الضغط الأساسي والردم
قبل بدء عملية التفريغ، يتم تفريغ غرفة التفريغ لإزالة الشوائب مثل H2O والهواء وH2 وH2 والأرغن، للوصول إلى الضغط الأساسي.
وهذا أمر بالغ الأهمية لضمان أن تكون البيئة نظيفة وملائمة لترسيب الأغشية الرقيقة عالية الجودة.
بعد الوصول إلى الضغط الأساسي، يتم ردم الغرفة بغاز خامل عالي النقاء، وعادةً ما يكون الأرجون.
ويتم اختيار الأرجون بسبب كتلته النسبية وقدرته على نقل الطاقة الحركية بفعالية أثناء التصادمات الجزيئية في البلازما.
2. ضغط التشغيل لتكوين البلازما
يتم ضبط ضغط التشغيل أثناء رش التيار المستمر على نطاق يسمح بتكوين البلازما.
وتعد هذه البلازما ضرورية لأنها تولد أيونات الغاز التي تمثل القوة الدافعة الأساسية لعملية الاخرق.
ويكون الضغط المطلوب لضرب البلازما في حدود 10^-2 إلى 10^-3 تور، وهو أعلى بكثير من الضغط الأساسي الذي يمكن تحقيقه في نظام التفريغ (غالبًا ما يصل إلى 10^-7 تور، وهو ما يصل إلى 10^-7 تور، وهو ما يعد ضروريًا لأن هذا الضغط الأعلى ضروري لأن الرش بالرش يكون في حدود 10^-7 تور، وهو ما يعني أن الضغط المطلوب هو 10^-صفر.)
وهذا الضغط الأعلى ضروري لأن الاخرق يتطلب غاز معالجة لتوفير الأيونات اللازمة لإزاحة المواد من الهدف.
3. التأثير على خصائص الغشاء الرقيق
تؤثر القاعدة وضغوط التشغيل بشكل كبير على خصائص الأغشية الرقيقة المنتجة.
على عكس التبخير الحراري أو التبخير بالحزمة الإلكترونية، الذي يمكن أن يعمل عند ضغوط منخفضة للغاية (أي 10^-8 تور)، يحتاج الرش بالتبخير إلى مستوى معين من ضغط الغاز للحفاظ على البلازما والقصف الأيوني للمادة المستهدفة.
ويضمن نطاق الضغط هذا أن الأيونات لديها طاقة وكثافة كافية لقصف المادة المستهدفة بفعالية على الركيزة.
4. التحكم في الضغط والحفاظ عليه
يتم تحقيق ضغط التشغيل المرغوب في الغرفة باستخدام مجموعة من مضخات التفريغ، وعادةً ما تكون مضخة تفريغ دوارة ثنائية المراحل أو مضخة جزيئية توربينية مدعومة بمضخة دوارة.
يتم إدخال غاز الأرجون بعناية في الحجرة من خلال صمام تحكم دقيق، مما يسمح بضبط الضغط بدقة إلى النطاق المطلوب لتحقيق الرش الفعال.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
استمتع بتجربة ترسيب الأغشية الرقيقة التي لا مثيل لها مع أنظمة الرش الرقيق المتطورة من KINTEK SOLUTION.
تضمن معداتنا المصممة بدقة، والمُحسّنة لإعدادات الضغط بين 0.5 ملي متر إلى 100 ملي متر من الضغط، بيئة رشّ نظيفة وفعالة وعالية التحكم.
ارفع مستوى عمليات البحث والتصنيع لديك اليوم مع KINTEK SOLUTION - حيث يمكن للضغط المناسب أن يحول نتائج الأغشية الرقيقة الخاصة بك!
اكتشف الفرق في الأداء والجودة من خلال حلولنا المتطورة في مجال الاخرق.
اتصل بنا الآن للحصول على استشارة!
