تتراوح سماكة طلاء الذهب الرذاذ عادةً من 2 إلى 20 نانومتر لتطبيقات SEM. يتم تطبيق هذا الطلاء الرقيق للغاية على العينات غير الموصلة أو ضعيفة التوصيل لمنع الشحن وتعزيز نسبة الإشارة إلى الضوضاء عن طريق زيادة انبعاث الإلكترونات الثانوية.
الشرح التفصيلي:
-
الغرض والتطبيق:
-
يُستخدم طلاء الذهب الرذاذ في المقام الأول في الفحص المجهري الإلكتروني بالمسح الضوئي (SEM) لتغليف العينات غير الموصلة أو ضعيفة التوصيل. يعد هذا الطلاء ضروريًا لأنه يمنع تراكم المجالات الكهربائية الساكنة على العينة، والتي يمكن أن تتداخل مع عملية التصوير. وبالإضافة إلى ذلك، يزيد الطلاء المعدني من انبعاث الإلكترونات الثانوية من سطح العينة، مما يحسن من وضوح الصور الملتقطة بواسطة SEM.نطاق السُمك:
-
- تشير المواد المرجعية إلى أن السُمك النموذجي لأغشية الذهب المنبثقة لأغراض SEM يتراوح بين 2 و20 نانومتر. يتم اختيار هذا النطاق لضمان أن يكون الطلاء رقيقًا بما يكفي لعدم حجب التفاصيل الدقيقة للعينة ولكن سميكًا بما يكفي لتوفير توصيل كهربائي كافٍ وانبعاث إلكترون ثانوي.
- أمثلة وتقنيات محددة:
-
في أحد الأمثلة، تم طلاء رقاقة مقاس 6 بوصة ب 3 نانومتر من الذهب/البلاديوم (Au/Paladium) باستخدام جهاز طلاء الرقاقة SC7640 Sputter Coater. كانت الإعدادات المستخدمة هي 800 فولت و12 مللي أمبير مع غاز الأرجون وتفريغ 0.004 بار. وُجد أن هذا الطلاء كان متساويًا عبر الرقاقة بأكملها.مثال آخر يتضمن ترسيب فيلم بلاتينيوم 2 نانومتر على فيلم فورمفار مطلي بالكربون، باستخدام جهاز الطلاء بالرشاش SC7640 أيضًا. كانت الإعدادات 800 فولت و10 مللي أمبير مع غاز الأرجون وتفريغ 0.004 بار.
-
التفاصيل التقنية والصيغ:
يمكن حساب سُمك طلاء Au/Pd باستخدام المعادلة:
[Th = 7.5 I t]
