الاخرق هو نوع من الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD). تنطوي هذه العملية على استخدام جسيمات عالية الطاقة لضرب الذرات من مادة مصدر، والتي يتم ترسيبها بعد ذلك على ركيزة لتشكيل طبقة رقيقة.
شرح عملية الترسيب بالترسيب بالبخار الفيزيائي بالتقنية الفيزيائية:
الترسيب الفيزيائي بالبخار الفيزيائي (PVD) هو طريقة تُستخدم لترسيب أغشية رقيقة من المواد على ركيزة. في هذه العملية، توضع المادة المستهدفة، والتي عادةً ما تكون معدنًا صلبًا أو مادة مركبة، في حجرة تفريغ. ثم يتم تفريغ الغرفة لخلق بيئة مفرغة من الهواء. يتم توليد بلازما الأرجون داخل الغرفة، وتستخدم هذه البلازما لقصف المادة المستهدفة بأيونات عالية الطاقة. ويتسبب هذا القصف في قذف ذرات من المادة المستهدفة أو "رشها" ثم تترسب هذه الذرات على الركيزة مكونة طبقة رقيقة.مقارنة مع ترسيب البخار الكيميائي (CVD):
في حين أن كلاً من الترسيب بالتفريغ الفيزيئي بالتقنية الفيزيائية والترسيب الكيميائي بالتقنية CVD هما طريقتان تستخدمان لترسيب الأغشية الرقيقة، إلا أنهما تختلفان في نهجهما. تستخدم CVD سلائف متطايرة لترسيب مادة مصدرية غازية على سطح الركيزة من خلال تفاعل كيميائي يبدأ بالحرارة أو الضغط. وعلى النقيض من ذلك، ينطوي التفريغ القابل للتفريغ الفيزيائي بالتقنية الفيزيائية على طرق فيزيائية لترسيب الأغشية الرقيقة على الركيزة، مثل تسخين المادة فوق درجة انصهارها لتوليد أبخرة أو استخدام طرق مثل الرش بالرش لقذف الذرات من المادة المصدر.
تطبيقات الاخرق:
