تقدم تقنية الترسيب الكيميائي للبخار CVD (الترسيب الكيميائي للبخار) العديد من المزايا مقارنةً بالترسيب الفيزيائي للبخار PVD (الترسيب الفيزيائي للبخار) ويرجع ذلك في المقام الأول إلى خصائص العملية وطبيعة الطلاءات التي يمكن أن تنتجها. وتشمل هذه المزايا القدرة على العمل تحت ضغوط أعلى، والقدرة على ترسيب أغشية مطابقة على الأسطح غير المنتظمة، وإنتاج طلاءات عالية الجودة وموحدة. بالإضافة إلى ذلك، يمكن أن تتعامل تقنية CVD مع مواد مثل Al2O3 التي يصعب معالجتها بالطرق التقليدية للتقنية البفديوية البصرية.
ارتفاع ضغط التشغيل وانخفاض تكاليف المعدات:
تعمل عمليات التفريغ القابل للقطع CVD عند ضغوط أعلى بكثير مقارنةً بالتفريغ بالبطاريات بالبطاريات البولي فينيل فوسفاتية، مما يلغي الحاجة إلى مضخات التفريغ العالية. يمكن أن يؤدي هذا الانخفاض في متطلبات تقنية التفريغ إلى انخفاض تكاليف المعدات، خاصةً إذا كان النظام لا يحتاج إلى بنية تحتية واسعة النطاق لإدارة الغازات للتعامل مع الغازات السامة.ترسيب الغشاء المطابق على الأسطح غير المنتظمة:
إن الضغط العالي وخصائص التدفق الصفحي للـ CVD تمكنه من ترسيب الأغشية التي لا تحتاج إلى أن تكون في خط الرؤية. وتسمح هذه الميزة لل CVD بتغليف الركائز ذات الأسطح غير المنتظمة أو الركائز المعبأة بكثافة بشكل موحد. على عكس تقنية CVD، التي غالبًا ما ينتج عنها طلاءات غير متساوية بسبب طبيعتها الاتجاهية، يمكن أن تقوم CVD بتغطية جميع الأجزاء المكشوفة من بنية ثلاثية الأبعاد معقدة بالتساوي.
إنتاج طلاءات موحدة عالية الجودة:
تتفوق تقنية CVD في إنتاج طلاءات ذات تطابق ممتاز. ويمكنه طلاء الهياكل ثلاثية الأبعاد المعقدة بشكل موحد، وهي ميزة كبيرة مقارنةً بنهج خط الرؤية الذي تتبعه تقنية CVD. الطلاء المتساوي الذي تنتجه CVD ليس له تأثيرات اتجاهية، مما يضمن تغطية عالية الجودة وموحدة.التعامل مع مواد محددة مثل Al2O3:
تتمتع تقنية CVD بميزة في معالجة مواد مثل Al2O3 التي تتمتع بثبات فيزيائي وكيميائي جيد جدًا وصلابة ومقاومة للتآكل وتكلفة منخفضة. وتجعل هذه الخصائص من Al2O3 مادة طلاء مرغوب فيها، كما أن معالجتها أكثر جدوى باستخدام تقنية CVD مقارنةً بالتقنية التقليدية PVD نظرًا لقيود عملية التصنيع الخاصة بالتقنية التقليدية PVD.
