توفر بلازما الميكروويف العديد من الفوائد، خاصة في عمليات مثل الترسيب الكيميائي للبخار بالبلازما بالموجات الدقيقة (MPCVD) وتقنيات الرش بالموجات الدقيقة.
7 مزايا بلازما الموجات الدقيقة
1. كفاءة الطاقة والتشغيل بدون أقطاب كهربائية
بلازما الميكروويف هي عملية بدون أقطاب كهربائية.
وهذا يعني أنها لا تحتاج إلى أقطاب كهربائية لتوليد البلازما.
وهذا يلغي تكوين غلاف بلازما حول الأقطاب الكهربائية، وهو ما يمكن أن يستهلك الطاقة في عملية التفكيك القابل للذوبان في البلازما بمساعدة التيار المباشر.
هذه الطبيعة الخالية من الأقطاب الكهربائية تجعل العملية أكثر كفاءة في استخدام الطاقة وتقلل من تعقيد الإعداد.
2. الاستقرار وقابلية التكرار
تتميز البلازما غير الحرارية المتولدة من طاقة الموجات الدقيقة بالاستقرار وقابلية التكرار.
يسمح هذا الاستقرار بعمليات ترسيب مستمرة يمكن أن تستمر لعدة ساعات أو حتى أيام دون انقطاع.
وهذا أمر بالغ الأهمية للتطبيقات التي تتطلب عمليات إنتاج واسعة النطاق أو طويلة الأمد.
3. قابلية التوسع والنمطية
يسهّل توافر إمدادات طاقة الموجات الدقيقة وأجهزة التطبيق التي تعمل بالموجات الدقيقة بقدرة 1-2 كيلوواط استخدام الوحدات المعيارية.
يتناسب معدل النمو في تقنية MPCVD مع طاقة الموجات الدقيقة.
وهذا يعني أن زيادة الطاقة يمكن أن يؤدي إلى توسيع نطاق العملية.
وتعد قابلية التوسع هذه مفيدة لتوسيع الإنتاج إلى ركائز أكبر أو أحجام أكبر.
4. تعزيز كثافة البلازما والتحكم فيها
يؤدي استخدام تعزيز المغنطرون في أنظمة البلازما بالموجات الدقيقة إلى تفريغ تيار كهربائي أقل وأعلى مقارنةً بطرق الرش بالمغناطيسية القياسية.وينتج عن ذلك كثافة أعلى من الأنواع المتأينة، مما يؤدي إلى زيادة سرعة رش المواد المستهدفة.توفر مصادر الطاقة الحديثة المستخدمة في هذه الأنظمة درجة عالية من الاستقرار والتحكم. وهذا يجعل عمليات البلازما والطلاء سهلة التنظيم وقابلة للتطوير إلى أحجام كبيرة جدًا.
