الرذاذ بالحزمة الأيونية (IBS) هو تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة عالية الدقة مع تطبيقات في مجالات مختلفة، بما في ذلك البصريات الدقيقة وإنتاج أشباه الموصلات وإنشاء أغشية النيتريد. وتتضمن العملية تركيز شعاع أيوني على مادة مستهدفة، والتي تتناثر بعد ذلك على ركيزة مما ينتج عنه أغشية عالية الجودة وكثيفة.
البصريات الدقيقة:
يعد رش الحزمة الأيونية أمرًا بالغ الأهمية في إنتاج البصريات الدقيقة. فهو يسمح بترسيب أغشية رقيقة ذات تجانس وكثافة استثنائية، وهو أمر ضروري لتطبيقات مثل العدسات وطلاءات قضبان الليزر. يمكّن التحكم الدقيق الذي يوفره IBS الشركات المصنعة من تحقيق دقة على المستوى الذري في إزالة وترسيب الطبقات السطحية، مما يعزز الخصائص البصرية للمكونات.إنتاج أشباه الموصلات:
في صناعة أشباه الموصلات، تلعب تقنية IBS دورًا حيويًا في ترسيب الأغشية التي تعتبر حاسمة لأداء الجهاز. وتُستخدم هذه التقنية لترسيب الأفلام ذات القياس التكافؤي المتحكم فيه، والتي يمكن أن تعزز الخصائص الكهربائية والميكانيكية لمواد أشباه الموصلات. على سبيل المثال، يمكن أن يؤدي استخدام أيونات O2+ وA+ Ar+ أثناء الترسيب إلى تعديل خصائص الأفلام مثل الكثافة والبنية البلورية، مما يحسن وظائف الجهاز بشكل عام.
أفلام النيتريد:
يتم استخدام IBS أيضًا في إنشاء أفلام النيتريد، والتي تعتبر ضرورية في مختلف التطبيقات الصناعية نظرًا لصلابتها ومقاومتها للتآكل. وتسمح هذه العملية بالتحكم الدقيق في خصائص الأغشية، مثل السُمك والتركيب، وهو أمر بالغ الأهمية لتحقيق خصائص الأداء المطلوبة في التطبيقات التي تتراوح بين الطلاءات المقاومة للتآكل والأجهزة الإلكترونية.تطبيقات أخرى:
بالإضافة إلى ذلك، تُستخدم تقنية IBS في الفحص المجهري الإلكتروني الميداني وحيود الإلكترون منخفض الطاقة وتحليل أوجيه حيث يكون إنشاء سطح نظيف ومحدد جيدًا أمرًا بالغ الأهمية. كما تعزز قدرة هذه التقنية على ترسيب الأغشية ذات الطاقة الحركية العالية من قوة الترابط للطلاء، مما يجعلها مثالية للتطبيقات التي تتطلب التصاقًا قويًا ومتانة.
