تشمل المعلمات الرئيسية لعملية الاخرق طاقة وسرعة الأيونات والقدرة والضغط وحجم الهدف والمواد المستخدمة ونوع الطاقة المستخدمة (تيار مستمر أو ترددات لاسلكية أو تيار مستمر نابض) وضغط الغاز الخلفي ونوعه وزاوية السقوط والمسافة بين الركيزة والهدف.
-
طاقة وسرعة الأيونات: تتطلب عملية الاخرق أيونات ذات طاقة كافية لطرد الذرات من المادة المستهدفة. ويتم تحديد التفاعل بين الأيونات والهدف من خلال سرعة الأيونات وطاقتها. يمكن للمجالات الكهربائية والمغناطيسية التحكم في هذه البارامترات، مما يؤثر على كفاءة عملية الاخرق.
-
الطاقة والضغط: تتحكم هذه المعلمات في الضغط ومعدل الترسيب. يمكن أن تزيد الطاقة الأعلى من معدل الترسيب ولكنها قد تزيد أيضًا من الضغوط المتبقية على الركيزة. ويؤثر الضغط على توزيع الطاقة للجسيمات المرشوشة وتوحيد الترسيب.
-
حجم الهدف والمواد: تسهل الأهداف الأكبر حجمًا توحيدًا أفضل وتحكمًا أسهل في سمك الفيلم. ومع ذلك، فإن مادة الهدف محدودة بسبب درجة حرارة انصهارها، والتي يمكن أن تؤثر على نقاء وخصائص الفيلم المنبثق.
-
نوع الطاقة المستخدمة: طاقة التيار المستمر مناسبة للمواد الموصلة للتيار المستهدف، في حين أن طاقة التردد اللاسلكي يمكن أن تخرق المواد غير الموصلة. يعتبر التيار المستمر النبضي مفيدًا لعمليات مثل الاخرق التفاعلي، مما يسمح بترسيب أكثر تحكمًا وفعالية.
-
ضغط الغاز الخلفي ونوعه: يمكن أن يؤثر اختيار غاز الاخرق (غالباً الغازات الخاملة مثل الأرجون) وضغطه بشكل كبير على عملية الاخرق. يجب أن يكون الوزن الذري للغاز قريبًا من وزن الهدف لنقل الزخم بكفاءة. ويؤدي ارتفاع ضغط الغاز إلى زيادة الحركة الحرارية للجسيمات المرشوشة مما يؤثر على البنية المجهرية للفيلم.
-
زاوية السقوط: تؤثر الزاوية التي تصطدم بها الأيونات بالهدف على مردود الرش وتوزيع المادة المرشوشة. وعادةً ما تؤدي الزاوية الأكثر عمودية إلى زيادة إنتاجية الاخرق.
-
المسافة بين الركيزة والهدف: تؤثر هذه المسافة على طاقة واتجاه الذرات المنبثقة التي تصل إلى الركيزة، مما يؤثر على سمك الفيلم وتوحيده.
وتحدد هذه المعلمات مجتمعةً كفاءة وجودة وخصائص الفيلم المرشوش، مما يجعل الرش بالمبخرة تقنية ترسيب معقدة ولكن يمكن التحكم فيها بدرجة كبيرة.
اكتشف الحلول المتقدمة لاحتياجاتك من الرذاذ مع KINTEK SOLUTION. تضمن معداتنا وموادنا المتطورة تحكمًا دقيقًا في المعلمات المعقدة لعملية الرش بالمبخر، بدءًا من تحسين الطاقة والضغط إلى المواد المستهدفة وتعديلات الزاوية. ثق في KINTEK SOLUTION لرفع جودة وكفاءة ترسيب الأفلام لديك، مما يؤدي إلى الابتكار في مختبرك. اتصل بنا اليوم وأطلق العنان للإمكانات الكاملة لتقنية الاخرق لديك!
