تُعد أهداف الاخرق مكونات حاسمة في عمليات ترسيب الأغشية الرقيقة، ومواصفاتها أكثر صرامة بكثير من مواصفات المواد التقليدية.وتتضمن هذه المواصفات الحجم والتسطيح والنقاء ومحتوى الشوائب والكثافة وحجم الحبيبات والتحكم في العيوب.بالإضافة إلى ذلك، لها متطلبات عالية أو خاصة مثل خشونة السطح والمقاومة وتوحيد حجم الحبيبات وتوحيد التركيب والأنسجة ومحتوى الأكسيد وحجمه والنفاذية المغناطيسية والكثافة العالية جدًا والحبيبات فائقة الدقة.يمكن أن يختلف شكل أهداف الاخرق مع كون الأهداف المسطحة والأسطوانية هي الأكثر شيوعًا، وغالبًا ما يتضمن تصميمها حاملًا معدنيًا مزودًا بقنوات تبريد مائية.وتعد جودة هذه الأهداف أمرًا بالغ الأهمية، حيث يمكن أن تؤدي الشوائب أو الحبيبات الكبيرة أو الأسطح الخشنة إلى حدوث عيوب في الطبقة الرقيقة.تحتوي مواد معينة، مثل أهداف رش البلاتين (Pt)، على مجموعة فريدة من المواصفات الخاصة بها، بما في ذلك نوع المادة والوزن الذري والتوصيل الحراري ونقطة الانصهار وغير ذلك.
شرح النقاط الرئيسية:
-
الحجم والشكل:
- الأهداف المسطحة:أسهل وأرخص في الاستبدال، ويشيع استخدامها في أنظمة الاخرق المختلفة.
- الأهداف الأسطوانية/الدائرية الشكل:مطلوبة لتصاميم غرف معينة، وأكثر تكلفة بسبب شكلها المعقد.
- حامل معدني:غالبًا ما يتم ربط الأهداف بحامل معدني يتضمن قنوات تبريد مائية لإدارة الحرارة أثناء عملية الاخرق.
-
جودة المواد:
- النقاء:النقاء العالي ضروري لمنع حدوث عيوب في الفيلم الرقيق.يمكن أن تؤدي الشوائب إلى ضعف خصائص الفيلم.
- حجم الحبيبات:يفضل استخدام الحبيبات الصغيرة لأن الحبيبات الكبيرة يمكن أن تؤثر سلباً على خصائص الفيلم.
- حالة السطح:الأسطح الملساء ضرورية؛ فالأسطح الخشنة يمكن أن تسبب عيوبًا في الفيلم.
-
الخواص الفيزيائية والكيميائية:
- الكثافة:غالبًا ما تكون الكثافة العالية جدًا مطلوبة لضمان سلامة المادة المستهدفة أثناء عملية الاخرق.
- التحكم في العيوب:تقليل العيوب إلى الحد الأدنى أمر بالغ الأهمية لمنع التلوث وضمان وجود أغشية رقيقة عالية الجودة.
- التركيب وتوحيد الأنسجة:التركيبة الموحدة وهيكل الأنسجة ضروريان لترسيب غشاء متناسق.
-
المتطلبات الخاصة:
- خشونة السطح:خشونة السطح المنخفضة أمر حيوي لتجنب عيوب الغشاء.
- المقاومة:قد تكون هناك حاجة إلى مستويات مقاومة محددة اعتمادًا على التطبيق.
- انتظام حجم الحبيبات:يضمن حجم الحبيبات الموحد خصائص غشاء متناسقة.
- محتوى الأكسيد وحجمه:من الضروري التحكم في محتوى الأكسيد وحجمه للحفاظ على جودة الفيلم.
- النفاذية المغناطيسية:قد تتطلب بعض التطبيقات خواص مغناطيسية محددة.
- الحبيبات فائقة النعومة:غالبًا ما تكون الحبيبات الدقيقة للغاية ضرورية للتطبيقات عالية الأداء.
-
مثال لمواد محددة - أهداف رش البلاتين (Pt):
- نوع المادة:البلاتين
- الرمز:نقطة
- الوزن الذري:195.084
- الرقم الذري: 78
- اللون/المظهر:رمادي معدني
- الموصلية الحرارية:: 72 واط/م.كلفن
- نقطة الانصهار:1,772°C
- معامل التمدد الحراري:: 8.8 × 10-6/ك
- الكثافة النظرية:: 21.45 جم/سم مكعب
- نسبة Z:0.245
- الرذاذ:تيار مستمر
- كثافة الطاقة القصوى:100 واط/بوصة مربعة
- نوع الرابطة:إنديوم، إيلاستومر
- تعليقات إضافية:خلائط البلاتين مع المعادن الأخرى، والأفلام المصنوعة منه لينة مع ضعف الالتصاق.
-
عوامل الفعالية:
- التركيب:تلعب تركيبة المادة دورًا مهمًا في فعاليتها.
- نوع الأيونات:يمكن أن يؤثر نوع الأيونات المستخدمة في تكسير المادة المستهدفة على عملية الرش بالأخرق وجودة الفيلم الناتج.
وباختصار، يجب أن تفي أهداف الاخرق بمجموعة واسعة من المواصفات الصارمة لضمان ترسيب الأغشية الرقيقة عالية الجودة.وتغطي هذه المواصفات الأبعاد الفيزيائية وجودة المواد والمتطلبات الخاصة المختلفة التي تعتبر حاسمة لأداء وموثوقية عملية الرش بالأخرق.مواد معينة، مثل البلاتين، لها مجموعة فريدة من الخصائص الخاصة بها والتي يجب التحكم فيها بعناية لتحقيق خصائص الفيلم المطلوبة.
جدول ملخص:
| المواصفات | التفاصيل |
|---|---|
| الحجم والشكل | أشكال مسطحة أو أسطوانية؛ حاملات معدنية مزودة بقنوات تبريد مائية. |
| جودة المواد | نقاوة عالية، وحجم حبيبات صغير، وأسطح ملساء. |
| الخصائص الفيزيائية | كثافة عالية للغاية، والتحكم في العيوب، والتركيب الموحد. |
| المتطلبات الخاصة | خشونة سطح منخفضة، ومحتوى أكسيد مضبوط، وحبيبات فائقة الدقة. |
| مثال البلاتين (Pt) | الموصلية الحرارية العالية، نقطة الانصهار: 1,772 درجة مئوية، الكثافة النظرية: 21.45 جم/سم مكعب. |
هل تحتاج إلى أهداف رش عالية الجودة مصممة خصيصًا لتلبية احتياجاتك؟ اتصل بنا اليوم للحصول على إرشادات الخبراء!