معدات MOCVD هي أداة متخصصة تستخدم لترسيب المواد الرقيقة أحادية البلورة.
وتستخدم في المقام الأول في تصنيع أشباه الموصلات المركبة.
وتعمل هذه العملية من خلال عملية الترسيب في طور البخار باستخدام مركبات معدنية عضوية وهيدريدات كمواد مصدرية.
ما هي معدات MOCVD؟ 4 نقاط أساسية يجب فهمها
1. المواد المصدر والعملية
يستخدم MOCVD مركبات عضوية من عناصر المجموعة الثالثة والثانية.
ويستخدم أيضًا هيدريدات عناصر المجموعة الخامسة والسادسة.
يتم إدخال هذه المواد في غرفة التفاعل حيث تخضع للتحلل الحراري.
ويؤدي التحلل إلى ترسيب العديد من أشباه الموصلات المركبة من المجموعة الخامسة والسادسة ومحاليلها الصلبة متعددة الطبقات كمواد رقيقة أحادية البلورة على الركيزة.
2. المنهجية والوظائف
تتضمن عملية MOCVD استخدام مركبات معدنية عضوية كسلائف.
ويتم إدخال هذه السلائف في غرفة التفاعل.
وهي إما تتحلل حراريًا أو يتم تنشيطها بوسائل أخرى مثل البلازما أو الضوء.
ويتفاعل المركز المعدني مع جزيئات السلائف الأخرى أو الركيزة لتكوين المادة المطلوبة.
ويتم إطلاق الروابط العضوية كمنتجات ثانوية.
وتسمح هذه الطريقة بالتحكم الدقيق في التركيب ومستويات التخدير في الأغشية المودعة.
وهي مفيدة بشكل خاص للتطبيقات التي تتطلب دقة وجودة عالية.
3. التطبيق والتحكم
تُستخدم تقنية MOCVD على نطاق واسع في إنتاج أجهزة مثل مصابيح LED عالية السطوع (HBLEDs) وغيرها من أجهزة أشباه الموصلات المركبة.
ويتم التحكم في العملية من خلال أدوات متطورة تراقب وتضبط المعلمات مثل درجة حرارة حامل الرقاقة/فتحة الرقاقة، وسمك الفيلم، وإجهاد الفيلم/انحناء الرقاقة، وقياسات السطح.
تضمن هذه التغذية الراجعة في الوقت الحقيقي إنتاجية عالية وقابلية للتكرار، وهو أمر بالغ الأهمية للتطبيقات الصناعية.
4. الميزات التقنية
على عكس التقنيات الأخرى للتقنية CVD، يقوم MOCVD بإدخال المواد المتفاعلة عبر فقاعات.
يمرر الفقاعة الغاز الناقل عبر سائل معدني عضوي ساخن.
تضمن هذه الطريقة التحكم في تركيز مصدر MO وقابليته للتكرار.
وتعزز كفاءة وموثوقية عملية الترسيب.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اكتشف التكنولوجيا المتطورة وراء معدات MOCVD وارتقِ بتصنيع أشباه الموصلات إلى آفاق جديدة.
تقدم شركة KINTEK SOLUTION أنظمة MOCVD المصممة بدقة تمكنك من ترسيب أشباه الموصلات المركبة عالية الجودة بكفاءة لا مثيل لها.
انضم إلى رواد تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة واستكشف مجموعتنا الشاملة من معدات MOCVD اليوم.
اتصل بنا للحصول على استشارة مجانية ورفع مستوى عمليات أشباه الموصلات لديك إلى دقة وأداء لا مثيل لهما.
