معدات MOCVD هي أداة متخصصة تُستخدم لترسيب المواد الرقيقة أحادية البلورة، في المقام الأول في تصنيع أشباه الموصلات المركبة. وتعمل هذه الأداة من خلال عملية تلبيد المرحلة البخارية باستخدام مركبات معدنية عضوية وهيدريدات كمواد مصدرية.
ملخص معدات MOCVD:
صُممت معدات MOCVD (الترسيب الكيميائي المعدني العضوي بالبخار) لنمو أشباه الموصلات المركبة ومحاليلها الصلبة متعددة الطبقات. وهي تستخدم المركبات المعدنية العضوية والهيدريدات كمواد مصدرية، والتي تتحلل حرارياً في عملية إبيتاكس في طور البخار لترسيب طبقات رقيقة أحادية البلورة على ركيزة.
-
شرح تفصيلي:المواد المصدرية والعملية:
-
يستخدم MOCVD مركبات عضوية من عناصر المجموعة الثالثة والثانية، إلى جانب هيدريدات عناصر المجموعة الخامسة والسادسة. يتم إدخال هذه المواد في غرفة التفاعل حيث تخضع للتحلل الحراري. ويؤدي التحلل إلى ترسيب العديد من أشباه الموصلات المركبة من المجموعتين الخامسة والسادسة ومحاليلها الصلبة متعددة الطبقات كمواد رقيقة أحادية البلورة على الركيزة.
-
المنهجية والوظيفة:
-
تتضمن عملية MOCVD استخدام مركبات معدنية عضوية كسلائف يتم إدخالها في غرفة التفاعل. وهنا، يتم تحللها حراريًا أو تنشيطها بوسائل أخرى مثل البلازما أو الضوء. يتفاعل المركز المعدني مع جزيئات السلائف الأخرى أو الركيزة لتكوين المادة المطلوبة، بينما يتم إطلاق الروابط العضوية كمنتجات ثانوية. وتسمح هذه الطريقة بالتحكم الدقيق في التركيب ومستويات التخدير في الأغشية المودعة، مما يجعلها مفيدة بشكل خاص للتطبيقات التي تتطلب دقة وجودة عالية.التطبيق والتحكم:
تُستخدم تقنية MOCVD على نطاق واسع في إنتاج أجهزة مثل مصابيح LED عالية السطوع (HBLEDs) وغيرها من أجهزة أشباه الموصلات المركبة. ويتم التحكم في العملية من خلال أدوات متطورة تراقب وتضبط المعلمات مثل درجة حرارة حامل الرقاقة/فتحة الرقاقة، وسمك الفيلم، وإجهاد الفيلم/انحناء الرقاقة، وقياسات السطح. تضمن هذه التغذية الراجعة في الوقت الحقيقي إنتاجية عالية وقابلية للتكرار، وهو أمر بالغ الأهمية للتطبيقات الصناعية.
الميزات التقنية:
