يشير الضغط الجزئي في فرن التفريغ إلى الضغط الذي تمارسه الغازات المنفردة داخل الفرن عندما ينخفض الضغط الكلي بشكل كبير، وعادةً ما يكون الضغط الكلي إلى مستويات أقل بكثير من الضغط الجوي. في فرن التفريغ، الهدف هو خلق بيئة يتم فيها تقليل الضغط الجزئي للغازات التفاعلية مثل الأكسجين وبخار الماء لمنع أكسدة السطح وتعزيز تحلل الأكاسيد الموجودة على المكونات التي تتم معالجتها.
ملخص الإجابة:
الضغط الجزئي في فرن التفريغ هو الضغط الذي تمارسه الغازات المنفردة، خاصةً الأكسجين وبخار الماء، عندما ينخفض الضغط الكلي للفرن بشكل كبير. ويساعد هذا التخفيض في منع أكسدة السطح ويسهل تحلل الأكاسيد الموجودة على المكونات التي تتم معالجتها.
-
شرح تفصيلي:تخفيض الضغط الجزئي للهواء المتبقي:
-
في فرن التفريغ، الذي يعمل في منطقة التفريغ المتوسط العالي، ينخفض الضغط الجزئي للهواء المتبقي، الذي يشمل الأكسجين وبخار الماء، بشكل كبير. وهذا الانخفاض مهم للغاية لأنه يخلق بيئة يمكن فيها معالجة المكونات بأقل قدر من الأكسدة السطحية أو بدونها. الأكسدة مشكلة شائعة في العمليات ذات درجات الحرارة العالية، ويساعد تقليل وجود الأكسجين من خلال ظروف التفريغ في الحفاظ على سلامة المواد.
-
تحلل الأكاسيد الموجودة:
-
لا يمنع الضغط الجزئي المخفض تكوين أكاسيد جديدة فحسب، بل يساعد أيضًا في تحلل الأكاسيد الموجودة على سطح المكونات. تعتمد هذه العملية بشكل كبير على درجة الحرارة ونوع المادة التي تتم معالجتها. يمكن لدرجات الحرارة المرتفعة وخصائص المواد المحددة أن تعزز فعالية تحلل الأكسيد في ظل ظروف التفريغ.التحكم في مستويات التفريغ والحفاظ عليها:
صُمم فرن التفريغ للحفاظ على مستويات ضغط دقيقة، والتي يمكن أن تتراوح من حوالي 500 ميكرون في بعض العمليات إلى أقل من 10-4 TORR في عمليات التفريغ العالية. يستخدم الفرن مزيجًا من مضخات الانتشار عالية السرعة ومضخات التفريغ ذات الريشة الدوارة لتحقيق هذه الضغوط المنخفضة والحفاظ عليها. تم تجهيز النظام بمقاييس تفريغ وآليات تحكم لضمان بقاء الضغط ضمن النطاق المطلوب. إذا انحرف الضغط عن نقطة الضبط، يتم إيقاف برنامج درجة الحرارة مؤقتًا حتى يتم تصحيح الضغط.
