الرش بالرش هو تقنية ترسيب فيزيائي للبخار (PVD) تُستخدم لترسيب أغشية رقيقة من المواد على الركائز. وهي تنطوي على طرد الذرات من مادة مستهدفة بسبب قصفها بجسيمات عالية الطاقة، وهي عادةً جزيئات غاز مؤينة، في غرفة مفرغة من الهواء. ثم تلتصق هذه الذرات المقذوفة بالركيزة مكونة طبقة رقيقة وموحدة وقوية.
ملخص الإجابة:
الاصطرار هو تقنية ترسيب غشاء رقيق حيث يتم طرد الذرات من مادة مستهدفة بواسطة قصف جسيمات عالية الطاقة ثم ترسيبها على ركيزة. هذه العملية مهمة للغاية في صناعات مثل أشباه الموصلات ومحركات الأقراص والأقراص المدمجة والأجهزة البصرية.
-
شرح مفصل:آلية الاخرق:
-
يعمل الاخرق على مبدأ PVD، حيث يتم ضرب سطح المادة (الهدف) بجسيمات عالية الطاقة. يتم إدخال هذه الجسيمات، التي غالبًا ما تكون جزيئات غاز مؤينة مثل الأرجون، في غرفة مفرغة من الهواء ويتم تنشيطها بواسطة مهبط لتكوين بلازما. تكون المادة المستهدفة جزءًا من المهبط، وعندما تصطدم بها أيونات من البلازما، تتحرك ذراتها بسبب انتقال الزخم.
-
العملية في غرفة التفريغ:
-
تحدث العملية في بيئة محكومة حيث يتم إدخال غاز (عادةً الأرجون) في غرفة تفريغ. ويؤدي إنشاء بلازما من خلال التنشيط الكهربائي للكاثود إلى تسهيل قصف المادة المستهدفة. وتنتقل الذرات المقذوفة عبر الحجرة وتترسب على ركيزة مكونة طبقة رقيقة. ويتميز هذا الفيلم بترابطه القوي على المستوى الذري مع الركيزة وتوحيده.الأنواع والتطبيقات:
تتنوع تقنيات الرش بالمغناطيسية، مع كون الرش المغنطروني طريقة شائعة. تستخدم هذه التقنية مجالاً مغناطيسياً لتعزيز تأين الغاز وزيادة كفاءة عملية الاخرق. يُستخدم الاخرق على نطاق واسع في تطبيقات مختلفة بما في ذلك ترسيب الأغشية الرقيقة على مواد مثل الزجاج والمعادن وأشباه الموصلات. ويستخدم أيضًا في التجارب التحليلية والحفر الدقيق وتصنيع الطلاءات البصرية وتطبيقات علوم النانو.
الفوائد البيئية والاقتصادية:
