الاخرق هو عملية ترسيب الأغشية الرقيقة المستخدمة في مختلف الصناعات، بما في ذلك أشباه الموصلات، حيث تلعب دوراً حاسماً في تصنيع الأجهزة. تتضمن العملية قذف الذرات من مادة مستهدفة على ركيزة بسبب قصفها بجسيمات عالية الطاقة، مما يؤدي إلى تكوين طبقة رقيقة.
ملخص الإجابة:
الرش بالرش هو تقنية ترسيب فيزيائي للبخار (PVD) تُستخدم لترسيب أغشية رقيقة من المواد على الركائز. وتعمل هذه التقنية عن طريق إنشاء بلازما غازية وتسريع الأيونات من هذه البلازما إلى المادة المستهدفة، مما يتسبب في تآكل المادة المستهدفة وقذفها كجسيمات متعادلة. ثم تترسب هذه الجسيمات على ركيزة قريبة، مكونة طبقة رقيقة. وتستخدم هذه العملية على نطاق واسع في صناعة أشباه الموصلات لترسيب مواد مختلفة على رقائق السيليكون، كما أنها تستخدم في التطبيقات البصرية وغيرها من الأغراض العلمية والتجارية.
-
الشرح التفصيلي:نظرة عامة على العملية:
-
تبدأ عملية الاخرق بتكوين بلازما غازية، عادةً باستخدام غاز مثل الأرجون. ثم يتم تأيين هذه البلازما، ويتم تسريع الأيونات نحو المادة المستهدفة. ويتسبب تأثير هذه الأيونات عالية الطاقة على الهدف في طرد الذرات أو الجزيئات من الهدف. وتكون هذه الجسيمات المقذوفة متعادلة وتنتقل في خط مستقيم حتى تصل إلى الركيزة، حيث تترسب وتشكل طبقة رقيقة.
-
التطبيقات في أشباه الموصلات:
-
في صناعة أشباه الموصلات، يُستخدم الرش الرذاذي لترسيب أغشية رقيقة من مواد مختلفة على رقائق السيليكون. وهذا أمر بالغ الأهمية لإنشاء الهياكل متعددة الطبقات اللازمة للأجهزة الإلكترونية الحديثة. إن القدرة على التحكم الدقيق في سمك وتكوين هذه الأغشية أمر ضروري لأداء أجهزة أشباه الموصلات.أنواع الاخرق:
-
هناك عدة أنواع من عمليات الاخرق، بما في ذلك الحزمة الأيونية والصمام الثنائي والخرق المغنطروني. على سبيل المثال، يستخدم الرش المغنطروني المغنطروني مجالاً مغناطيسياً لتعزيز تأين الغاز وزيادة كفاءة عملية الرش. هذا النوع من الاخرق فعال بشكل خاص في ترسيب المواد التي تتطلب معدلات ترسيب عالية وجودة غشاء جيد.
المزايا والابتكارات:
