يرتبط الاختلاف الرئيسي بين الترددات الراديوية (RF) وبلازما الميكروويف بطول موجتها وطريقة نقل الطاقة إلى المنتج المعالج.
تعمل بلازما الترددات اللاسلكية بتردد يبلغ حوالي 13.56 ميجاهرتز، بينما تعمل بلازما الموجات الدقيقة بتردد حوالي 2.45 جيجاهرتز. وينتج عن الاختلاف في التردد خصائص وتطبيقات مختلفة لكل نوع من أنواع البلازما.
تتميز بلازما الميكروويف بإشعاع كهرومغناطيسي عالي في نطاق جيجا هرتز. ويشيع استخدامه لتصنيع مواد الكربون مثل الماس وأنابيب الكربون النانوية والجرافين. يسمح التردد العالي لبلازما الميكروويف بنقل الطاقة بكفاءة وتسخين المنتج المعالج.
ومن ناحية أخرى، تعمل بلازما الترددات اللاسلكية بتردد أقل مقارنة ببلازما الموجات الدقيقة. يتطلب جهدًا أعلى يبلغ 1012 فولت أو أعلى لتحقيق نفس معدل الترسيب مثل بلازما التيار المباشر (التيار المباشر). تتضمن بلازما الترددات الراديوية استخدام موجات الراديو لإزالة الإلكترونات من الغلاف الخارجي لذرات الغاز، بينما تتضمن بلازما التيار المستمر القصف المباشر لذرات بلازما الغاز بواسطة الإلكترونات. يتطلب إنشاء موجات الراديو في بلازما الترددات اللاسلكية مزيدًا من مدخلات الطاقة لتحقيق نفس تأثير تيار الإلكترون في بلازما التيار المستمر.
بالإضافة إلى ذلك، يمكن الحفاظ على بلازما التردد اللاسلكي عند ضغط حجرة أقل بكثير يقل عن 15 mTorr، مقارنة بـ 100 mTorr المطلوبة لبلازما التيار المستمر. يسمح هذا الضغط المنخفض بتصادمات أقل بين جزيئات البلازما المشحونة والمادة المستهدفة، مما يخلق مسارًا أكثر مباشرة للجسيمات لتتناثر على مادة الركيزة. تعتبر بلازما الترددات اللاسلكية مناسبة بشكل خاص للمواد المستهدفة ذات الصفات العازلة.
ومن حيث المزايا العملية، فإن أنظمة بلازما الترددات اللاسلكية، مثل أنظمة الترددات الراديوية (RF) التي تعمل بتردد 13.56 ميجاهرتز، توفر التشغيل لفترة طويلة دون انقطاع للصيانة، لأنها لا تتطلب استبدال القطب الكهربائي. كما أنها تعمل مع كل من المواد المستهدفة الموصلة والعازلة.
باختصار، يكمن الاختلاف الرئيسي بين بلازما الترددات اللاسلكية وبلازما الموجات الدقيقة في ترددها ومتطلبات الجهد وضغط الغرفة والقدرة على العمل مع أنواع مختلفة من المواد المستهدفة. تتميز بلازما الميكروويف بالإشعاع الكهرومغناطيسي عالي التردد وتستخدم في تصنيع المواد الكربونية. تعمل بلازما الترددات اللاسلكية بتردد أقل، وتتطلب جهدًا أعلى، ويمكن الحفاظ عليها عند ضغوط أقل في الحجرة، مما يجعلها مناسبة لرش المواد العازلة المستهدفة.
قم بترقية مختبرك باستخدام معدات بلازما الترددات اللاسلكية والميكروويف المتقدمة من KINTEK. اختبر قوة الأطوال الموجية والترددات المختلفة لتعزيز عمليات البحث والتوليف. بدءًا من المواد الكربونية مثل الماس والجرافين ووصولاً إلى المواد المستهدفة الموصلة والعازلة، ستعمل تقنيتنا المتطورة على الارتقاء بتجاربك إلى آفاق جديدة. لا تفوت فرصة إحداث ثورة في مختبرك. اتصل بـ KINTEK اليوم للحصول على استشارة وانتقل بأبحاثك إلى المستوى التالي.
