وتُعطى معادلة معدل ترسيب الغشاء الرقيق بالمعادلة C = T/T.
في هذه المعادلة
- C هو معدل الترسيب.
- T هو سُمك الفيلم.
- t هو زمن الترسيب.
يقيس معدل الترسيب مدى سرعة نمو الفيلم.
ويعبَّر عنه عادةً بوحدات مثل
- أ/ث (أنجستروم في الثانية)
- نانومتر/الدقيقة (نانومتر في الدقيقة)
- أم/ساعة (ميكرومتر في الساعة)
5 عوامل رئيسية يجب مراعاتها عند استخدام معدات الترسيب
1. تطبيق الغشاء الرقيق
يعتمد اختيار معدل الترسيب على تطبيق الفيلم الرقيق.
بالنسبة للأغشية الرقيقة، يُفضل معدل ترسيب بطيء نسبيًا للحفاظ على التحكم والتحكم الدقيق في سمك الفيلم.
بالنسبة للأغشية السميكة، قد يكون معدل الترسيب السريع مرغوبًا.
2. المفاضلة بين خصائص الفيلم وظروف العملية
غالباً ما تتطلب عمليات المعدل الأسرع طاقة أو درجات حرارة أو تدفقات غاز أعلى.
يمكن أن يؤثر ذلك على خصائص الفيلم الأخرى أو يحد من خصائص الفيلم الأخرى مثل التوحيد أو الإجهاد أو الكثافة.
3. التباين في معدلات الترسيب
يمكن أن تختلف معدلات الترسيب على نطاق واسع، حيث تتراوح من بضع عشرات من الأمبير/الدقيقة (أنجستروم في الدقيقة) إلى 10,000 أمبير/الدقيقة.
يمكن استخدام تقنيات مثل مراقبة بلورات الكوارتز والتداخل البصري لمراقبة نمو سمك الفيلم في الوقت الحقيقي.
4. حساب الرش المغنطروني المغنطروني
في الرش المغنطروني المغنطروني، يمكن حساب معدل الترسيب باستخدام المعادلة Rdep = A x Rsputter.
هنا:
- Rdep هو معدل الترسيب.
- A مساحة الترسيب.
- رسبوتر هو معدل الاخرق.
يمكن تعديل معلمات رش المغنطرون وتقنيات التحسين لتحقيق جودة الفيلم وخصائصه المطلوبة.
5. التوحيد في الترسيب
يشير التوحيد إلى اتساق الفيلم عبر الركيزة، عادةً من حيث سمك الفيلم.
ويمكن أن يشير أيضًا إلى خصائص الفيلم الأخرى مثل مؤشر الانكسار.
ويقاس انتظام الترسيب عادةً عن طريق حساب متوسط البيانات المجمعة عبر الرقاقة، مع وجود انحراف معياري يمثل الانحراف عن المتوسط.
كما يمكن أن تؤثر مساحة الترسيب ومعدل الاخرق أيضًا على توحيد الطبقة الرقيقة المودعة.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
هل تبحث عن معدات مختبرية موثوقة للتحكم في معدل ترسيب الأغشية الرقيقة؟لا مزيد من البحث!
تقدم KINTEK مجموعة واسعة من الأدوات والأدوات المتطورة لتحسين عملية نمو الفيلم الخاص بك.
تحقيق تحكم دقيق في معدلات الترسيب وتحسين خصائص الأفلام مثل التوحيد والكثافة.
قم بزيارة موقعنا الإلكتروني اليوم وارتقِ بأبحاثك في مجال الأغشية الرقيقة إلى المستوى التالي مع KINTEK!
