ينطوي رش المجال المغناطيسي للمجال المغناطيسي للتيار المستمر المغنطروني على استخدام مجال مغناطيسي لتعزيز عملية الرش بالمغناطيسية في تفريغ التيار المستمر. تزيد هذه الطريقة من كفاءة عملية الاصطرار عن طريق حبس الإلكترونات بالقرب من سطح الهدف، وبالتالي زيادة معدل التأين ومعدل الاصطرار.
ملخص الإجابة:
تستخدم عملية الاخراخ المغنطروني بالتيار المستمر مزيجًا من المجالات الكهربائية والمغناطيسية لتحسين كفاءة الاخراخ. يتم ترتيب المجال المغناطيسي بشكل موازٍ لسطح الهدف، مما يحبس الإلكترونات ويجعلها تتبع مسارًا حلزونيًا، مما يزيد من تفاعلها مع ذرات الغاز ويعزز التأين. ويؤدي ذلك إلى ارتفاع معدل قصف الأيونات على الهدف، مما يؤدي إلى زيادة معدلات الاخرق دون الحاجة إلى زيادة ضغط التشغيل.
-
الشرح التفصيلي:تكوين المجال المغناطيسي:
-
في الرش المغنطروني المغنطروني بالتيار المستمر، يتم تطبيق مجال مغناطيسي إضافي خلف صفيحة الكاثود. تم تصميم هذا المجال ليكون موازياً لسطح الهدف. يتم ترتيب خطوط المجال المغناطيسي لإنشاء مسار مغلق يحبس الإلكترونات بالقرب من الهدف، بدلاً من السماح لها بالهروب إلى الفضاء المحيط.
-
التأثير على الإلكترونات:
-
يؤدي تراكب المجال الكهربائي (المتعامد على سطح الهدف) والمجال المغناطيسي إلى تحرك الجسيمات المشحونة، خاصة الإلكترونات، في مدارات دائرية بدلاً من خطوط مستقيمة. وتزيد هذه الحركة الحلزونية بشكل كبير من طول مسار الإلكترونات على سطح الهدف، مما يؤدي إلى مزيد من التصادمات مع ذرات الغاز، وبالتالي زيادة معدلات التأين.زيادة معدل التأين ومعدل الاخرق:
-
ينتج عن زيادة التأين بسبب الإلكترونات المحتجزة كثافة أعلى من الأيونات في محيط الهدف. يتم تسريع هذه الأيونات بواسطة المجال الكهربي نحو الهدف، حيث تتسبب في حدوث الاخرق. لا يؤثر المجال المغناطيسي بشكل كبير على حركة الأيونات بسبب كتلتها الأكبر، لذلك تستمر في التحرك في خطوط مستقيمة نحو الهدف، مما يؤدي إلى حدوث رشّ فعال.
المزايا التشغيلية:
