ينطوي رش المجال المغناطيسي للمغنترون المغناطيسي للتيار المستمر على استخدام مجال مغناطيسي لتعزيز عملية الرش بالمغناطيسية في تفريغ التيار المستمر. تزيد هذه الطريقة من كفاءة عملية الاخرق عن طريق حبس الإلكترونات بالقرب من سطح الهدف، وبالتالي زيادة معدل التأين ومعدل الاخرق.
شرح 5 نقاط رئيسية
1. تكوين المجال المغناطيسي
في عملية الرش المغنطروني بالتيار المستمر، يتم تطبيق مجال مغناطيسي إضافي خلف صفيحة الكاثود. ويتم تصميم هذا المجال ليكون موازياً لسطح الهدف. يتم ترتيب خطوط المجال المغناطيسي لإنشاء مسار مغلق يحبس الإلكترونات بالقرب من الهدف، بدلاً من السماح لها بالهروب إلى الفضاء المحيط.
2. التأثير على الإلكترونات
يؤدي تراكب المجال الكهربائي (المتعامد على سطح الهدف) والمجال المغناطيسي إلى تحرك الجسيمات المشحونة، خاصة الإلكترونات، في مدارات دائرية بدلاً من خطوط مستقيمة. وتزيد هذه الحركة الحلزونية بشكل كبير من طول مسار الإلكترونات على سطح الهدف، مما يؤدي إلى مزيد من التصادمات مع ذرات الغاز، وبالتالي ارتفاع معدلات التأين.
3. زيادة معدل التأين ومعدل الاخرق
تؤدي زيادة التأين بسبب الإلكترونات المحتجزة إلى زيادة كثافة الأيونات في محيط الهدف. ويتم تسريع هذه الأيونات بواسطة المجال الكهربي نحو الهدف، حيث تتسبب في حدوث الاخرق. لا يؤثر المجال المغناطيسي بشكل كبير على حركة الأيونات بسبب كتلتها الأكبر، لذلك تستمر في التحرك في خطوط مستقيمة نحو الهدف، مما يؤدي إلى رشّ فعال.
4. المزايا التشغيلية
يسمح استخدام المجال المغناطيسي في عملية الرش المغنطروني بالتيار المستمر بتشغيل العملية عند ضغوط أقل (حوالي 100 باسكال) وفولتية أقل (حوالي -500 فولت) مقارنة بالرش المغنطروني التقليدي الذي يتطلب عادةً ضغوطًا أعلى (10 باسكال) وفولتية أعلى (بين -2 كيلو فولت إلى 3 كيلو فولت). وهذا لا يقلل من استهلاك الطاقة فحسب، بل يقلل أيضًا من دمج الغازات الخلفية في الفيلم المتنامي ويقلل من فقدان الطاقة في الذرات المتطايرة بسبب تصادمات الغاز.
5. التطبيقات والتكوينات
يستخدم الرش المغنطروني المغنطروني بالتيار المستمر على نطاق واسع لترسيب المواد الموصلة باستخدام مصدر طاقة تيار مباشر. ويمكن أن يتنوع تكوين المجال المغناطيسي، مع تكوينات متوازنة تحصر البلازما في المنطقة المستهدفة وتكوينات غير متوازنة تسمح لبعض خطوط المجال المغناطيسي بالتمدد نحو الركيزة. تتيح هذه المرونة حلولاً مصممة خصيصًا وفقًا لمتطلبات التطبيق المحددة.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اختبر دقة وكفاءة أنظمة الرش المغنطروني المغنطروني المتطورة للتيار المستمر لدينا، المصممة للارتقاء بعمليات ترسيب المواد لديك. استفد من قوة المجالات الكهربائية والمغناطيسية المدمجة لتعزيز معدلات الاخرق والتشغيل بضغوط منخفضة وتحقيق جودة فائقة للأفلام. اكتشف كيف يمكن للتكنولوجيا المتطورة من KINTEK SOLUTION أن تحدث ثورة في إنتاجية مختبرك واستكشف مجموعة واسعة من الحلول المصممة خصيصًا لتلبية احتياجاتك الخاصة بالتطبيق.اتصل بنا اليوم للارتقاء بقدراتك في مجال الاخرق!
