يمكن أن يختلف الضغط داخل غرفة التفريغ بشكل كبير اعتمادًا على التطبيق المحدد ونوع التفريغ المستخدم.
يتراوح الضغط من الضغط الجوي إلى مستويات تفريغ فائقة الارتفاع، والتي يمكن أن تصل إلى 10-11 ملي بار أو 7.5-11 تور.
ويعتمد اختيار الضغط على متطلبات العملية، مثل تغطية العينة وجودة الغشاء الرقيق والحاجة إلى بيئات الغاز الخامل.
يعد قياس الضغط الدقيق أمرًا بالغ الأهمية ويتم تحقيقه عادةً باستخدام مقاييس ضغط عالية الجودة.
5 عوامل رئيسية يجب وضعها في الاعتبار عند فهم ضغط غرفة التفريغ
1. نطاقات الضغط في غرف التفريغ
تفريغ خشن/منخفض: 1000 إلى 1 ملي بار (760 إلى 0.75 تور)
التفريغ الدقيق/المتوسط: من 1 إلى 10 إلى 10-3 ملي بار (0.75 إلى 7.5 إلى 7.5 إلى 3.3 تور)
تفريغ عالي: 10-3 إلى 10-7 ملي بار (7.5-3 إلى 7.5-7 تور)
تفريغ عالي للغاية: 10-7 إلى 10-11 ملي بار (7.5-7 إلى 7.5-11 تور)
تفريغ عالي للغاية: <10-11 ملي بار (<7.5-11 تور)
2. أهمية الضغط في عمليات الترسيب
أثناء التبخير الحراري، يلعب الضغط داخل الحجرة دورًا حاسمًا في تحديد جودة الطبقة الرقيقة المترسبة.
يجب أن يكون الضغط منخفضًا بما يكفي لضمان أن يكون متوسط المسار الحر للجسيمات أطول من المسافة بين المصدر والركيزة، وعادةً ما يكون حوالي 3.0 × 10-4 تور أو أقل.
3. مقاييس الضغط والقياس
لقياس الضغط بدقة، تعتبر مقاييس الضغط عالية الجودة ضرورية.
في نظام الترسيب النموذجي DTT، يتم استخدام مقياس ضغط كامل النطاق من صنع شركة Leybold، قادر على عرض الضغط من مستويات الضغط الجوي إلى 10-9 تور.
4. التطبيقات ومستويات التفريغ المناسبة
تفريغ متوسط (< 1، > 10-3 تور): مناسب لبعض تطبيقات اللحام والتشغيل الآلي.
تفريغ عالي (< 10-3 تور، > 10-8 تور): مناسبة للأفران عالية التفريغ.
تفريغ عالي للغاية (< 10-8 تور): يستخدم للعمليات التي تتطلب بيئات نظيفة للغاية، مثل تجفيف الملوثات السطحية وتنظيف البطانات.
الضغط العالي (> 760 تور): مناسبة للأفران التي تستخدم الغازات أو الأجواء الداخلية عند ضغط جوي موجب أو أعلى من الضغط الجوي.
5. تأثير التفريغ على بيئة المعالجة
بالنسبة للبيئة النظيفة في غرفة المعالجة، يمكن أن يكون التفريغ العالي جدًا أكثر فعالية من استخدام الغاز الخامل.
يمكن لغرفة المعالجة التي يتم تفريغها أن تصل بشكل روتيني إلى ضغط متبقي أقل من 0.0001 ملي بار إذا تم منحها وقت ضخ كافٍ، في حين أن تفريغ الغاز الخامل قد يؤدي إلى ضغوط جزئية أعلى للشوائب، قد تصل إلى 0.1 ملي بار بسبب قيود عملية مختلفة.
أقصى تفريغ ممكن
يمكن أن يكون الحد الأقصى الممكن للتفريغ داخل الغرفة يساوي 760 مم زئبق (الضغط الجوي)، ولكن التطبيقات العملية غالبًا ما تتطلب ضغوطًا أقل من ذلك بكثير، اعتمادًا على العملية المحددة وقدرات المعدات.
باختصار، الضغط داخل حجرة التفريغ هو معلمة حاسمة تؤثر على نتائج العمليات المختلفة، من ترسيب الأغشية الرقيقة إلى اللحام والتشغيل الآلي.
ويعتمد اختيار نطاق الضغط على المتطلبات المحددة للعملية، كما أن القياس الدقيق والتحكم في الضغط ضروريان لتحقيق النتائج المرجوة.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
ارتقِ بعملياتك المعملية مع حلول غرف التفريغ المصممة بدقة من KINTEK SOLUTION.
تلبي مجموعتنا احتياجات الضغط المتنوعة، بدءًا من مستويات التفريغ العالية جدًا إلى بيئات الضغط العالي.
وبفضل التكنولوجيا المتطورة مثل مقاييس شركة ليبولد الخاصة بنا، نضمن الدقة في كل تطبيق.
لا تقبل بأقل من الكمال في ترسيب الأغشية الرقيقة أو العمليات المعقدة.
جرب فرق KINTEK اليوم - اتصل بنا الآن لاكتشاف كيف يمكن لغرف التفريغ المصممة خصيصًا أن تعزز نتائجك.
