تنطوي عملية الطلاء بالحزمة الإلكترونية على استخدام شعاع إلكتروني لتسخين وتبخير المواد في الفراغ، والتي تتكثف بعد ذلك لتكوين أغشية رقيقة على الركيزة. هذه الطريقة دقيقة للغاية وتسمح بترسيب الطبقات الموجهة والدقيقة.
ملخص الإجابة:
طلاء الشعاع الإلكتروني هو تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة حيث يتم استخدام شعاع إلكتروني لتسخين وتبخير المواد في غرفة مفرغة من الهواء. ثم تتكثف المواد المتبخرة على ركيزة لتشكيل أغشية رقيقة. تشتهر هذه العملية بدقتها في ترسيب الطبقات الدقيقة وقدراتها التوجيهية.
-
الشرح التفصيلي:توليد شعاع الإلكترون:
-
تبدأ العملية بتوليد شعاع إلكتروني في مدفع إلكتروني. ويتم تحقيق ذلك عادةً عن طريق تسخين خيوط التنجستن لانبعاث الإلكترونات عن طريق الانبعاث بالتأين الحراري. يتم تسخين الفتيل عن طريق تمرير تيار عالي الجهد (حتى 10 كيلو فولت) من خلاله. يمكن أيضًا استخدام طرق أخرى مثل انبعاث الإلكترونات الحقلية أو القوس الأنودي.
-
تركيز وانحراف شعاع الإلكترون:
-
يتم بعد ذلك تركيز شعاع الإلكترون المتولد وانحرافه باستخدام آليات مناسبة. يتم توجيه هذه الحزمة المركزة من مسدس الإلكترون من خلال غرفة عمل التفريغ إلى المادة المراد تبخيرها، والتي يتم احتواؤها في بوتقة.تبخير المواد:
-
عندما تصطدم حزمة الإلكترونات بالمادة الموجودة في البوتقة، تتحول طاقتها الحركية إلى حرارة. هذه الحرارة كافية لتبخير المادة. يحدث التبخير في فراغ لضمان أن شعاع الإلكترون يمكن أن ينتشر دون عوائق وأن المادة المتبخرة لا تتفاعل مع الهواء.
ترسيب الأغشية الرقيقة:
تنتقل المادة المتبخرة عبر الفراغ وتتكثف على ركيزة موضوعة فوق البوتقة. يمكن تدوير الركيزة ووضعها بدقة للتحكم في سمك وتوحيد الطبقة المترسبة. يمكن تحسين العملية باستخدام شعاع أيوني للمساعدة في الترسيب، مما يحسن من التصاق وكثافة الفيلم.
