يتضمن تصنيع أشباه الموصلات الرقيقة ترسيب طبقات رقيقة من المواد على ركيزة.
وهذه العملية ضرورية لإنشاء أجهزة إلكترونية مختلفة.
هناك طريقتان رئيسيتان تستخدمان لترسيب الأغشية الرقيقة: الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) والترسيب الفيزيائي للبخار (PVD).
5 خطوات رئيسية في تصنيع أشباه الموصلات الرقيقة
1. ترسيب البخار الكيميائي (CVD)
تنطوي عملية الترسيب الكيميائي بالبخار المتقطع على إدخال غازات تفاعلية في غرفة تحتوي على ركيزة الرقاقة.
تتفاعل هذه الغازات مع بعضها البعض أو مع سطح الرقاقة لتشكيل طبقة صلبة.
وتعتبر تقنية CVD شائعة لأنها قادرة على إنتاج أفلام عالية الجودة ومطابقة.
ويمكن تصنيفها أيضًا إلى فئات فرعية مثل CVD المعزز بالبلازما (PECVD) و CVD منخفض الضغط (LPCVD).
2. الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD)
تنطوي طرق الترسيب الفيزيائي بالتقنية الفيزيائية على نقل المواد فيزيائياً من مصدر إلى الركيزة.
هناك تقنيات مختلفة للترسيب الفيزيائي بالتقنية الفيزيائية بالترسيب بالبطاريات (PVD) المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات.
a. الاخرق
في الرش بالرش، يتم استخدام بلازما عالية الطاقة لإزاحة الذرات أو الجزيئات من المادة المستهدفة.
ثم تتكثف هذه الجزيئات المنزاحة على الركيزة لتشكيل طبقة رقيقة.
تسمح هذه التقنية بالتحكم الدقيق في سمك الفيلم وتكوينه.
b. التبخير الحراري
في التبخير الحراري، يتم تسخين المادة المصدر إلى درجة حرارة عالية حتى تتبخر.
ثم تتكثف المادة المتبخرة على الركيزة مكونة طبقة رقيقة.
هذه الطريقة بسيطة وفعالة من حيث التكلفة ولكن قد يكون لها قيود في تجانس الفيلم.
c. التبخير بالشعاع الإلكتروني
يشبه التبخير بالشعاع الإلكتروني التبخير الحراري ولكنه يستخدم شعاع إلكترون لتسخين المادة المصدر.
يوفر شعاع الإلكترون تحكمًا أكثر دقة في التسخين، مما يؤدي إلى تحسين جودة الفيلم وتوحيده.
الاختيار بين CVD وPVD
يعتمد الاختيار بين CVD و PVD على عدة عوامل.
وتشمل هذه العوامل متطلبات جودة الفيلم ومواد الركيزة وسماكة الفيلم المطلوبة والتطبيق المحدد لجهاز أشباه الموصلات.
أهمية الأغشية الرقيقة في تصنيع أشباه الموصلات
الأغشية الرقيقة ضرورية في تصنيع الأجهزة الإلكترونية المختلفة.
وتشمل هذه الأجهزة الهواتف المحمولة وشاشات LED والخلايا الكهروضوئية.
وتهدف عملية التصنيع إلى إنشاء أغشية رقيقة نقية وعالية الأداء من خلال تقنيات ترسيب دقيقة.
يتم استخدام طرق وتقنيات مختلفة لتطبيق طلاءات الأغشية الرقيقة بناءً على المتطلبات المحددة للتطبيق.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
هل تبحث عن معدات عالية الدقة لترسيب الأغشية الرقيقة لأشباه الموصلات؟
لا تبحث أكثر من KINTEK!
تضمن أنظمتنا المتطورة لترسيب البخار الكيميائي (CVD) والترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) الدقة والجودة اللازمة لأداء أجهزة أشباه الموصلات المتفوقة.
ثق في KINTEK لجميع احتياجاتك من ترسيب الأغشية الرقيقة.
اتصل بنا اليوم للحصول على عرض أسعار!
