الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) هي تقنية تُستخدم لترسيب الأغشية الرقيقة على ركيزة من خلال سلسلة من الخطوات التي تتضمن تحويل المادة إلى بخار، ونقل هذا البخار عبر منطقة منخفضة الضغط، والتكثيف اللاحق على الركيزة. يتم تحقيق هذه العملية في المقام الأول من خلال طرق مثل الرش والتبخير، والتي تختلف في كيفية تبخير المادة وكيفية نقل البخار إلى الركيزة.
ملخص لطريقة الترسيب بالتقنية الفائقة الوضوح:
ينطوي الترسيب بالتقنية الفائقة الوضوح (PVD) على التبخير الفيزيائي لمصدر مادة تحت ظروف التفريغ، يليه ترسيب هذه المادة المتبخرة على ركيزة لتشكيل طبقة رقيقة. وتتضمن الطرق الرئيسية التبخير بالتفريغ، والتبخير بالتفريغ، والطلاء بالبلازما القوسي، والطلاء الأيوني.
-
الشرح التفصيلي:تبخير المادة:
-
تتمثل الخطوة الأولى في عملية التبخير بالتفريغ بالتفريغ الصفائحي PVD في تبخير المادة المراد ترسيبها. ويمكن تحقيق ذلك من خلال طرق مختلفة مثل التبخير أو التبخير بالتبخير أو التبخير بالتبخير. في التبخير، يتم تسخين المادة حتى تتحول إلى بخار. أما في عملية الاخرق، يتم قصف المادة بجسيمات عالية الطاقة، مما يؤدي إلى طرد الذرات من سطحها.
-
نقل البخار:
بمجرد أن تصبح المادة في حالة غازية، يتم نقلها عبر منطقة ذات ضغط منخفض من مصدرها إلى الركيزة. تضمن هذه الخطوة أن المادة المتبخرة يمكن أن تتحرك دون تداخل أو تصادمات كبيرة، مما يحافظ على سلامتها ونقائها.التكثيف على الركيزة:
يتكثف البخار بعد ذلك على سطح الركيزة، مكونًا طبقة رقيقة. وتعتبر عملية التكثيف هذه بالغة الأهمية لأنها تحدد جودة وخصائص الفيلم المترسب. ويتأثر التصاق الفيلم وسماكته وتجانسه بكيفية تكاثف البخار.
التصحيح والمراجعة:
