يمكن أن يختلف معدل تبخر الحزمة الإلكترونية تبعاً لعدة عوامل.
ووفقاً للمراجع المقدمة، يمكن أن يتراوح معدل ترسيب التبخير بالحزمة الإلكترونية من 0.1 ميكرومتر/دقيقة إلى 100 ميكرومتر/دقيقة.
ويعتبر هذا معدل ترسيب مرتفع مقارنةً بتقنيات ترسيب البخار الفيزيائي الأخرى (PVD).
5 نقاط أساسية يجب معرفتها حول معدل التبخير بالحزمة الإلكترونية
1. نظرة عامة على العملية
تتضمن عملية التبخير بالحزمة الإلكترونية توليد شعاع إلكتروني مكثف من فتيل وتوجيهه نحو المادة المصدر في بيئة مفرغة من الهواء.
يتم نقل الطاقة من شعاع الإلكترون إلى المادة المصدر، مما يجعل ذرات سطحها تمتلك طاقة كافية لمغادرة السطح واجتياز غرفة التفريغ.
ثم تقوم هذه الذرات بتغطية الركيزة الموضوعة فوق المادة المتبخرة.
2. مسافات العمل
يتراوح متوسط مسافات العمل لتبخير الحزمة الإلكترونية عادة ما بين 300 مم إلى متر واحد.
وقد تم تطوير هذه التقنية بمرور الوقت لتحسين الكفاءة وتجنب مشاكل مثل التقصير بسبب ترسب المواد المتبخرة على عوازل الفتيل.
3. المواد المناسبة
التبخير بالحزمة الإلكترونية مناسب بشكل خاص للمواد ذات درجات انصهار عالية، مثل المعادن مثل التنجستن والتنتالوم.
يمكن لحزمة الإلكترونات تسخين المادة المصدر إلى درجات حرارة تبلغ حوالي 3000 درجة مئوية، مما يؤدي إلى تبخرها أو تساميها.
وتكون العملية موضعية للغاية، حيث تحدث عند نقطة قصف الحزمة على سطح المصدر، مما يقلل من التلوث من البوتقة.
4. الترسيب التفاعلي
تسمح إضافة ضغط جزئي من الغاز التفاعلي، مثل الأكسجين أو النيتروجين، أثناء عملية التبخير بالترسيب التفاعلي للأغشية غير المعدنية.
وهذا يعني أنه يمكن أيضًا استخدام التبخير بالحزمة الإلكترونية لتغليف الركائز بمواد تتفاعل مع الغاز المُدخَل.
5. المزايا
وعموماً، فإن تبخير الحزمة الإلكترونية هو تقنية ترسيب تم اختبارها عبر الزمن وتوفر معدلات ترسيب عالية وكفاءة عالية في استخدام المواد والقدرة على ترسيب طلاءات كثيفة وعالية النقاء.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
هل تبحث عن معدلات ترسيب عالية وزيادة الالتصاق في طلاءات الأفلام الخاصة بك؟ لا تبحث أكثر من KINTEK، مورد معدات المختبرات الموثوق به.
يمكن أن تحقق معدات التبخير بالحزمة الإلكترونية لدينا معدلات ترسيب تتراوح من 0.1 ميكرومتر/دقيقة إلى 100 ميكرومتر/دقيقة، مما يجعلها واحدة من أسرع تقنيات PVD المتاحة.
جرب الطلاءات ذات الكثافة العالية وتحسين التصاق الركيزة مع KINTEK. اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد!
