الرش بالتردد اللاسلكي هو تقنية تُستخدم في ترسيب الأغشية الرقيقة، خاصةً للمواد العازلة، عن طريق تطبيق تردد لاسلكي (RF) على مادة مستهدفة في بيئة مفرغة من الهواء. وتساعد هذه الطريقة على منع تراكم الشحنات على المادة المستهدفة، والتي يمكن أن تسبب الانحناء وغيرها من مشكلات مراقبة الجودة في عملية الرش بالموجات اللاسلكية.
آلية الاخرق بالترددات اللاسلكية:
يعمل الرش بالترددات اللاسلكية عن طريق توصيل الطاقة بترددات لاسلكية، عادةً 13.56 ميجاهرتز، إلى جانب شبكة مطابقة. يساعد الجهد الكهربائي المتناوب للترددات اللاسلكية على "تنظيف" سطح المادة المستهدفة من أي تراكم للشحنات. وخلال الدورة الموجبة للترددات اللاسلكية الموجبة، تنجذب الإلكترونات إلى الهدف، مما يعطيه انحيازاً سلبياً. في الدورة السلبية، يستمر القصف الأيوني للهدف، مما يسهل عملية الاخرق.
- فوائد الرش بالترددات اللاسلكية:الحد من تراكم الشحنات:
- باستخدام الترددات اللاسلكية، تقلل هذه التقنية بشكل كبير من تراكم الشحنات على سطح المادة المستهدفة، وهو أمر بالغ الأهمية للحفاظ على سلامة عملية الاخرق.تقليل "تآكل مسار السباق":
يساعد الاخرق بالترددات اللاسلكية أيضًا في الحد من تكوين "تآكل مسار السباق" على سطح المادة المستهدفة، وهي مشكلة شائعة في تقنيات الاخرق الأخرى.التفاصيل التقنية:
في تقنية الاخرق بالترددات اللاسلكية، يتم تطبيق مجال متناوب عالي التردد بدلاً من المجال الكهربائي للتيار المستمر. يتم توصيل هذا الحقل على التوالي مع مكثف والبلازما، حيث يعمل المكثف على فصل مكون التيار المستمر والحفاظ على حيادية البلازما. يعمل المجال المتناوب على تسريع كل من الأيونات والإلكترونات في كلا الاتجاهين. عند الترددات التي تزيد عن 50 كيلوهرتز تقريبًا، لا يمكن للأيونات أن تتبع المجال المتناوب بسبب انخفاض نسبة الشحنة إلى الكتلة، مما يؤدي إلى كثافة بلازما أعلى وضغوط تشغيل أقل (حوالي 10^-1 إلى 10^-2 باسكال)، مما قد يغير البنية المجهرية للأغشية الرقيقة المترسبة.
نظرة عامة على العملية:
